公开(公告)号：CN117083701A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202280022131.2

申请日：2022-02-10

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 酒井康将

IPC: H01L21/677

Abstract: 基板处理装置包含：载体保持部，其保持载体；处理单元，其处理基板且执行使用虚拟基板的处理；虚拟基板收容部；基板载置部；第一搬运单元，其在处理单元与基板载置部之间搬运基板，并在处理单元、虚拟基板收容部以及基板载置部之间搬运虚拟基板；第二搬运单元，其在载体保持部与基板载置部之间搬运基板；存储部，其存储虚拟基板的使用历史信息；使用期限通知部，其基于使用历史信息通知虚拟基板的使用期限信息；行程制作部，其制作用于回收已被通知使用期限信息的虚拟基板的搬运行程；搬运控制部，其按照搬运行程来控制第一搬运单元和第二搬运单元所进行的基板或者虚拟基板的搬运。

公开(公告)号：CN110121683A

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201780081168.1

申请日：2017-11-15

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 北岸大一 ,  酒井康将

IPC: G05B23/02

Abstract: 一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群。参数管理装置包含：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。

公开(公告)号：CN110121683B

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN201780081168.1

申请日：2017-11-15

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 北岸大一 ,  酒井康将

IPC: G05B23/02

Abstract: 一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群。参数管理装置包含：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。

公开(公告)号：CN113871321A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202110725317.1

申请日：2021-06-29

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 镰田雅之 ,  山中智史 ,  酒井康将 ,  今城周也 ,  平藤裕司

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法，其提供一种能够抑制处理单元的污染的扩散的技术。基板处理方法具备：设定工序(S1)，基于用户的输入对基板处理装置所具备的多个处理单元的每一个设定容纳器中容纳的多个仿真基板中的能够使用的仿真基板，生成表示在多个所述处理单元中的每一个能够使用的仿真基板的设定信息；仿真基板特定工序(S3)，基于所述设定信息，从多个所述仿真基板中特定在多个所述处理单元中的第一处理单元中能够使用的第一仿真基板；以及仿真处理工序(S4)，所述基板处理装置具备的搬运部将所述第一仿真基板从所述容纳器搬运到所述第一处理单元，所述第一处理单元对所述第一仿真基板进行仿真处理。