公开(公告)号：CN111719059B

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202010527438.0

申请日：2020-06-11

Applicant: 新疆众和股份有限公司

Inventor： 马小红 ,  徐亚军 ,  元鹏超 ,  白毅 ,  张博 ,  刘江滨 ,  马青

IPC: C22C1/03 ,  C22C1/06 ,  C22C21/02 ,  C23C14/34 ,  B22D11/00 ,  B22D11/119

Abstract: 本发明为一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法。一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法，包括：S10配制中间合金：所述的中间合金为铝铜中间合金和铝硅中间合金；S20：将所述的中间合金与99.9995％纯度的高纯铝在真空熔炼炉中熔融，完全熔融后，得合金液；所述的合金液中硅含量为0.9‑1.1wt％，铜含量为0.45‑0.55wt％；S30：将所述的合金液采用高纯氩气进行在线精炼；S40：将经过在线精炼的合金液进行双极过滤；S50：将经过双级过滤的合金液进行φ120‑164mm棒材坯料铸造，得所述的溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料。本发明所述的一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法，制备的溅射用高纯AL‑1wt％Si‑0.5wt％Cu靶材坯料中微量杂质元素含量极低，溅射成膜性能好，且成分均匀。

公开(公告)号：CN111719059A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010527438.0

申请日：2020-06-11

Applicant: 新疆众和股份有限公司

Inventor： 马小红 ,  徐亚军 ,  元鹏超 ,  白毅 ,  张博 ,  刘江滨 ,  马青

IPC: C22C1/03 ,  C22C1/06 ,  C22C21/02 ,  C23C14/34 ,  B22D11/00 ,  B22D11/119

Abstract: 本发明为一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法。一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法，包括：S10配制中间合金：所述的中间合金为铝铜中间合金和铝硅中间合金；S20：将所述的中间合金与99.9995％纯度的高纯铝在真空熔炼炉中熔融，完全熔融后，得合金液；所述的合金液中硅含量为0.9-1.1wt％，铜含量为0.45-0.55wt％；S30：将所述的合金液采用高纯氩气进行在线精炼；S40：将经过在线精炼的合金液进行双极过滤；S50：将经过双级过滤的合金液进行φ120-164mm棒材坯料铸造，得所述的溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料。本发明所述的一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法，制备的溅射用高纯AL-1wt％Si-0.5wt％Cu靶材坯料中微量杂质元素含量极低，溅射成膜性能好，且成分均匀。