半导体晶片及其制造方法以及半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1379464A

    公开(公告)日:2002-11-13

    申请号:CN02118043.1

    申请日:2002-03-29

    Inventor: 江头克

    CPC classification number: H01L27/1203 H01L21/76243 H01L21/84

    Abstract: 一种半导体器件,包括:由具有平坦表面的单晶硅构成的半导体衬底、第一元件形成区域、第二元件形成区域、第三元件形成区域和在第一到第三元件形成区域的每一个上形成的用途不同的半导体元件。第一元件形成区域具有从半导体衬底表面埋入到规定深度处的第一埋置绝缘膜。第二元件形成区域具有从半导体衬底表面埋入到比第一埋置绝缘膜浅的位置处的第二埋置绝缘膜。第三元件形成区域从半导体衬底表面到与该表面相反的背面之间由单晶硅构成。

    半导体晶片及其制造方法以及半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1260804C

    公开(公告)日:2006-06-21

    申请号:CN02118043.1

    申请日:2002-03-29

    Inventor: 江头克

    CPC classification number: H01L27/1203 H01L21/76243 H01L21/84

    Abstract: 一种半导体器件,包括:由具有平坦表面的单晶硅构成的半导体衬底、第一元件形成区域、第二元件形成区域、第三元件形成区域和在第一到第三元件形成区域的每一个上形成的用途不同的半导体元件。第一元件形成区域具有从半导体衬底表面埋入到规定深度处的第一埋置绝缘膜。第二元件形成区域具有从半导体衬底表面埋入到比第一埋置绝缘膜浅的位置处的第二埋置绝缘膜。第三元件形成区域从半导体衬底表面到与该表面相反的背面之间由单晶硅构成。

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