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公开(公告)号：CN110928250A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201910752319.2
申请日：2019-08-15
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明的数据处理方法包括如下的步骤：为了对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理，对时序数据与基准数据进行比较而求出时序数据的分数；将分数分类成多个等级；以及针对处理单元，显示评估结果画面，所述评估结果画面包括表示分数的各等级的产生比例的曲线图、各等级的产生次数、表示利用规定的方法对基板进行了处理时的分数的最差等级的产生次数的随时间的变化的曲线图。因此，提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法、数据处理装置及记录有数据处理程序的记录介质。
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