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公开(公告)号：CN106985505A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201611168237.6
申请日：2016-12-16
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: B41F16/00
CPC classification number: B41F16/00 , B41F3/00 , B41F16/0053 , B41F16/008 , H01L21/67132 , B41F16/002 , B41P2217/00
Abstract: 本发明提供一种转印装置及转印方法。该转印装置用辊构件进行按压来使两个板状体抵接，从而能够抑制使事先已对位的两个板状体相抵接时所产生的错位的影响。对准机构(71)安装于主机架(10)，对准载物台(36)安装在对准机构(71)上。在对准载物台(36)上经由装卸载物台(37)载置有下载物台部(3)、转印辊部(4)、辊移动驱动部(5)。保持于下载物台(31)的橡皮布(BL)和顶起橡皮布(BL)的转印辊(431)之间的位置关系不因对准调整而发生变动。因此，能够抑制随着橡皮布(BL)的弯曲量而大小发生变化的错位的影响。
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公开(公告)号：CN119790489A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202380062310.3
申请日：2023-07-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , H01L21/683
Abstract: 在本发明的基板处理装置中，在腔室的内部空间中，基板保持部配置于较内部空间的中心更朝搬送用开口侧偏移的处理位置。将沿着搬送路径的基板的搬送距离及搬送时间缩短与该偏移量对应的大小，从而省电化。并且，喷嘴移动部构成为使处理液喷出喷嘴沿基板的径向中相对于第1假想水平线倾斜的第1径向移动。由此，可将腔室内的基板保持部、喷嘴头及喷嘴移动部的配置关系优化，不会徒用内部空间较大的腔室，而良好地执行基板处理。
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公开(公告)号：CN116805603A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310285680.5
申请日：2023-03-22
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , B08B17/00 , B08B13/00
Abstract: 本发明提供一种基板处理技术，能够捕集向旋转的基板的周缘部供给处理液来处理基板时产生的上方飞散液滴，良好地处理基板。利用处理液处理基板的周缘部时，有时产生上方飞散液滴。因此，本发明在利用杯部的檐部位将基板的周缘部从铅垂上方覆盖的状态下，一边在铅垂方向将吐出口定位于比檐部位低的倒角处理位置，一边从吐出口使处理液着液于基板的周缘部。因此，该檐部位捕集上方飞散液滴。其结果，上方飞散液滴向基板的再附着、向周围气氛的飞散被抑制。
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公开(公告)号：CN118412310A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410006516.0
申请日：2024-01-03
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明涉及一种定心装置、定心方法及衬底处理装置。提供一种以优异的产能及精度进行衬底的定心处理的定心技术及衬底处理装置。本发明中，在衬底支撑部的上表面，由水平面内位于第1基准位置的第1抵接部件、位于第2基准位置的第2抵接部件及位于第3基准位置的第3抵接部件包围衬底。并且，通过重复所述3个抵接部件的微小移动，一面将与衬底支撑部的中心的距离保持相同，一面逐渐靠近衬底。在所述靠近移动的期间，抵接部件依序与衬底抵接，使衬底朝向衬底支撑部的中心水平移动。此处，考虑到第2抵接部件及第3抵接部件的微小移动的方向与朝向衬底支撑部的中心的方向不同，而将第2抵接部件及第3抵接部件如所述那样配置。
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公开(公告)号：CN107813594A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710573757.3
申请日：2017-07-14
Applicant: 株式会社斯库林集团
CPC classification number: B05C11/00 , B05C1/025 , B05D1/28 , B41F16/00 , B41F16/0073 , H01L21/00 , H01L21/67092 , H01L21/6838 , B41F17/00 , B41F19/00 , B41F23/00
Abstract: 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118412309A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410006035.X
申请日：2024-01-03
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及一种定心装置、定心方法及衬底处理装置。提供一种具有优异的设计自由度的定心技术，以及使用所述定心技术的衬底处理装置。本发明中，在衬底支撑部的上表面，由水平面内位于第1基准位置的第1抵接部件、位于第2基准位置的第2抵接部件、及位于第3基准位置的第3抵接部件包围衬底。并且，通过重复所述3个抵接部件的微小移动，一面将与衬底支撑部的中心的距离保持相同，一面逐渐靠近衬底。并且，由所述3个抵接部件夹住衬底，使衬底的中心与衬底支撑部的中心一致。在这种一连串定心之前，以偏心方向与假想线平行的方式调整衬底姿势。
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公开(公告)号：CN116805601A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310284735.0
申请日：2023-03-22
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 在利用遮蔽板覆盖基板的上表面进行保护，并且一边对基板的上表面进行加热，一边向基板的周缘部供给处理液来处理该周缘部的基板处理技术中，良好地处理基板的周缘部。本发明具有气体供给部，该气体供给部通过向设置于遮蔽板的气体吐出喷嘴供给气体，向被基板和遮蔽板夹着的空间吐出气体，形成从基板的中央部朝向径向外侧的气流。该气体供给部被控制成基板的周缘部的气体向排出空间的流速大于零。
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公开(公告)号：CN106881947B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201611169251.8
申请日：2016-12-16
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种辊构件能够以均匀且稳定的按压力按压板状体的转印装置及转印方法。与橡皮布(BL)相抵接并按压基板(SB)的转印辊(431)，其两端部被一对支撑部(430)支撑为旋转自如。用于支撑转印辊(431)的旋转轴的支撑L形构件(4334)被直动导向件(4332、4333)支撑为升降自如，由施力部(434)对该支撑L形构件(4334)施加向上的力。因施加力引起的支撑L形构件(4334)的位移通过限位器(435)抑制于规定高度，由此管理转印辊(431)从下方接近橡皮布(BL)时的转印辊(431)的姿势(旋转轴的倾斜)。当橡皮布(BL)按压基板(SB)时，限位器(435)的抑制被解除，通过施加力向橡皮布(BL)施加恒定的按压力。
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公开(公告)号：CN117476526A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310735934.9
申请日：2023-06-20
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明的课题在于，在使用3个以上抵接部件的定心装置及使用所述定心装置的衬底处理装置中，提高定心精度，且所述抵接部件设置成在水平面内包围载置着周缘部设置着缺口部的圆板状的衬底的衬底支撑部。在所述发明中，3个以上的抵接部件具有能够与衬底的端面抵接的抵接面且配置成以抵接面朝向衬底的端面的姿势在水平面内包围衬底支撑部。另外，抵接面与水平面交叉形成的能够抵接区域为曲率中心位于直线或衬底侧且具有大于衬底的半径的曲率半径的曲线，且以长于由缺口部切取衬底的圆周的圆弧的方式进行精加工。
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公开(公告)号：CN116564872A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310096029.3
申请日：2023-02-07
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种定心装置、定心方法以及基板处理装置，以优异的生产率使载置于基板支承部的上表面的圆板状的基板的中心与基板支承部的中心一致。本发明在水平面内，利用位于第一基准位置的第一抵接部件、位于第二基准位置的第二抵接部件以及位于第三基准位置的第三抵接部件在基板支承部的上表面上包围基板。并且，通过重复进行这三个抵接部件的微小移动，一边将距基板支承部的中心的距离保持为相同一边逐渐接近基板。在该接近移动中，抵接部件依次与基板抵接，使基板朝向基板支承部的中心水平移动。其结果，在利用这三个抵接部件将基板夹持的时刻，基板的中心与基板支承部的中心一致而完成定心处理。
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