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公开(公告)号：CN109313215A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086985.1
申请日：2016-06-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04
Abstract: 本发明为一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其对通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的、表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，其具备：特征量算出部(41)，其根据各测定点上的两轴数据来求1种至多种特征量；特征量选择部(42)，其让使用者选择特征量中的1种；二维映射图像显示部(43)，其根据使用者对特征量的选择而画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及两轴数据显示部(44)，当二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个像素相对应的测定点的两轴数据进行画面显示。
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公开(公告)号：CN108872639A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810204157.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/20
Abstract: 提供一种试样保持件，即使在试样被浸渍在液体中的状态，也能以稳定的状态保持试样。试样保持件(1)具备试样容器(2)与固定部件(3)。固定部件(3)被插入至配置有试样(S)的状态的试样容器(2)内，在与试样容器(2)的底面之间夹持并固定试样。此时，固定部件(3)通过被插入至试样容器(2)的内部而使周缘部弹性变形，以该弹力夹持试样(S)。因此，即使将试样(S)以被浸渍在液体(B)中的状态设置在试样容器(2)的内部的情况下，也能够通过固定部件(3)以稳定的状态保持试样(S)。
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公开(公告)号：CN102435784A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110278106.4
申请日：2011-09-16
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04
CPC classification number: G01Q30/04 , H01J37/26 , H01J2237/221
Abstract: 本发明提供了一种表面分析器，利用该表面分析器，用户仅需进行简单的操作就可以定量比较试样上关注区域内诸如标高和相位等的不同物理量。通过将与相位相对应的颜色信息映射到根据试样标高的二维分布数据创建的三维图像而创建的三维彩色图像(32)显示在分析结果显示画面(30)中。基于可通过用户操作移动的指针(P和Q)创建的剖面图像(33)叠加在三维彩色图像(32)上。剖面图像(33)与试样相交的一维区域定义为关注区域。沿关注区域的标高和相位图形显示在图形显示区域(37)上，且在这些图形上叠加有游标(A～F)。将游标位置处的诸如标高值和相位值或游标之间的标高值差和相位值差等的各种特性值显示在特性值表(38)中。
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公开(公告)号：CN110501525B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201910213652.6
申请日：2019-03-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/14
Abstract: 本发明提供一种能将试样容器内可靠地密闭而且能够顺畅地进行试样观察的试样容器用安装构件以及试样容器的密闭方法。扫描型探针显微镜中使用保持构件、试样容器及安装构件。安装构件由橡胶材料等能够弹性变形的材料构成。安装构件具备环状的主体。在将安装构件安装至保持构件及试样容器时，保持构件在安装构件的主体沿试样容器的外周面发生了弹性变形的状态下插入至试样容器内。继而，使安装构件的一端部脱离试样容器的外周面而密接至保持构件的外周面。在使保持构件与试样容器相对移动时，安装构件的主体会弹性变形。
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公开(公告)号：CN114324981A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111090378.1
申请日：2021-09-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/00
Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108872639B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201810204157.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/20
Abstract: 提供一种试样保持件，即使在试样被浸渍在液体中的状态，也能以稳定的状态保持试样。试样保持件(1)具备试样容器(2)与固定部件(3)。固定部件(3)被插入至配置有试样(S)的状态的试样容器(2)内，在与试样容器(2)的底面之间夹持并固定试样。此时，固定部件(3)通过被插入至试样容器(2)的内部而使周缘部弹性变形，以该弹力夹持试样(S)。因此，即使将试样(S)以被浸渍在液体(B)中的状态设置在试样容器(2)的内部的情况下，也能够通过固定部件(3)以稳定的状态保持试样(S)。
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公开(公告)号：CN114324981B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202111090378.1
申请日：2021-09-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/00
Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。
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公开(公告)号：CN112567252A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201880096598.5
申请日：2018-08-09
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q60/24
Abstract: 扫描探针显微镜(50)具备探针(20)、用于指示探针(20)的悬臂(2)、用于载置试样(S)的扫描仪(43)、使试样(S)与探针(20)之间的距离发生变化的驱动部(4)以及测定悬臂(2)的位移的位移测定部(3)。扫描探针显微镜(50)还具备：曲线制作部(11)，其制作第一曲线和第二曲线，该第一曲线表示试样(S)接近探针(20)时的探针(20)与试样(S)之间的距离同表示悬臂(2)的位移的量的关系，该第二曲线表示试样(S)远离探针(20)时的探针(20)与试样(S)之间的距离同表示悬臂(2)的位移的量的关系；以及物理性质计算部(53)，其求出表示第一曲线与第二曲线之间的面积的量，来作为试样的物理性质。
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公开(公告)号：CN109313215B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201680086985.1
申请日：2016-06-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04
Abstract: 本发明为一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其对通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的、表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，其具备：特征量算出部(41)，其根据各测定点上的两轴数据来求1种至多种特征量；特征量选择部(42)，其让使用者选择特征量中的1种；二维映射图像显示部(43)，其根据使用者对特征量的选择而画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及两轴数据显示部(44)，当二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个像素相对应的测定点的两轴数据进行画面显示。
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