公开(公告)号：CN118019987A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202280065712.4

申请日：2022-03-23

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 新井浩 ,  中岛秀郎 ,  森口志穗 ,  中野智阳

IPC: G01Q10/06

Abstract: 本公开的一个方式所涉及的扫描探针显微镜将试样的观察对象区域分成多个区域并且驱动扫描器以按每个区域扫描试样的表面。数据处理部获取与多个区域分别对应的多个图像数据。输入单元受理与多个图像数据的获取条件有关的用户输入。获取条件包括扫描器的扫描条件。在输入单元受理到关于每个图像数据的扫描器的扫描范围、相邻的两个扫描范围的间隔以及能够从扫描器的最大扫描范围获取的最大视场数这三个变量中的任意两个变量的用户输入时，数据处理部基于所受理的两个变量来计算三个变量中的其余一个变量。

公开(公告)号：CN118043678A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202280065833.9

申请日：2022-03-24

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 新井浩 ,  中岛秀郎 ,  森口志穗 ,  中野智阳

IPC: G01Q30/04

Abstract: 一种扫描探针显微镜，具备：观察装置(80)，其输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号；以及信息处理装置(20)，信息处理装置获取观察信号，每当获取到与观察装置(80)的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像，每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数，在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束观察信号的获取，对观察图像执行颗粒分析。

公开(公告)号：CN118043677A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202280065716.2

申请日：2022-03-25

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 新井浩 ,  中岛秀郎 ,  森口志穗 ,  中野智阳

IPC: G01Q30/04

Abstract: 本公开的一个方式所涉及的扫描探针显微镜具备：观察装置，其获取包含被载置于基板的试样的观察视场的图像数据；以及数据处理部，其对由观察装置获取到的图像数据进行校正。图像数据包含多个测定数据，所述多个测定数据表示在基板的表面水平地延伸的平面上的各位置处的高度。数据处理部针对多个测定数据制作高度的分布的直方图。数据处理部将在直方图中成为众数值的高度设定为观察视场的高度方向上的基准点，并且基于所设定的基准点来对各多个测定数据的高度进行校正。

公开(公告)号：CN118043679A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202280065836.2

申请日：2022-03-24

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 新井浩 ,  中岛秀郎 ,  森口志穗 ,  中野智阳

IPC: G01Q30/04 ,  G01N15/02 ,  G01N15/0227

Abstract: 扫描探针显微镜(100)具备：观察装置(80)，其观察包含颗粒的试样(S)；以及信息处理装置(20)。信息处理装置(20)基于通过利用观察装置(80)观察试样而得到的观察数据来生成一个以上的观察图像，计算表示观察图像中包含的颗粒图像的直径或者所述颗粒图像的数量的颗粒参数，在一个以上的观察图像中包括了包含颗粒参数处于预先决定的范围外的颗粒的图像的观察图像的情况下，执行规定处理。