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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107813594A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710573757.3
申请日：2017-07-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
CPC classification number: B05C11/00 , B05C1/025 , B05D1/28 , B41F16/00 , B41F16/0073 , H01L21/00 , H01L21/67092 , H01L21/6838 , B41F17/00 , B41F19/00 , B41F23/00
Abstract: 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。
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公开(公告)号：CN107813594B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201710573757.3
申请日：2017-07-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。
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公开(公告)号：CN106881947A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201611169251.8
申请日：2016-12-16
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种辊构件能够以均匀且稳定的按压力按压板状体的转印装置及转印方法。与橡皮布(BL)相抵接并按压基板(SB)的转印辊(431)，其两端部被一对支撑部(430)支撑为旋转自如。用于支撑转印辊(431)的旋转轴的支撑L形构件(4334)被直动导向件(4332、4333)支撑为升降自如，由施力部(434)对该支撑L形构件(4334)施加向上的力。因施加力引起的支撑L形构件(4334)的位移通过限位器(435)抑制于规定高度，由此管理转印辊(431)从下方接近橡皮布(BL)时的转印辊(431)的姿势(旋转轴的倾斜)。当橡皮布(BL)按压基板(SB)时，限位器(435)的抑制被解除，通过施加力向橡皮布(BL)施加恒定的按压力。
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公开(公告)号：CN106881947B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201611169251.8
申请日：2016-12-16
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种辊构件能够以均匀且稳定的按压力按压板状体的转印装置及转印方法。与橡皮布(BL)相抵接并按压基板(SB)的转印辊(431)，其两端部被一对支撑部(430)支撑为旋转自如。用于支撑转印辊(431)的旋转轴的支撑L形构件(4334)被直动导向件(4332、4333)支撑为升降自如，由施力部(434)对该支撑L形构件(4334)施加向上的力。因施加力引起的支撑L形构件(4334)的位移通过限位器(435)抑制于规定高度，由此管理转印辊(431)从下方接近橡皮布(BL)时的转印辊(431)的姿势(旋转轴的倾斜)。当橡皮布(BL)按压基板(SB)时，限位器(435)的抑制被解除，通过施加力向橡皮布(BL)施加恒定的按压力。
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公开(公告)号：CN106985505A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201611168237.6
申请日：2016-12-16
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: B41F16/00
CPC classification number: B41F16/00 , B41F3/00 , B41F16/0053 , B41F16/008 , H01L21/67132 , B41F16/002 , B41P2217/00
Abstract: 本发明提供一种转印装置及转印方法。该转印装置用辊构件进行按压来使两个板状体抵接，从而能够抑制使事先已对位的两个板状体相抵接时所产生的错位的影响。对准机构(71)安装于主机架(10)，对准载物台(36)安装在对准机构(71)上。在对准载物台(36)上经由装卸载物台(37)载置有下载物台部(3)、转印辊部(4)、辊移动驱动部(5)。保持于下载物台(31)的橡皮布(BL)和顶起橡皮布(BL)的转印辊(431)之间的位置关系不因对准调整而发生变动。因此，能够抑制随着橡皮布(BL)的弯曲量而大小发生变化的错位的影响。
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