氮化物半导体发光器件

    公开(公告)号:CN101981711B

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN200980110753.5

    申请日:2009-03-23

    CPC classification number: H01L33/12 H01L33/02 H01L33/025 H01L33/32

    Abstract: 本发明提供一种具有改善的内部量子效率的发光层和具有高的光输出的氮化物半导体发光器件。所述氮化物半导体发光器件包括用于外延生长的单晶衬底(1)、形成在单晶衬底(1)的上表面侧上的第一缓冲层(2)、形成在第一缓冲层(2)的上表面侧上的n-型氮化物半导体层(3)、通过第二缓冲层(4)形成在n-型氮化物半导体层(3)的上表面侧上的第三缓冲层(5)、形成在第三缓冲层(5)的上表面侧上的发光层(6)和形成在发光层(6)的上表面侧上的p-型氮化物半导体层(7)。第三缓冲层(5)用于减少发光层(6)中的线位错和剩余畸变,改善发光层(6)的基层的平坦度,以及进一步地通过利用第三缓冲层(5)中产生的载流子来改变发光层(6)中的压电场,并且在第三缓冲层(5)中添加Si充当施主的杂质。

    量子级联激光元件
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103797668A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201280042684.0

    申请日:2012-08-01

    Abstract: 本发明的课题是制作一种减小了阈值电流密度(Jth)、提高了最高工作温度(Tmax)的量子级联激光元件。解决的手段是:在本发明的一个实施方式中,提供一种具有QCL结构(100)的THz-QCL元件(1000),该QCL结构(100)为被一对电极(20、30)夹持的半导体超晶格结构(100A)。半导体超晶格结构(100A)(QCL结构100)具有活性区域(10),该活性区域(10)例如通过在一对电极之间被施加了电压时的子带间的电子跃迁来发射THz波段的电磁波。该活性区域具有在厚度方向方向上重复设置的具有一定厚度的单位结构(10U),该单位结构(10U)包括几个交替层叠的势阱层(10W)和势垒层(10B),势阱层(10W)由作为AlAs和GaAs的混晶的AlxGa1-xAs(0

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