一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法

    公开(公告)号:CN110592406A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910956260.9

    申请日:2019-10-10

    Abstract: 本发明为一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法。一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法,包括:S10:将99.999-99.9995%纯度的高纯铝与99.999%以上纯度的高纯铜进行真空熔融,得中间合金液:S20:将99.9995wt%以上纯度的高纯铝锭与所述的中间合金液进行熔炼,熔炼温度在720-800℃,完全熔融后,控制合金液温度到达730±5℃,静置保温15min;S30:进行炉内精炼;S40:进行在线精炼;S50:进行双极过滤;S60:进行φ120-164mm棒材坯料铸造,得所述的溅射用高纯铝铜合金靶材坯料。本发明所述的一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法,该方法该使用超高纯铝原料及高纯铝铜中间合金,通过半连续铸造,制备出杂质元素含量低、组织均匀的高纯铝铜合金棒材。

    一种6061铝合金金相试样的制备方法

    公开(公告)号:CN111024697A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911308913.9

    申请日:2019-12-18

    Abstract: 本发明为一种6061铝合金金相试样的制备方法。一种6061铝合金金相试样的制备方法,包括:S10:对6061铝合金板锭进行取样后,先粗磨,后将样品按如下顺序进行细磨:600#砂纸→1000#砂纸→1500#砂纸→2000#砂纸;S20:将细磨后的样品进行抛光处理,电源正极连接细磨后的样品,负极连接阴极材料,电压设定为15-20V,抛光2-3min;S30:判断抛光是否成功;S40阳极覆膜:将成功抛光后的样品放入阳极覆膜液中进行阳极覆膜,电压为15-20V,电流逐渐稳定于特定值1-2A,覆膜3-5min,再取出用蒸馏水冲洗后,吹干,得6061铝合金金相试样。本发明所述的一种6061铝合金金相试样的制备方法,能够高效的腐蚀出6061铝合金金相组织,且组织显示清晰,晶粒完整,为铝合金进行组织观察及晶粒度统计提供极大便利。

    旋转铝靶材及其制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116904941A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310836114.9

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 本发明提供了一种旋转铝靶材及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:提供高纯铝铸锭;对所述高纯铝铸锭进行冷锻造处理,得到第一锻坯;对所述第一锻坯进行车削处理,得到第二锻坯;将所述第二锻坯在50℃~60℃温度下进行去应力退火处理1h~2h;对所述去应力退火后的第二锻坯进行穿孔挤压处理,得到第一铝管坯;其中,穿孔针的温度为350℃~450℃,挤压筒的温度为350℃~450℃,挤压速度为0.5m/s~1.5m/s;将所述第一铝管坯在280℃~320℃温度下进行再结晶退火处理3h~6h,得到旋转铝靶材。本发明的制备方法对原材料高纯铝铸锭的晶粒度要求较低,可以采用晶粒度较大的高纯铝铸锭制备得到内部无缺陷、组织致密、均匀性好、平均晶粒度<100μm的旋转铝靶材,能够满足客户法使用需求,适于工业化批量生产。

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