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公开(公告)号：CN102467132A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110339758.4
申请日：2011-11-01
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635
Abstract: 本发明提供质量流量控制器和流量控制方法，能使质量流量控制器的流量控制阀使用的时间更长，并且在使流量设定值减少的情况下可以更正确地控制实际流量。质量流量控制器包括：流量传感器部(2)；流量控制阀(3)；计算部(6)，对流量测量值和流量设定值的偏差至少进行比例计算，从而计算出对流量控制阀(3)的反馈控制值；以及开度控制信号输出部(7)，根据反馈控制值生成开度控制信号，并向流量控制阀(3)输出。在作为从使流量设定值减少了规定量以上的时刻起的规定期间的减少变化期间中，使用利用减少前的流量设定值和减少后的流量设定值的变化部分得到的计算值越小计算出的值越大的函数，计算在所述比例计算中的偏差上乘上的增益值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101583916B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200780036830.8
申请日：2007-06-01
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F15/005 , G01F1/6965 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/2703 , Y10T137/7759
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器，该质量流量控制器在不牺牲相对于流量设定值变化的跟踪速度的前提下，即使发生压力变动也可抑制流量变动，而可采用可能发生串扰等扰动的系统。本发明的质量流量控制器包含：控制部(5)，由规定算式计算流量控制阀的开度控制信号并加以输出，该规定算式至少包含有作为参数的流量测定值与流量设定值；及压力传感部(4)，检测流量传感部(2)的上游侧或下游侧的流体的压力，输出表示此压力值的压力检测信号；且该控制部(5)的该算式在下列期间内互不相同：自该流量设定值发生超过规定量以上的变化的时间点起的规定期间即变化期间，与除此以外的期间即稳定期间；至少在该稳定期间，作为该算式的参数，进一步包含有该压力值。
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公开(公告)号：CN102576231B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201080047852.6
申请日：2010-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0652 , Y10T137/7784
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。
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公开(公告)号：CN102644787A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210033527.5
申请日：2012-02-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: F16K31/02
CPC classification number: G05D7/0635
Abstract: 本发明提供流体控制装置和压力控制装置，即使阀控制器采用了数字控制，也能实现与以往的使用模拟控制的情况相近的响应性。流体控制装置(100)包括：流体控制阀(2)，设置在流体流过的流道(5)上；流体测量部(1)、(3)，测量与所述流体相关的物理量；以及阀控制器(4)，根据由所述流体测量部(1)测量的物理量的测量值与预先设定的设定值的偏差，通过数字控制控制所述流体控制阀(2)的开度，所述阀控制器(4)包括：操作量计算部(41)，对输入的值进行规定的计算并输出与所述流体控制阀(2)的开度的操作量相关的值；以及相位补偿部(42)，输出通过速度型数字计算对输入的值补偿相位延迟后得到的值。
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公开(公告)号：CN102576231A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080047852.6
申请日：2010-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0652 , Y10T137/7784
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。
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公开(公告)号：CN101583916A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200780036830.8
申请日：2007-06-01
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F15/005 , G01F1/6965 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/2703 , Y10T137/7759
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器，该质量流量控制器在不牺牲相对于流量设定值变化的跟踪速度的前提下，即使发生压力变动也可抑制流量变动，而可采用可能发生串扰等扰动的系统。本发明的质量流量控制器包含：控制部(5)，由规定算式计算流量控制阀的开度控制信号并加以输出，该规定算式至少包含有作为参数的流量测定值与流量设定值；及压力传感部(4)，检测流量传感部(2)的上游侧或下游侧的流体的压力，输出表示此压力值的压力检测信号；且该控制部(5)的该算式在下列期间内互不相同：自该流量设定值发生超过规定量以上的变化的时间点起的规定期间即变化期间，与除此以外的期间即稳定期间；至少在该稳定期间，作为该算式的参数，进一步包含有该压力值。
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