公开(公告)号：CN107429388B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201680018519.X

申请日：2016-02-28

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： T·H·鲍姆 ,  R·L·赖特二世 ,  S·L·巴特尔 ,  J·M·克利里

IPC: C23C16/16 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明描述一种用于形成含钨膜的固体来源材料。所述固体来源材料为六羰基钨，其中钼的含量小于1000ppm。此固体来源材料可通过包含以下步骤的工艺形成：提供粒度小于5mm的粒状六羰基钨原料，其中小于15％的粒子具有大于1.4mm的粒度，且其中钼的含量小于1000ppm；以及在低于100℃的温度下烧结所述粒状六羰基钨原料以制成呈经烧结固体状的固体来源材料。

公开(公告)号：CN111511960B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN201880080478.6

申请日：2018-12-13

Applicant: 恩特格里斯公司(US)

Inventor： D·J·埃尔德里奇 ,  J·托马斯 ,  J·M·克利里 ,  S·L·巴特尔 ,  J·格雷格 ,  T·查特顿 ,  B·C·亨德里克斯 ,  T·H·鲍姆

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/44 ,  C23C14/22 ,  C23C14/48

Abstract: 本发明是针对一种汽化器或安瓿组合件，所述组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。

公开(公告)号：CN107429388A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680018519.X

申请日：2016-02-28

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： T·H·鲍姆 ,  R·L·赖特二世 ,  S·L·巴特尔 ,  J·M·克利里

IPC: C23C16/16 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明描述一种用于形成含钨膜的固体来源材料。所述固体来源材料为六羰基钨，其中钼的含量小于1000ppm。此固体来源材料可通过包含以下步骤的工艺形成：提供粒度小于5mm的粒状六羰基钨原料，其中小于15％的粒子具有大于1.4mm的粒度，且其中钼的含量小于1000ppm；以及在低于100℃的温度下烧结所述粒状六羰基钨原料以制成呈经烧结固体状的固体来源材料。

公开(公告)号：CN111511960A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201880080478.6

申请日：2018-12-13

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： D·J·埃尔德里奇 ,  J·托马斯 ,  J·M·克利里 ,  S·L·巴特尔 ,  J·格雷格 ,  T·查特顿 ,  B·C·亨德里克斯 ,  T·H·鲍姆

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/44 ,  C23C14/22 ,  C23C14/48

Abstract: 本发明是针对一种汽化器或安瓿组合件，所述组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。

公开(公告)号：CN209989463U

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201822105599.1

申请日：2018-12-14

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： D·J·埃尔德里奇 ,  J·M·克利里 ,  J·托马斯 ,  S·L·巴特尔 ,  T·查特顿 ,  J·格雷格 ,  B·C·亨德里克斯 ,  T·鲍姆

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C14/48

Abstract: 本实用新型是针对一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件。所述汽化器组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。