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公开(公告)号：CN110398613A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910328923.2
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种能够提高用户的操作性的扫描型探针显微镜及光强度调整方法。扫描型探针显微镜(1)具备光源、检测器(7)、壳体、开闭门、开闭传感器(14)以及控制部(16)等。开闭门被设置于壳体。控制部(16)也作为光强度变更处理部(164)起作用。在扫描型探针显微镜(1)中，当开闭传感器(14)检测到开闭门的开闭时，光强度变更处理部(164)基于开闭传感器(14)的检测结果，自动变更从光源(4)照射的光的强度。因此，能够省去用户手动的光的强度调整作业。其结果，能够提高使用扫描型探针显微镜(1)时的用户的操作性。
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公开(公告)号：CN107076779B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201480081888.4
申请日：2014-10-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 池田雄一郎
IPC: G01Q90/00
Abstract: 提供一种扫描型探针显微镜，能够排除振动干扰的影响，正确并高分辨率地获得样品S的表面信息，扫描型探针显微镜(1)构成为具备主体部(10)与控制部(30)，所述主体部(10)具有：悬臂(21)，具有探针(21a)；传感器(23)，检测悬臂(21)的位移；XYZ驱动机构(25)，使悬臂(21)或者样品S移动；除振机构(12)，所述控制部(30)控制XYZ驱动机构(25)并且获取样品S的测量范围的表面信息，所述扫描型探针显微镜(1)还具备：无线支架(60)，具有供电线圈(63)与支架侧收发部(64)；电源信号缆线(42)，连接无线支架(60)与控制部(30)，主体部(10)具有：高电压发生电路(15)，用于驱动XYZ驱动机构(25)；受电线圈(13)；主体部侧收发部(14)，用于与支架侧收发部(64)通信。
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公开(公告)号：CN112470010B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201880095528.8
申请日：2018-07-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115308440A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210454768.0
申请日：2022-04-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04 , G01Q20/02 , G01N23/2251
Abstract: 本公开涉及分析装置、显示控制方法以及记录介质。提供一种尽量不对用户造成压力地进行试样的分析的技术。分析装置具备显示部以及控制显示部的显示控制部。显示控制部在用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序中，使显示部显示规定信息。
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公开(公告)号：CN112470010A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201880095528.8
申请日：2018-07-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。
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公开(公告)号：CN110389239A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910303073.0
申请日：2019-04-16
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/00
Abstract: 本发明提供一种能够缩短微小对象物体的观察时间的扫描型探针显微镜。通过对每条线(L)重复下述处理，来基于多条线(L)的测定范围(R)内的检测信号执行用于获取样品的表面图像的正式测定：即，一边使悬臂在沿X方向的规定长度的线(L)上进行扫描，一边以规定的第1间隔(D11)获取到检测信号后，使悬臂以规定的第2间隔(D12)在Y方向上进行扫描。在正式测定前，通过以比第1间隔(D11)宽的间隔来获取检测信号，或者使悬臂以比第2间隔(D12)宽的间隔在Y方向上进行扫描，来执行用于获取比正式测定粗的样品的表面图像的预备测定。
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公开(公告)号：CN107076779A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480081888.4
申请日：2014-10-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 池田雄一郎
IPC: G01Q90/00
Abstract: 提供一种扫描型探针显微镜，能够排除振动干扰的影响，正确并高分辨率地获得样品S的表面信息，扫描型探针显微镜(1)构成为具备主体部(10)与控制部(30)，所述主体部(10)具有：悬臂(21)，具有探针(21a)；传感器(23)，检测悬臂(21)的位移；XYZ驱动机构(25)，使悬臂(21)或者样品S移动；除振机构(12)，所述控制部(30)控制XYZ驱动机构(25)并且获取样品S的测量范围的表面信息，所述扫描型探针显微镜(1)还具备：无线支架(60)，具有供电线圈(63)与支架侧收发部(64)；电源信号缆线(42)，连接无线支架(60)与控制部(30)，主体部(10)具有：高电压发生电路(15)，用于驱动XYZ驱动机构(25)；受电线圈(13)；主体部侧收发部(14)，用于与支架侧收发部(64)通信。
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