公开(公告)号：CN107813594A

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201710573757.3

申请日：2017-07-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 梶野一树 ,  上野美佳 ,  增市干雄 ,  上野博之 ,  正司和大

IPC: B41F17/00 ,  B41F23/00 ,  B41F19/00

CPC classification number: B05C11/00 ,  B05C1/025 ,  B05D1/28 ,  B41F16/00 ,  B41F16/0073 ,  H01L21/00 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6838 ,  B41F17/00 ,  B41F19/00 ,  B41F23/00

Abstract: 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。

公开(公告)号：CN114256060A

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN202110980176.8

申请日：2021-08-25

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 堀越章 ,  上野美佳 ,  竹市弥生 ,  柳田隆明 ,  中西健二 ,  高辻茂 ,  木村贵弘

IPC: H01L21/02 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种衬底处理方法。本发明的课题在于有效率地去除衬底上表面的抗蚀剂。本发明的衬底处理方法具备如下工序：对衬底的上表面供给处理液；使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第1厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；及使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第2厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；且第1厚度小于第2厚度。

公开(公告)号：CN107813594B

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201710573757.3

申请日：2017-07-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 梶野一树 ,  上野美佳 ,  增市干雄 ,  上野博之 ,  正司和大

IPC: B41F17/00 ,  B41F23/00 ,  B41F19/00

Abstract: 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。