公开(公告)号：CN108352674B

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201680063144.9

申请日：2016-11-08

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 藤卷洋介 ,  对马弘朗 ,  池田宏幸 ,  若林理

IPC: H01S3/225 ,  H01S3/036 ,  H01S3/134

Abstract: 准分子激光装置可以具有：光谐振器；腔室，其包含一对放电电极，配置在光谐振器之间，收容激光气体；电源，其接收触发信号，根据触发信号对一对放电电极施加脉冲状的电压；能量监视器，其计测从光谐振器输出的脉冲激光的脉冲能量；卤素气体分压调节部，其构成为能够执行腔室内收容的激光气体的一部分的排气和向腔室内的激光气体的供给；以及控制部，其取得能量监视器对脉冲能量的计测结果，根据脉冲能量的计测结果检测能量降低，根据能量降低的检测结果对卤素气体分压调节部进行控制，由此，对腔室内的卤素气体分压进行调节。

公开(公告)号：CN108352674A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680063144.9

申请日：2016-11-08

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 藤卷洋介 ,  对马弘朗 ,  池田宏幸 ,  若林理

IPC: H01S3/225 ,  H01S3/036 ,  H01S3/134

Abstract: 准分子激光装置可以具有：光谐振器；腔室，其包含一对放电电极，配置在光谐振器之间，收容激光气体；电源，其接收触发信号，根据触发信号对一对放电电极施加脉冲状的电压；能量监视器，其计测从光谐振器输出的脉冲激光的脉冲能量；卤素气体分压调节部，其构成为能够执行腔室内收容的激光气体的一部分的排气和向腔室内的激光气体的供给；以及控制部，其取得能量监视器对脉冲能量的计测结果，根据脉冲能量的计测结果检测能量降低，根据能量降低的检测结果对卤素气体分压调节部进行控制，由此，对腔室内的卤素气体分压进行调节。