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公开(公告)号：CN108141000A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201580083635.5
申请日：2015-11-13
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/036
Abstract: 激光气体精制系统对从ArF准分子激光装置排出的排出气体进行精制而提供给ArF准分子激光装置，该ArF准分子激光装置使用包含氙气在内的激光气体，该激光气体精制系统可以具有：氙捕集器，其降低排出气体的氙气浓度；以及氙添加装置，其对通过氙捕集器后的排出气体添加氙气。
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公开(公告)号：CN109792128B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201680089883.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/03
Abstract: 激光气体再生系统用于准分子激光装置，该准分子激光装置包含构成为能够向激光腔供给第1激光气体的第1配管、构成为能够向激光腔供给卤素气体浓度比第1激光气体高的第2激光气体的第2配管、构成为能够供从激光腔排出的气体通过的第3配管，其中，激光气体再生系统具有：气体精制部，其对通过了第3配管的气体进行精制；分支部，其使流入气体精制部而被精制后的气体分支到第4配管和第5配管；第1再生气体供给部，其向第1配管供给分支到第4配管的气体；以及第2再生气体供给部，其在分支到第5配管的气体中添加卤素气体，并向第2配管供给添加卤素气体而得的气体。
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公开(公告)号：CN108141000B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201580083635.5
申请日：2015-11-13
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/036
Abstract: 提供了激光气体精制系统和激光系统。激光气体精制系统是对从激光装置排出的激光气体进行精制，并使精制后的激光气体返回到激光装置的激光气体精制系统，该激光气体精制系统可以具有：第一配管，其导入从激光装置排出的激光气体；精制装置，其与第一配管连接，对从激光装置排出的激光气体进行精制；第二配管，其与精制装置连接，使被精制装置精制后的激光气体返回到激光装置；以及排气装置，其设置在第一配管、精制装置以及第二配管中的至少一个上。
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公开(公告)号：CN109792128A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201680089883.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/03
Abstract: 激光气体再生系统用于准分子激光装置，该准分子激光装置包含构成为能够向激光腔供给第1激光气体的第1配管、构成为能够向激光腔供给卤素气体浓度比第1激光气体高的第2激光气体的第2配管、构成为能够供从激光腔排出的气体通过的第3配管，其中，激光气体再生系统具有：气体精制部，其对通过了第3配管的气体进行精制；分支部，其使流入气体精制部而被精制后的气体分支到第4配管和第5配管；第1再生气体供给部，其向第1配管供给分支到第4配管的气体；以及第2再生气体供给部，其在分支到第5配管的气体中添加卤素气体，并向第2配管供给添加卤素气体而得的气体。
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公开(公告)号：CN119174069A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202280095675.1
申请日：2022-06-02
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/137
Abstract: 窄带化模块具有：反射镜，其包含底面和光的反射面；光栅，其对反射面反射的光进行波长色散；基座板，反射镜的底面通过粘接剂固定于该基座板；旋转台，其配置有基座板，使基座板以旋转轴为轴绕轴旋转，使得反射镜以旋转轴为轴绕轴旋转，旋转轴与光进行波长色散的平面垂直；以及驱动部，其使旋转台以旋转轴为轴绕轴旋转，反射镜的重心、粘接剂的重心、基座板的重心以及旋转台的重心位于旋转轴上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116018731B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202080103984.X
申请日：2020-09-09
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/137
Abstract: 窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1保持架沿对从输出耦合镜输出的激光的射束指向向第1方向变化进行抑制的方向旋转。
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公开(公告)号：CN107925211A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201580082797.7
申请日：2015-10-27
Applicant: 极光先进雷射株式会社
CPC classification number: H01S3/036 , B01D53/04 , B01D53/685 , B01D2251/404 , B01D2251/602 , B01D2251/604 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2255/20753 , B01D2255/20761 , B01D2255/50 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/11 , B01D2257/2027 , B01D2257/204 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , H01S3/1024 , H01S3/104 , H01S3/2207 , H01S3/2232 , H01S3/225
Abstract: 激光气体精炼系统作为将从使用包括氙气的激光气体的ArF准分子激光装置排出的排出气体精炼而供给到ArF准分子激光装置的激光气体精炼系统，具备：氙捕捉器，其降低排出气体的氙气浓度；及氙添加装置，其向通过了氙捕捉器的排出气体添加氙气。
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公开(公告)号：CN119726314A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411056251.1
申请日：2024-08-02
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本发明提供光学脉冲扩展器、激光装置及电子器件的制造方法。光学脉冲扩展器具备：分束器，其将入射到光学面的激光分离为反射激光和透射激光；保持架，其将分束器固定为，使分束器的光学面相对于入射的激光的光路轴倾斜；多个反射镜，它们将反射激光引导至分束器；以及滑动机构，其使分束器在与光学面平行的方向上移动，滑动机构具备：滑动板，其与保持架连结；以及壳体，其将滑动板保持为能够相对于配置有多个反射镜的基板在滑动方向上移动，壳体具备在内周形成有内螺纹的螺纹孔，滑动板在与螺纹孔对应的位置具备贯通孔。
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公开(公告)号：CN119654751A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202280098786.8
申请日：2022-09-02
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/134
Abstract: 激光装置具备：一对电极，其使得产生放电；以及光学脉冲扩展装置，其对通过在电极间产生的放电而生成的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展，光学脉冲扩展装置具备：分束器，其供脉冲激光入射的光学面相对于脉冲激光的光路轴倾斜地配置，将入射到光学面的脉冲激光分离为反射激光和透射激光；多个反射镜，其将反射激光向分束器引导；以及滑动机构，其使分束器在与放电的方向垂直且与光学面平行的方向上移动。
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公开(公告)号：CN116018731A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202080103984.X
申请日：2020-09-09
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/137
Abstract: 窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1保持架沿对从输出耦合镜输出的激光的射束指向向第1方向变化进行抑制的方向旋转。
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