公开(公告)号：CN115308441A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210454321.3

申请日：2022-04-27

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 渡边一马 ,  新井浩 ,  平出雅人 ,  池田雄一郎 ,  中岛秀郎 ,  山崎贤治 ,  藤野敬太

IPC: G01Q60/00

Abstract: 本公开涉及信息提供系统、服务器装置、分析装置及信息提供方法。提供一种在向用户提供便利性的同时进行试样的分析的技术。信息提供系统具备：判定是否需要更换部件的判定部、显示部以及控制显示部的显示控制部。在需要更换部件的情况下，显示控制部使显示部显示与部件的供应商有关的供应商信息。

公开(公告)号：CN111796122B

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202010134192.0

申请日：2020-03-02

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 藤野敬太

IPC: G01Q60/00 ,  G01Q30/00

Abstract: 本发明提供一种表面分析装置。驱动机构(45)以测量部(20)与试样台(30)的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使测量部(20)和试样台(30)相对性地位移。在第2位置关系时，试样台(30)自下部壳体的内部暴露于外侧。控制装置(201)包含生成向扫描器(32)供给的高电压的高电压生成电路(203)。在第2位置关系时，第1机械式开关(253)不使电源(202)的电压向高电压生成电路(203)供给。

公开(公告)号：CN111796122A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010134192.0

申请日：2020-03-02

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 藤野敬太

IPC: G01Q60/00 ,  G01Q30/00

Abstract: 本发明提供一种表面分析装置。驱动机构(45)以测量部(20)与试样台(30)的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使测量部(20)和试样台(30)相对性地位移。在第2位置关系时，试样台(30)自下部壳体的内部暴露于外侧。控制装置(201)包含生成向扫描器(32)供给的高电压的高电压生成电路(203)。在第2位置关系时，第1机械式开关(253)不使电源(202)的电压向高电压生成电路(203)供给。

公开(公告)号：CN119546967A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202380053485.8

申请日：2023-06-07

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 藤野敬太

IPC: G01Q10/02 ,  G01Q60/24

Abstract: 检测机构(110)获取第一信息和第二信息，所述第一信息是表示悬臂在Z轴方向上的位置的信息，所述第二信息是表示试样(S)在Z轴方向上的位置或者试样台(14)在Z轴方向上的位置的信息。接近处理部(104)基于第一信息和第二信息来决定速度下降位置。接近处理部(104)控制位移机构，以使接近速度在速度下降位置处从高速变为低速。

公开(公告)号：CN112630144B

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202010933392.2

申请日：2020-09-08

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 藤野敬太

IPC: G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种扫描型探针显微镜以及扫描型探针显微镜的位置调整方法。悬臂在前端部具有探针。照射部向悬臂照射激光。检测部包括用于接收由悬臂反射的激光的受光面，检测受光面上的激光的光斑。驱动部调整检测部的位置。激光调整部调整向悬臂照射的激光。如果在测定试样的特性时悬臂发生了位移的情况下，将激光的光斑在受光面上位移的方向设为第一方向，将在受光面上与第一方向正交的方向设为第二方向，则激光调整部调整激光，使得在调整检测部的位置时的激光的光斑在第二方向上的长度比在测定试样的特性时的激光的光斑在第一方向上的长度长。

公开(公告)号：CN118974567A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380031696.1

申请日：2023-02-01

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 平出雅人 ,  藤野敬太 ,  山崎贤治 ,  黑田古都美

IPC: G01Q30/04

Abstract: 计算机(132)获取图像数据(步骤S10)，从该图像数据提取与邻接像素的比较结果满足是边缘的条件的像素来作为边缘像素(步骤S12)，通过实施使由该边缘像素构成的边缘膨胀的膨胀处理来生成第一数据(步骤S14)。然后，计算机(132)使用上述的第一数据来生成用于在试样中确定与基板相对应的区域的第二数据(步骤S22)。

公开(公告)号：CN110398613A

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201910328923.2

申请日：2019-04-23

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 渡边一马 ,  藤野敬太 ,  饭田荣治 ,  平出雅人 ,  山崎贤治 ,  中岛秀郎 ,  池田雄一郎 ,  新井浩

IPC: G01Q60/00 ,  G01Q30/00

Abstract: 本发明提供一种能够提高用户的操作性的扫描型探针显微镜及光强度调整方法。扫描型探针显微镜(1)具备光源、检测器(7)、壳体、开闭门、开闭传感器(14)以及控制部(16)等。开闭门被设置于壳体。控制部(16)也作为光强度变更处理部(164)起作用。在扫描型探针显微镜(1)中，当开闭传感器(14)检测到开闭门的开闭时，光强度变更处理部(164)基于开闭传感器(14)的检测结果，自动变更从光源(4)照射的光的强度。因此，能够省去用户手动的光的强度调整作业。其结果，能够提高使用扫描型探针显微镜(1)时的用户的操作性。

公开(公告)号：CN112470010B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN201880095528.8

申请日：2018-07-27

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 渡边一马 ,  藤野敬太 ,  平出雅人 ,  山崎贤治 ,  中岛秀郎 ,  池田雄一郎 ,  新井浩

IPC: G01Q20/02 ,  G01Q30/04

Abstract: 悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。

公开(公告)号：CN115308440A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210454768.0

申请日：2022-04-27

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 渡边一马 ,  新井浩 ,  藤野敬太 ,  平出雅人 ,  池田雄一郎 ,  中岛秀郎 ,  山崎贤治

IPC: G01Q30/04 ,  G01Q20/02 ,  G01N23/2251

Abstract: 本公开涉及分析装置、显示控制方法以及记录介质。提供一种尽量不对用户造成压力地进行试样的分析的技术。分析装置具备显示部以及控制显示部的显示控制部。显示控制部在用于分析试样的工序中的用户处于等待的工序中，使显示部显示规定信息。

公开(公告)号：CN112630144A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202010933392.2

申请日：2020-09-08

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 藤野敬太

IPC: G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种扫描型探针显微镜以及扫描型探针显微镜的位置调整方法。悬臂在前端部具有探针。照射部向悬臂照射激光。检测部包括用于接收由悬臂反射的激光的受光面，检测受光面上的激光的光斑。驱动部调整检测部的位置。激光调整部调整向悬臂照射的激光。如果在测定试样的特性时悬臂发生了位移的情况下，将激光的光斑在受光面上位移的方向设为第一方向，将在受光面上与第一方向正交的方向设为第二方向，则激光调整部调整激光，使得在调整检测部的位置时的激光的光斑在第二方向上的长度比在测定试样的特性时的激光的光斑在第一方向上的长度长。