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公开(公告)号：CN110501525A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910213652.6
申请日：2019-03-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/14
Abstract: 本发明提供一种能将试样容器内可靠地密闭而且能够顺畅地进行试样观察的试样容器用安装构件以及试样容器的密闭方法。扫描型探针显微镜中使用保持构件、试样容器及安装构件。安装构件由橡胶材料等能够弹性变形的材料构成。安装构件具备环状的主体。在将安装构件安装至保持构件及试样容器时，保持构件在安装构件的主体沿试样容器的外周面发生了弹性变形的状态下插入至试样容器内。继而，使安装构件的一端部脱离试样容器的外周面而密接至保持构件的外周面。在使保持构件与试样容器相对移动时，安装构件的主体会弹性变形。
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公开(公告)号：CN107003334B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201480083538.1
申请日：2014-11-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04
Abstract: 扫描型探针显微镜用数据显示处理装置(1)具备：群组信息存储部(37)，针对每个群组，对多个测定数据进行管理存储；指定数据取得单元(32)，从群组信息存储部(37)取得使用者指定的测定数据即指定数据；显示控制单元(34)，将指定数据作为图像显示在显示部的画面；预备图像生成单元(33)，以指定数据的决定为触发，从群组信息存储部(37)取得属于包含指定数据的群组的其他测定数据，生成将其他测定数据显示在画面时的图像即预备图像；以及第1显示切换单元(36)，依照画面显示有指定数据时进行的、使用者的第1规定输入操作，使预备图像在画面规定区域内切换显示，能够不强迫使用者进行烦杂操作而简便地阅览多个测定数据。
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公开(公告)号：CN109219752A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201680086311.1
申请日：2016-06-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 新井浩
Abstract: 在利用探针(16)以正向对试样(10)上的同一区域进行扫描并且获取跟踪图像数据时和以反向对该试样(10)上的同一区域进行扫描并且获取回扫图像数据时，偏差信息存储部(32)存储由偏差检测部(20)检测的偏差。该偏差表示该时间点的探针-试样间的距离与该距离的目标值之间的偏差。因此图像数据选择部(31)针对每个测量点将正向扫描时的偏差与反向扫描时的偏差进行比较，选择偏差较小的扫描时获取到的图像数据，作为选择图像数据保存在图像数据存储部(33)的存储区域(33c)中。图像形成部(30)基于该选择图像数据生成试样表面形状图像并且显示在显示部(5)中。由此，即使在试样(10)上具有陡的凹凸并且探针-试样间距离的反馈控制产生了跟踪延迟、紊乱的情况下，也能够显示接近实际的试样表面形状的准确的图像。
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公开(公告)号：CN112470010B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201880095528.8
申请日：2018-07-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。
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公开(公告)号：CN114324981B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202111090378.1
申请日：2021-09-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/00
Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111630396B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201880086991.6
申请日：2018-01-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04
Abstract: 扫描型探针显微镜(1)具备控制部(15)。控制部(15)包括信号获取处理部(151)、图像获取处理部(152)、扫描条件变更处理部(154)、扫描处理部(155)以及噪声判定处理部(156)。在扫描型探针显微镜(1)中，在去除试样的表面图像中含有的噪声的情况下，扫描条件变更处理部(154)变更扫描条件。并且，信号获取处理部(151)获取来自检测部(12)的输出信号。图像获取处理部(152)基于该输出信号来获取试样(S)的表面图像。噪声判定处理部(156)基于通过扫描条件变更处理部(154)变更了扫描条件时的输出信号的变化或者试样(S)的表面图像的变化，来判定输出信号中是否含有噪声。因此，在输出信号中含有噪声的情况下，能够正确地判定该情况。
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公开(公告)号：CN115308440A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210454768.0
申请日：2022-04-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04 , G01Q20/02 , G01N23/2251
Abstract: 本公开涉及分析装置、显示控制方法以及记录介质。提供一种尽量不对用户造成压力地进行试样的分析的技术。分析装置具备显示部以及控制显示部的显示控制部。显示控制部在用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序中，使显示部显示规定信息。
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公开(公告)号：CN112470010A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201880095528.8
申请日：2018-07-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。
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公开(公告)号：CN110389239A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910303073.0
申请日：2019-04-16
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/00
Abstract: 本发明提供一种能够缩短微小对象物体的观察时间的扫描型探针显微镜。通过对每条线(L)重复下述处理，来基于多条线(L)的测定范围(R)内的检测信号执行用于获取样品的表面图像的正式测定：即，一边使悬臂在沿X方向的规定长度的线(L)上进行扫描，一边以规定的第1间隔(D11)获取到检测信号后，使悬臂以规定的第2间隔(D12)在Y方向上进行扫描。在正式测定前，通过以比第1间隔(D11)宽的间隔来获取检测信号，或者使悬臂以比第2间隔(D12)宽的间隔在Y方向上进行扫描，来执行用于获取比正式测定粗的样品的表面图像的预备测定。
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公开(公告)号：CN118019987A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065712.4
申请日：2022-03-23
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q10/06
Abstract: 本公开的一个方式所涉及的扫描探针显微镜将试样的观察对象区域分成多个区域并且驱动扫描器以按每个区域扫描试样的表面。数据处理部获取与多个区域分别对应的多个图像数据。输入单元受理与多个图像数据的获取条件有关的用户输入。获取条件包括扫描器的扫描条件。在输入单元受理到关于每个图像数据的扫描器的扫描范围、相邻的两个扫描范围的间隔以及能够从扫描器的最大扫描范围获取的最大视场数这三个变量中的任意两个变量的用户输入时，数据处理部基于所受理的两个变量来计算三个变量中的其余一个变量。
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