-
公开(公告)号：CN105320161A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510463267.9
申请日：2015-07-31
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置和流量控制方法，所述流量控制装置不设置用于检测压力变化的附加传感器，即使在阀的上游产生压力变化，也能够使其影响不表现在所述阀的下游，从而使流量持续稳定为设定流量值，所述流量控制装置包括：阀(3)；流量传感器(2)；阀控制部(41)，根据设定流量值与由所述流量传感器(2)测量出的测量流量值之间的偏差和设定的控制系数，以使所述偏差变小的方式控制所述阀；以及控制系数设定部(44)，设定所述阀控制部的所述控制系数，在所述阀(3)的上游产生扰动压力上升时，使与阀的开度的减少量相当的扰动流量减少量和与所述阀前后的压差的增加量相当的扰动流量增加量均衡。
-
公开(公告)号：CN102096420B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN200910258576.7
申请日：2009-12-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635
Abstract: 本发明使质量流量控制器的PI性能提高。在质量流量控制器中，基于一次侧压力、该一次侧压力的经时性变化量以及流量设定值中的至少两个，来对稳定状态下的用于PID运算中的比例系数、积分系数以及微分系数进行变更。
-
公开(公告)号：CN101762299B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
-
公开(公告)号：CN107450612B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201710395239.7
申请日：2017-05-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置和存储有流量控制装置用程序的存储介质。该流量控制装置具有良好的响应性，并且根据情况，操作者能够容易调整成与现有的流量控制装置等效的响应性。流量控制装置(100)对流体控制阀(3)进行反馈控制，使测量流量接近目标流量，该流量控制装置(100)具有：响应延迟输入部(43)，用于输入响应延迟设定值，所述响应延迟设定值是表示想要设定的响应延迟的值；以及响应延迟生成部(46)，根据所述响应延迟设定值生成所述反馈控制的响应延迟。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102096420A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200910258576.7
申请日：2009-12-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635
Abstract: 本发明使质量流量控制器的PI性能提高。在质量流量控制器中，基于一次侧压力、该一次侧压力的经时性变化量以及流量设定值中的至少两个，来对稳定状态下的用于PID运算中的比例系数、积分系数以及微分系数进行变更。
-
公开(公告)号：CN101762299A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
-
公开(公告)号：CN105320161B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201510463267.9
申请日：2015-07-31
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置和流量控制方法，所述流量控制装置不设置用于检测压力变化的附加传感器，即使在阀的上游产生压力变化，也能够使其影响不表现在所述阀的下游，从而使流量持续稳定为设定流量值，所述流量控制装置包括：阀(3)；流量传感器(2)；阀控制部(41)，根据设定流量值与由所述流量传感器(2)测量出的测量流量值之间的偏差和设定的控制系数，以使所述偏差变小的方式控制所述阀；以及控制系数设定部(44)，设定所述阀控制部的所述控制系数，在所述阀(3)的上游产生扰动压力上升时，使与阀的开度的减少量相当的扰动流量减少量和与所述阀前后的压差的增加量相当的扰动流量增加量均衡。
-
公开(公告)号：CN107450612A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710395239.7
申请日：2017-05-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G01F1/6965 , F16K37/005 , F16K37/0091 , G01F15/005 , G05B13/021 , G05D7/0629 , G05D7/0635
Abstract: 本发明提供流量控制装置和存储有流量控制装置用程序的存储介质。该流量控制装置具有良好的响应性，并且根据情况，操作者能够容易调整成与现有的流量控制装置等效的响应性。流量控制装置(100)对流体控制阀(3)进行反馈控制，使测量流量接近目标流量，该流量控制装置(100)具有：响应延迟输入部(43)，用于输入响应延迟设定值，所述响应延迟设定值是表示想要设定的响应延迟的值；以及响应延迟生成部(46)，根据所述响应延迟设定值生成所述反馈控制的响应延迟。
-
公开(公告)号：CN102467132A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110339758.4
申请日：2011-11-01
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635
Abstract: 本发明提供质量流量控制器和流量控制方法，能使质量流量控制器的流量控制阀使用的时间更长，并且在使流量设定值减少的情况下可以更正确地控制实际流量。质量流量控制器包括：流量传感器部(2)；流量控制阀(3)；计算部(6)，对流量测量值和流量设定值的偏差至少进行比例计算，从而计算出对流量控制阀(3)的反馈控制值；以及开度控制信号输出部(7)，根据反馈控制值生成开度控制信号，并向流量控制阀(3)输出。在作为从使流量设定值减少了规定量以上的时刻起的规定期间的减少变化期间中，使用利用减少前的流量设定值和减少后的流量设定值的变化部分得到的计算值越小计算出的值越大的函数，计算在所述比例计算中的偏差上乘上的增益值。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.017 seconds)
