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公开(公告)号：CN113906218A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN201980097086.5
申请日：2019-07-03
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 放电激励式气体激光装置的激光腔具有：容器，其在内部收纳激光气体；一对放电电极，它们被配置于容器内；横流风扇，其向放电电极之间的放电空间供给激光气体，横流风扇包含用于使横流风扇沿规定的旋转方向旋转的旋转轴、以及各自的长度方向与旋转轴的轴向平行的多个叶片；以及稳定器，其被配置于横流风扇的旋转轨迹的外侧，被配置成与旋转方向相反的方向侧的端部在旋转方向上的最大位置与最小位置之差大于0，且小于多个叶片中的位于彼此相邻的位置的2枚叶片的间隔。
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公开(公告)号：CN108352674A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680063144.9
申请日：2016-11-08
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 准分子激光装置可以具有：光谐振器；腔室，其包含一对放电电极，配置在光谐振器之间，收容激光气体；电源，其接收触发信号，根据触发信号对一对放电电极施加脉冲状的电压；能量监视器，其计测从光谐振器输出的脉冲激光的脉冲能量；卤素气体分压调节部，其构成为能够执行腔室内收容的激光气体的一部分的排气和向腔室内的激光气体的供给；以及控制部，其取得能量监视器对脉冲能量的计测结果，根据脉冲能量的计测结果检测能量降低，根据能量降低的检测结果对卤素气体分压调节部进行控制，由此，对腔室内的卤素气体分压进行调节。
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公开(公告)号：CN117581430A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202180100116.0
申请日：2021-08-27
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 藤卷洋介
IPC: H01S3/139
Abstract: 气体激光装置具有：激光振荡器，其输出激光；以及激光放大器，其对激光进行放大而输出放大激光。激光放大器包含：放电腔，其在内部具有用于发生放电的一对电极；输入耦合光学系统，其使激光的至少一部分朝向放电腔透过；以及输出耦合光学系统，其与输入耦合光学系统一起构成光谐振器，使透过输入耦合光学系统和放电腔后的激光的至少一部分透过，而输出放大激光。输入耦合光学系统的与放电的方向垂直的第1方向的第1焦点和输出耦合光学系统的第1方向的第2焦点在输入耦合光学系统与输出耦合光学系统之间一致。
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公开(公告)号：CN111801855B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN201880090657.8
申请日：2018-10-22
Applicant: 极光先进雷射株式会社(JP)
IPC: H01S3/225
Abstract: 激光气体再生装置对从至少一个ArF准分子激光装置排出的排出气体进行再生，并将再生气体供给到至少一个ArF准分子激光装置，该至少一个ArF准分子激光装置与第1激光气体供给源和第2激光气体供给源连接，第1激光气体供给源供给包含氩气、氖气和第1浓度的氙气在内的第1激光气体，第2激光气体供给源供给包含氩气、氖气和氟气的第2激光气体，其中，激光气体再生装置具有：数据取得部，其取得被供给到至少一个ArF准分子激光装置的第2激光气体的供给量的数据；氙添加部，其将包含氩气、氖气和比第1浓度高的第2浓度的氙气在内的第3激光气体添加到再生气体中；以及控制部，其根据供给量对基于氙添加部的第3激光气体的添加量进行控制。
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公开(公告)号：CN117957731A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202180102297.0
申请日：2021-11-16
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的一个观点的激光装置具备：振荡器，其射出激光(Lp)；放大器(30a)，其将激光(Lp)在包含一对放电电极(33a)的腔室(32)内放大；前侧光学系统(35)和后侧光学系统(36)，它们配置于隔着腔室(32)对置的位置，构成包含第1光路(P1)和第2光路(P2)的环形谐振器，第1光路(P1)和第2光路(P2)在一对放电电极(33a)之间交叉；以及第1平行平面基板(61、62)，其配置在第1光路(P1)上或第2光路(P2)上。第1光路(P1)是前侧光学系统(35)将从振荡器入射的激光(Lp)朝向后侧光学系统(36)射出的光路。第2光路(P2)是后侧光学系统(36)将经由第1光路(P1)入射的激光(Lp)朝向前侧光学系统(35)射出的光路。第1平行平面基板(61、62)使第1光路(P1)和第2光路(P2)在腔室(32)侧向彼此靠近的方向平行移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111801855A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201880090657.8
