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公开(公告)号：CN108352674A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680063144.9
申请日：2016-11-08
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 准分子激光装置可以具有：光谐振器；腔室，其包含一对放电电极，配置在光谐振器之间，收容激光气体；电源，其接收触发信号，根据触发信号对一对放电电极施加脉冲状的电压；能量监视器，其计测从光谐振器输出的脉冲激光的脉冲能量；卤素气体分压调节部，其构成为能够执行腔室内收容的激光气体的一部分的排气和向腔室内的激光气体的供给；以及控制部，其取得能量监视器对脉冲能量的计测结果，根据脉冲能量的计测结果检测能量降低，根据能量降低的检测结果对卤素气体分压调节部进行控制，由此，对腔室内的卤素气体分压进行调节。
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公开(公告)号：CN109792128A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201680089883.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/03
Abstract: 激光气体再生系统用于准分子激光装置，该准分子激光装置包含构成为能够向激光腔供给第1激光气体的第1配管、构成为能够向激光腔供给卤素气体浓度比第1激光气体高的第2激光气体的第2配管、构成为能够供从激光腔排出的气体通过的第3配管，其中，激光气体再生系统具有：气体精制部，其对通过了第3配管的气体进行精制；分支部，其使流入气体精制部而被精制后的气体分支到第4配管和第5配管；第1再生气体供给部，其向第1配管供给分支到第4配管的气体；以及第2再生气体供给部，其在分支到第5配管的气体中添加卤素气体，并向第2配管供给添加卤素气体而得的气体。
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公开(公告)号：CN114287088B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN201980099848.5
申请日：2019-10-04
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/036
Abstract: 激光装置的泄漏检查方法包含以下步骤：使收纳激光介质气体的封闭空间暴露于大气；在使封闭空间暴露于大气后，使封闭空间与大气隔绝；向封闭空间导入包含氖气的含氖气体；以及判定氖气是否泄漏到封闭空间的外部。
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公开(公告)号：CN111670520A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201880088479.5
申请日：2018-03-26
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 激光气体管理系统包含：气体再生装置，其与多个准分子激光装置连接，将从多个准分子激光装置排出的激光气体再生为再生气体，向多个准分子激光装置供给再生气体；以及控制部，其判定多个准分子激光装置各自的至少一个参数是否超过预先决定的范围，在至少一个参数超过预先决定的范围的准分子激光装置的台数为2以上的情况下，控制部判定为气体再生装置异常。
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公开(公告)号：CN108352674B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201680063144.9
申请日：2016-11-08
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 准分子激光装置可以具有：光谐振器；腔室，其包含一对放电电极，配置在光谐振器之间，收容激光气体；电源，其接收触发信号，根据触发信号对一对放电电极施加脉冲状的电压；能量监视器，其计测从光谐振器输出的脉冲激光的脉冲能量；卤素气体分压调节部，其构成为能够执行腔室内收容的激光气体的一部分的排气和向腔室内的激光气体的供给；以及控制部，其取得能量监视器对脉冲能量的计测结果，根据脉冲能量的计测结果检测能量降低，根据能量降低的检测结果对卤素气体分压调节部进行控制，由此，对腔室内的卤素气体分压进行调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107210574A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680009394.4
申请日：2016-02-23
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/038
Abstract: 该准分子激光腔室装置可以具备：激光腔室；第一电极，其配置在激光腔室内；第二电极，其在激光腔室内与第一电极相对配置；电极保持架，其配置在激光腔室内，与高电压连接；至少一个连接端子，其将第一电极与电极保持架电气连接，包含针对第一电极的第一固定部分和针对电极保持架的第二固定部分；引导部件，其被电极保持架保持，在大致垂直于第一电极与第二电极之间的放电方向以及第一电极的长度方向这两者的方向上对第一电极进行定位；以及电极间隙可变装置，其使第一电极与放电方向大致平行地移动。
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公开(公告)号：CN111801855B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN201880090657.8
申请日：2018-10-22
Applicant: 极光先进雷射株式会社(JP)
IPC: H01S3/225
Abstract: 激光气体再生装置对从至少一个ArF准分子激光装置排出的排出气体进行再生，并将再生气体供给到至少一个ArF准分子激光装置，该至少一个ArF准分子激光装置与第1激光气体供给源和第2激光气体供给源连接，第1激光气体供给源供给包含氩气、氖气和第1浓度的氙气在内的第1激光气体，第2激光气体供给源供给包含氩气、氖气和氟气的第2激光气体，其中，激光气体再生装置具有：数据取得部，其取得被供给到至少一个ArF准分子激光装置的第2激光气体的供给量的数据；氙添加部，其将包含氩气、氖气和比第1浓度高的第2浓度的氙气在内的第3激光气体添加到再生气体中；以及控制部，其根据供给量对基于氙添加部的第3激光气体的添加量进行控制。
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公开(公告)号：CN114287088A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN201980099848.5
申请日：2019-10-04
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/036
Abstract: 激光装置的泄漏检查方法包含以下步骤：使收纳激光介质气体的封闭空间暴露于大气；在使封闭空间暴露于大气后，使封闭空间与大气隔绝；向封闭空间导入包含氖气的含氖气体；以及判定氖气是否泄漏到封闭空间的外部。
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公开(公告)号：CN107210574B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201680009394.4
申请日：2016-02-23
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/038
Abstract: 该准分子激光腔室装置可以具备：激光腔室；第一电极，其配置在激光腔室内；第二电极，其在激光腔室内与第一电极相对配置；电极保持架，其配置在激光腔室内，与高电压连接；至少一个连接端子，其将第一电极与电极保持架电气连接，包含针对第一电极的第一固定部分和针对电极保持架的第二固定部分；引导部件，其被电极保持架保持，在大致垂直于第一电极与第二电极之间的放电方向以及第一电极的长度方向这两者的方向上对第一电极进行定位；以及电极间隙可变装置，其使第一电极与放电方向大致平行地移动。
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公开(公告)号：CN111670520B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201880088479.5
申请日：2018-03-26
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 激光气体管理系统包含：气体再生装置，其与多个准分子激光装置连接，将从多个准分子激光装置排出的激光气体再生为再生气体，向多个准分子激光装置供给再生气体；以及控制部，其判定多个准分子激光装置各自的至少一个参数是否超过预先决定的范围，在至少一个参数超过预先决定的范围的准分子激光装置的台数为2以上的情况下，控制部判定为气体再生装置异常。
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