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公开(公告)号：CN107813594A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710573757.3
申请日：2017-07-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
CPC classification number: B05C11/00 , B05C1/025 , B05D1/28 , B41F16/00 , B41F16/0073 , H01L21/00 , H01L21/67092 , H01L21/6838 , B41F17/00 , B41F19/00 , B41F23/00
Abstract: 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。
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公开(公告)号：CN116564872A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310096029.3
申请日：2023-02-07
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种定心装置、定心方法以及基板处理装置，以优异的生产率使载置于基板支承部的上表面的圆板状的基板的中心与基板支承部的中心一致。本发明在水平面内，利用位于第一基准位置的第一抵接部件、位于第二基准位置的第二抵接部件以及位于第三基准位置的第三抵接部件在基板支承部的上表面上包围基板。并且，通过重复进行这三个抵接部件的微小移动，一边将距基板支承部的中心的距离保持为相同一边逐渐接近基板。在该接近移动中，抵接部件依次与基板抵接，使基板朝向基板支承部的中心水平移动。其结果，在利用这三个抵接部件将基板夹持的时刻，基板的中心与基板支承部的中心一致而完成定心处理。
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公开(公告)号：CN107813594B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201710573757.3
申请日：2017-07-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。
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