申请日：2018-10-22
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/225
Abstract: 激光气体再生装置对从至少一个ArF准分子激光装置排出的排出气体进行再生，并将再生气体供给到至少一个ArF准分子激光装置，该至少一个ArF准分子激光装置与第1激光气体供给源和第2激光气体供给源连接，第1激光气体供给源供给包含氩气、氖气和第1浓度的氙气在内的第1激光气体，第2激光气体供给源供给包含氩气、氖气和氟气的第2激光气体，其中，激光气体再生装置具有：数据取得部，其取得被供给到至少一个ArF准分子激光装置的第2激光气体的供给量的数据；氙添加部，其将包含氩气、氖气和比第1浓度高的第2浓度的氙气在内的第3激光气体添加到再生气体中；以及控制部，其根据供给量对基于氙添加部的第3激光气体的添加量进行控制。
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公开(公告)号：CN118104087A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202180103194.6
申请日：2021-11-24
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 藤卷洋介
Abstract: 脉冲扩展器具有：分束器，其将脉冲激光分离成2方；多个第1凹面镜，它们在规定方向上被彼此并列地配置；以及多个第2凹面镜，它们的数量与第1凹面镜的数量相同，多个第2凹面镜分别与第1凹面镜相面对，在规定方向上被彼此并列地配置，由分束器分离后的一方脉冲激光向多个第1凹面镜中的任意第1凹面镜行进，被多个第1凹面镜和多个第2凹面镜交替地反射12次以上的偶数次，而返回分束器，在一方脉冲激光的至少一部分在一方脉冲激光的束腰处彼此重叠而成的多个聚光点中的每一个聚光点，一方脉冲激光的重叠数分别为2个。
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公开(公告)号：CN115039299A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202080095270.9
申请日：2020-03-19
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 藤卷洋介
IPC: H01S3/134
Abstract: 一种窄带化气体激光装置的控制方法，该窄带化气体激光装置输出包含第1波长成分和第2波长成分的脉冲激光，其中，窄带化气体激光装置具有：激光腔，其包含一对电极；光谐振器，其包含调整机构，调整机构对第1波长成分与第2波长成分的能量比率的参数进行调整；以及处理器，其存储有关系数据，关系数据表示能量比率的参数相对于调整机构的控制参数的关系，控制方法包含以下步骤：从外部装置接收能量比率的参数的指令值；以及根据关系数据取得与指令值对应的控制参数的值，根据控制参数的值对调整机构进行控制。
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公开(公告)号：CN115039035A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202080095442.2
申请日：2020-03-19
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 藤卷洋介
IPC: G03F7/20 , H01S3/1055
Abstract: 窄带化气体激光装置具有：激光腔，其包含对置配置的一对电极；输出耦合镜；以及窄带化装置，其与输出耦合镜一起构成光谐振器，窄带化装置包含光学系统，该光学系统具有第1区域和第2区域，该第1区域和第2区域供从激光腔出射的光束中的、通过在一对电极相面对的方向上不同的位置的第1部分和第2部分分别入射，光学系统构成为抑制第1部分的光路轴与第2部分的光路轴的距离扩大。
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公开(公告)号：CN108352674B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201680063144.9
申请日：2016-11-08
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 准分子激光装置可以具有：光谐振器；腔室，其包含一对放电电极，配置在光谐振器之间，收容激光气体；电源，其接收触发信号，根据触发信号对一对放电电极施加脉冲状的电压；能量监视器，其计测从光谐振器输出的脉冲激光的脉冲能量；卤素气体分压调节部，其构成为能够执行腔室内收容的激光气体的一部分的排气和向腔室内的激光气体的供给；以及控制部，其取得能量监视器对脉冲能量的计测结果，根据脉冲能量的计测结果检测能量降低，根据能量降低的检测结果对卤素气体分压调节部进行控制，由此，对腔室内的卤素气体分压进行调节。
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