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公开(公告)号：CN111511960B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN201880080478.6
申请日：2018-12-13
Applicant: 恩特格里斯公司(US)
IPC: C23C16/448 , C23C16/44 , C23C14/22 , C23C14/48
Abstract: 本发明是针对一种汽化器或安瓿组合件，所述组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。
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公开(公告)号：CN111846965A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010345286.2
申请日：2020-04-27
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本申请涉及一种汽化容器和方法。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器，其包括所述托盘中的一或多个。
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公开(公告)号：CN111511960A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201880080478.6
申请日：2018-12-13
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/44 , C23C14/22 , C23C14/48
Abstract: 本发明是针对一种汽化器或安瓿组合件，所述组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108350574B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201680063196.6
申请日：2016-10-06
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C01G41/00 , C23C16/06 , C23C16/455 , H01L21/285
Abstract: 本发明描述一种固体递送前驱物，其可用于挥发以产生用于气相沉积工艺的前驱物蒸汽。所述固体递送前驱物包括例如呈例如丸粒、薄片、小片、珠粒、圆盘或单块的形式的压实颗粒前驱物的固体本体。当利用于例如化学气相沉积、脉冲化学气相沉积或原子层沉积的气相沉积工艺中时，相对于颗粒前驱物，呈压实颗粒前驱物的固体本体形式的所述固体递送前驱物在经受挥发条件时提供基本上增加的前驱物蒸汽通量。因此，气相沉积工艺操作可在较短时间周期内实施，借此实现例如半导体产品、平板显示器、太阳能板、LED、光学涂层等产物的增大的制造速率。
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公开(公告)号：CN108350574A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680063196.6
申请日：2016-10-06
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C01G41/00 , C23C16/06 , C23C16/455 , H01L21/285
Abstract: 本发明描述一种固体递送前驱物，其可用于挥发以产生用于气相沉积工艺的前驱物蒸汽。所述固体递送前驱物包括例如呈例如丸粒、薄片、小片、珠粒、圆盘或单块的形式的压实颗粒前驱物的固体本体。当利用于例如化学气相沉积、脉冲化学气相沉积或原子层沉积的气相沉积工艺中时，相对于颗粒前驱物，呈压实颗粒前驱物的固体本体形式的所述固体递送前驱物在经受挥发条件时提供基本上增加的前驱物蒸汽通量。因此，气相沉积工艺操作可在较短时间周期内实施，借此实现例如半导体产品、平板显示器、太阳能板、LED、光学涂层等产物的增大的制造速率。
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公开(公告)号：CN209508405U
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201822048777.1
申请日：2018-12-06
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/448
Abstract: 本实用新型涉及一种化学品递送系统。所述化学品递送系统包含散装容器、运行/再填充腔室、第一导管及第二导管。所述散装容器存储前体。所述运行/再填充腔室包含多个间隔开的管，所述多个间隔开的管具有多个表面，所述多个表面用于以蒸汽形式接收所述前体并以固体形式存储所述前体。所述第一导管将所述散装容器连接到所述运行/再填充腔室，用于以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到所述运行/再填充腔室。所述第二导管将所述运行/再填充腔室连接到沉积腔室，用于以蒸汽形式将所述前体从所述运行/再填充腔室输送到所述沉积腔室。
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公开(公告)号：CN213140580U
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202020666237.4
申请日：2020-04-27
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本实用新型涉及一种汽化容器。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器，其包括所述托盘中的一或多个。
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公开(公告)号：CN209989463U
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201822105599.1
申请日：2018-12-14
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C14/48
Abstract: 本实用新型是针对一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件。所述汽化器组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。
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