公开(公告)号：CN114695188A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202111586967.9

申请日：2021-12-23

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 胁田明日香 ,  野村高幸 ,  藤原友则 ,  小路丸友则 ,  东克荣

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种有效清洗多联阀的基板处理装置、清洗单元、以及多联阀清洗方法。该基板处理装置具备：罐，其用于供给药液；多联阀，其能够选择性地供给多种处理液；以及处理液喷嘴，其使用从多联阀供给的处理液对基板进行处理，而且，能够在用于对基板进行处理的基板处理模式和至少用于清洗多联阀的清洗模式进行切换，在清洗模式下，在不经由处理液喷嘴而经由罐和多联阀的路径、即清洗路径中，从罐向多联阀供给药液。

公开(公告)号：CN110928250A

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201910752319.2

申请日：2019-08-15

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 犹原英司 ,  藤原友则 ,  平藤祐美子 ,  园田敦

IPC: G05B19/418

Abstract: 本发明的数据处理方法包括如下的步骤：为了对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理，对时序数据与基准数据进行比较而求出时序数据的分数；将分数分类成多个等级；以及针对处理单元，显示评估结果画面，所述评估结果画面包括表示分数的各等级的产生比例的曲线图、各等级的产生次数、表示利用规定的方法对基板进行了处理时的分数的最差等级的产生次数的随时间的变化的曲线图。因此，提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法、数据处理装置及记录有数据处理程序的记录介质。