公开(公告)号：CN110389239A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201910303073.0

申请日：2019-04-16

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 渡边一马 ,  藤野敬太 ,  饭田荣治 ,  平出雅人 ,  山崎贤治 ,  中岛秀郎 ,  池田雄一郎 ,  新井浩

IPC: G01Q30/00

Abstract: 本发明提供一种能够缩短微小对象物体的观察时间的扫描型探针显微镜。通过对每条线(L)重复下述处理，来基于多条线(L)的测定范围(R)内的检测信号执行用于获取样品的表面图像的正式测定：即，一边使悬臂在沿X方向的规定长度的线(L)上进行扫描，一边以规定的第1间隔(D11)获取到检测信号后，使悬臂以规定的第2间隔(D12)在Y方向上进行扫描。在正式测定前，通过以比第1间隔(D11)宽的间隔来获取检测信号，或者使悬臂以比第2间隔(D12)宽的间隔在Y方向上进行扫描，来执行用于获取比正式测定粗的样品的表面图像的预备测定。

公开(公告)号：CN110389238A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201910303059.0

申请日：2019-04-16

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 饭田荣治

IPC: G01Q20/02

Abstract: 本发明提供一种扫描型探针显微镜及悬臂移动方法，能够减少在进行液体中观察中的接近动作时产生的工夫。在接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到液面的情况下，光检测部移动处理部(13)使光检测部移动至在悬臂位于液体中的状态下来自悬臂的反射光入射的位置。在由光检测部移动处理部(13)进行光检测部(5)的移动后继续执行的接近动作中、来自悬臂的反射光入射至光检测部中的情况下，光轴调整处理部(11)对入射至光检测部(5)中的反射光的光轴进行调整。在由光轴调整处理部(11)进行光轴的调整后继续执行的接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到固体样品的表面的情况下，接近处理部(12)使接近动作停止。

公开(公告)号：CN110389238B

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN201910303059.0

申请日：2019-04-16

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 饭田荣治

IPC: G01Q20/02

Abstract: 本发明提供一种扫描型探针显微镜及悬臂移动方法，能够减少在进行液体中观察中的接近动作时产生的工夫。在接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到液面的情况下，光检测部移动处理部(13)使光检测部移动至在悬臂位于液体中的状态下来自悬臂的反射光入射的位置。在由光检测部移动处理部(13)进行光检测部(5)的移动后继续执行的接近动作中、来自悬臂的反射光入射至光检测部中的情况下，光轴调整处理部(11)对入射至光检测部(5)中的反射光的光轴进行调整。在由光轴调整处理部(11)进行光轴的调整后继续执行的接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到固体样品的表面的情况下，接近处理部(12)使接近动作停止。

公开(公告)号：CN110398613A

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201910328923.2

申请日：2019-04-23

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 渡边一马 ,  藤野敬太 ,  饭田荣治 ,  平出雅人 ,  山崎贤治 ,  中岛秀郎 ,  池田雄一郎 ,  新井浩

IPC: G01Q60/00 ,  G01Q30/00

Abstract: 本发明提供一种能够提高用户的操作性的扫描型探针显微镜及光强度调整方法。扫描型探针显微镜(1)具备光源、检测器(7)、壳体、开闭门、开闭传感器(14)以及控制部(16)等。开闭门被设置于壳体。控制部(16)也作为光强度变更处理部(164)起作用。在扫描型探针显微镜(1)中，当开闭传感器(14)检测到开闭门的开闭时，光强度变更处理部(164)基于开闭传感器(14)的检测结果，自动变更从光源(4)照射的光的强度。因此，能够省去用户手动的光的强度调整作业。其结果，能够提高使用扫描型探针显微镜(1)时的用户的操作性。