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发明公开
衬底处理方法审中-实审

公开(公告)号：CN114256060A

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN202110980176.8

申请日：2021-08-25

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 堀越章 , 上野美佳 , 竹市弥生 , 柳田隆明 , 中西健二 , 高辻茂 , 木村贵弘

IPC: H01L21/02 , H01J37/32 , H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种衬底处理方法。本发明的课题在于有效率地去除衬底上表面的抗蚀剂。本发明的衬底处理方法具备如下工序：对衬底的上表面供给处理液；使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第1厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；及使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第2厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；且第1厚度小于第2厚度。

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