铝靶材的熔铸方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119615081A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411917270.9

    申请日:2024-12-24

    Abstract: 本申请涉及靶材技术领域,提供了一种铝靶材的熔铸方法,包括:将铝原料熔融形成铝液后,依次对铝液进行精炼处理、第一过滤处理和铸造处理,制备得到铝靶材;其中,对进入铸造处理的铝液进行喂丝处理,铸造处理包括预稳态阶段和稳态阶段,预稳态阶段中铸造处理的参数发生变化,稳态阶段中铸造处理的参数不发生变化;当铸造处理处于预稳态阶段,喂丝处理包括向铝液加入第一铝丝,且对铸造处理中的铝液进行第一搅拌处理;当铸造处理处于稳态阶段,喂丝处理包括向铝液加入第二铝丝,且对铸造处理中的铝液进行第二搅拌处理;第一铝丝的直径小于第二铝丝的直径,第一搅拌处理的强度小于第二搅拌处理的强度。本申请实现了熔铸法对高纯铝靶材的晶粒细化。

    旋转铝靶材及其制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116904941A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310836114.9

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 本发明提供了一种旋转铝靶材及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:提供高纯铝铸锭;对所述高纯铝铸锭进行冷锻造处理,得到第一锻坯;对所述第一锻坯进行车削处理,得到第二锻坯;将所述第二锻坯在50℃~60℃温度下进行去应力退火处理1h~2h;对所述去应力退火后的第二锻坯进行穿孔挤压处理,得到第一铝管坯;其中,穿孔针的温度为350℃~450℃,挤压筒的温度为350℃~450℃,挤压速度为0.5m/s~1.5m/s;将所述第一铝管坯在280℃~320℃温度下进行再结晶退火处理3h~6h,得到旋转铝靶材。本发明的制备方法对原材料高纯铝铸锭的晶粒度要求较低,可以采用晶粒度较大的高纯铝铸锭制备得到内部无缺陷、组织致密、均匀性好、平均晶粒度<100μm的旋转铝靶材,能够满足客户法使用需求,适于工业化批量生产。

    一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法

    公开(公告)号:CN111719059B

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202010527438.0

    申请日:2020-06-11

    Abstract: 本发明为一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法。一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法,包括:S10配制中间合金:所述的中间合金为铝铜中间合金和铝硅中间合金;S20:将所述的中间合金与99.9995%纯度的高纯铝在真空熔炼炉中熔融,完全熔融后,得合金液;所述的合金液中硅含量为0.9‑1.1wt%,铜含量为0.45‑0.55wt%;S30:将所述的合金液采用高纯氩气进行在线精炼;S40:将经过在线精炼的合金液进行双极过滤;S50:将经过双级过滤的合金液进行φ120‑164mm棒材坯料铸造,得所述的溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料。本发明所述的一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法,制备的溅射用高纯AL‑1wt%Si‑0.5wt%Cu靶材坯料中微量杂质元素含量极低,溅射成膜性能好,且成分均匀。

    一种液晶面板用铝残靶的回收方法

    公开(公告)号:CN113174487A

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202110392864.2

    申请日:2021-04-13

    Abstract: 本发明为一种液晶面板用铝残靶的回收方法。一种液晶面板用铝残靶的回收方法,包括以下步骤:(1)从铝残靶中取小样,去除小样表面的焊剂粘附层;(2)测定步骤(1)处理后小样的焊剂粘附深度;(3)根据所述的小样测定得到的焊剂粘附深度,对铝残靶进行四面打磨;(4)对步骤(3)处理后的铝残靶进行碱洗;(5)对步骤(4)处理后的铝残靶进行清洗;(6)烘干。本发明采用辉光放电质朴仪激发的方式测定表面铟含量厚度,则可对应制定打磨工艺,确保残留焊剂的完全去除;打磨结合碱洗的处理工艺效率高,清洗效果更佳,可有效保障回配原料的纯净度。

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