公开(公告)号：CN116904941A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310836114.9

申请日：2023-07-10

Applicant: 新疆众和股份有限公司

Inventor： 沈英华 ,  白毅 ,  马小红 ,  郭永强 ,  徐亚军 ,  丁继鸿 ,  邵新锋 ,  李芳

IPC: C23C14/34 ,  C22F1/04 ,  B23P15/00

Abstract: 本发明提供了一种旋转铝靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：提供高纯铝铸锭；对所述高纯铝铸锭进行冷锻造处理，得到第一锻坯；对所述第一锻坯进行车削处理，得到第二锻坯；将所述第二锻坯在50℃～60℃温度下进行去应力退火处理1h～2h；对所述去应力退火后的第二锻坯进行穿孔挤压处理，得到第一铝管坯；其中，穿孔针的温度为350℃～450℃，挤压筒的温度为350℃～450℃，挤压速度为0.5m/s～1.5m/s；将所述第一铝管坯在280℃～320℃温度下进行再结晶退火处理3h～6h，得到旋转铝靶材。本发明的制备方法对原材料高纯铝铸锭的晶粒度要求较低，可以采用晶粒度较大的高纯铝铸锭制备得到内部无缺陷、组织致密、均匀性好、平均晶粒度＜100μm的旋转铝靶材，能够满足客户法使用需求，适于工业化批量生产。