公开(公告)号：CN114324981B

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202111090378.1

申请日：2021-09-17

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 新井浩 ,  小暮亮雅 ,  山崎贤治 ,  藤井岳直

IPC: G01Q30/00

Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。

公开(公告)号：CN114324981A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111090378.1

申请日：2021-09-17

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 新井浩 ,  小暮亮雅 ,  山崎贤治 ,  藤井岳直

IPC: G01Q30/00

Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。