校准调整装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115606060B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202080100985.9

    申请日:2020-06-05

    Inventor: 大贺仁

    Abstract: 校准调整装置具有:第1材质的第1保持架,其支承光学元件;第1调整装置,其包含与第1材质不同的第2材质的第1伸缩部,通过使第1伸缩部与第1保持架接触并调整第1伸缩部的长度,使第1保持架和光学元件绕第1轴旋转;以及第2材质的第1支承部件,其支承第1调整装置,第1调整装置构成为,能够将第1伸缩部与第1保持架接触的位置调整到包含第1支承部件的第1端部和第1轴在内的第1平面上。

    光学脉冲扩展器、激光装置及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN119726314A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202411056251.1

    申请日:2024-08-02

    Abstract: 本发明提供光学脉冲扩展器、激光装置及电子器件的制造方法。光学脉冲扩展器具备:分束器,其将入射到光学面的激光分离为反射激光和透射激光;保持架,其将分束器固定为,使分束器的光学面相对于入射的激光的光路轴倾斜;多个反射镜,它们将反射激光引导至分束器;以及滑动机构,其使分束器在与光学面平行的方向上移动,滑动机构具备:滑动板,其与保持架连结;以及壳体,其将滑动板保持为能够相对于配置有多个反射镜的基板在滑动方向上移动,壳体具备在内周形成有内螺纹的螺纹孔,滑动板在与螺纹孔对应的位置具备贯通孔。

    激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115039298B

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202080095261.X

    申请日:2020-03-26

    Abstract: 本公开的一个观点的激光装置具有:主振荡器,其输出激光;放大器,其具有光谐振器,在光谐振器内放大由主振荡器输出的激光;以及相位偏移构造,其被配置于比主振荡器与放大器之间的光路的中间点靠放大器侧的光路上。相位偏移构造具有激光的相位的偏移量不同的多个单元,单元的配置间隔为80μm以上且275μm以下。

    激光装置以及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN119654751A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202280098786.8

    申请日:2022-09-02

    Abstract: 激光装置具备:一对电极,其使得产生放电;以及光学脉冲扩展装置,其对通过在电极间产生的放电而生成的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展,光学脉冲扩展装置具备:分束器,其供脉冲激光入射的光学面相对于脉冲激光的光路轴倾斜地配置,将入射到光学面的脉冲激光分离为反射激光和透射激光;多个反射镜,其将反射激光向分束器引导;以及滑动机构,其使分束器在与放电的方向垂直且与光学面平行的方向上移动。

    窄带化激光装置以及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN119654750A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202280098841.3

    申请日:2022-09-02

    Inventor: 服部正和

    Abstract: 一种窄带化激光装置,其具备:激光谐振器,其包括输出耦合镜和窄带化模块,窄带化模块包括棱镜和光栅,光栅的反射面为凹面状;激光腔室,其包括一对放电电极,且配置在激光谐振器的光路上;电源,其对放电电极施加高电压脉冲,高电压脉冲的重复频率可变;波面调节器,其包括输出耦合镜;频谱检测器,其用于测量从输出耦合镜输出的脉冲激光的谱线宽度;以及处理器,其根据测量的谱线宽度控制波面调节器。

    窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116097532B

    公开(公告)日:2025-02-21

    申请号:CN202080103980.1

    申请日:2020-09-08

    Abstract: 窄带化模块具有:壳体;棱镜,其被配置于壳体的内部空间,光透过棱镜;载置部,其被配置于内部空间,载置有棱镜;固定单元,其被配置于内部空间,将棱镜固定于载置部;以及遮光部件。遮光部件被配置于内部空间,对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。

    气体激光装置的腔、气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN119318081A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202380044441.9

    申请日:2023-06-01

    Abstract: 气体激光装置的腔在内部空间封入激光气体,该腔具有:第1主电极和第2主电极,它们的长度方向沿着规定方向,它们在内部空间中彼此分开地对置;窗口,其被设置于腔的壁面,来自内部空间的光透过该窗口;以及第1预电离电极,其被设置于第1主电极的一侧,第1预电离电极具有沿着长度方向延伸的第1电介质管、被配置于第1电介质管的内部且沿着长度方向延伸的第1预电离内电极、以及沿着长度方向延伸的第1预电离外电极,该第1预电离外电极包含与第1电介质管的外周面对置的第1端部,从所述第1端部向远离第1电介质管的方向延伸,在与长度方向垂直的平面中,第1电晕放电角为锐角。

    激光系统和电子器件的制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119256457A

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202280095676.6

    申请日:2022-06-23

    Inventor: 小山内贵幸

    Abstract: 激光系统具有:泵浦激光装置,其输出第1波长的泵浦激光;信号激光装置,其输出比第1波长长的第2波长的信号激光;以及放大系统,其包含输出第2波长的放大光的多个光参量晶体,放大系统被配置成,从第1光参量晶体输出且入射到第2光参量晶体的第2波长的第1放大光和入射到第2光参量晶体的泵浦激光各自的束腰位置彼此一致,且两个光同轴地入射到第2光参量晶体,放大系统具有如下的第1射束直径调整光学系统:第2参量晶体内的泵浦激光的束腰直径相对于第1放大光的束腰直径的比率被设定成,比第1参量晶体内的泵浦激光的束腰直径相对于信号激光的束腰直径的比率大。

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