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公开(公告)号：CN115948722A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211234536.0
申请日：2022-10-10
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/54
Abstract: 本申请涉及一种用于固体化学汽化室的可压缩托盘。用于在原子层沉积(ALD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺或这两者中使用的固体前体材料的递送系统的安瓿的所述托盘。所述托盘经配置为当被压缩时能够具有减少的轮廓大小以增强所述托盘可插入到所述安瓿中的简易性，且所述托盘经配置以扩展大小以与所述安瓿的内壁表面形成改进的接触，以提供从所述内壁到所述托盘且最终到安置于所述托盘上的所述固体前体材料的改进的热传递。
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公开(公告)号：CN111846965A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010345286.2
申请日：2020-04-27
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本申请涉及一种汽化容器和方法。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器，其包括所述托盘中的一或多个。
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公开(公告)号：CN116024548A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211326223.8
申请日：2022-10-27
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本申请案涉及高蒸汽压输送系统。一种系统包含汽化器容器。所述汽化器容器包含流体连接到所述汽化器容器的出口。加热器经配置以加热所述汽化器容器。阀经配置以调节所述出口处汽化材料的压力。响应于所述出口处的所述压力在设置压力范围外，所述加热器经配置以增加或减少到所述汽化器容器的热。
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公开(公告)号：CN115961266A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211236441.2
申请日：2022-10-10
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本申请涉及一种用于安瓿的模块化托盘和一种将模块化托盘插入安瓿中的方法。用于固体前体材料的递送系统的安瓿的所述模块化托盘用于原子层沉积ALD工艺、化学气相沉积CVD工艺或这两者。所述模块化托盘经配置有单独组件，所述组件可增强所述模块化托盘可插入到所述安瓿中的简易性，且所述托盘经配置以使得与所述安瓿的内壁表面的接触得以改善，从而改善从所述内壁到所述模块化托盘且最终到安置在所述模块化托盘上的所述固体前体材料的热传递。
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公开(公告)号：CN114761614A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202080083014.8
申请日：2020-10-08
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明公开一种固体输送安瓿，其包含界定内部空间的安瓿主体。所述内部空间容纳一或多个固体支撑件，且每一固体支撑件经配置以支撑一定数量的升华固体。所述固体输送安瓿还包含蒸汽出口端口、一或多个液位传感器端口及一或多个液位传感器。所述一或多个液位传感器中的每一者延伸穿过所述一或多个液位传感器端口而到所述内部空间中。所述一或多个液位传感器中的每一者测量每一固体支撑件中的所述升华固体的所述数量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN219772252U
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202222662320.6
申请日：2022-10-10
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本申请涉及一种用于安瓿的模块化托盘。用于固体前体材料的递送系统的安瓿的所述模块化托盘用于原子层沉积ALD工艺、化学气相沉积CVD工艺或这两者。所述模块化托盘经配置有单独组件，所述组件可增强所述模块化托盘可插入到所述安瓿中的简易性，且所述托盘经配置以使得与所述安瓿的内壁表面的接触得以改善，从而改善从所述内壁到所述模块化托盘且最终到安置在所述模块化托盘上的所述固体前体材料的热传递。
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公开(公告)号：CN219315067U
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202222851329.1
申请日：2022-10-27
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本申请案涉及高蒸汽压输送系统。一种系统包含汽化器容器。所述汽化器容器包含流体连接到所述汽化器容器的出口。加热器经配置以加热所述汽化器容器。阀经配置以调节所述出口处汽化材料的压力。响应于所述出口处的所述压力在设置压力范围外，所述加热器经配置以增加或减少到所述汽化器容器的热。
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公开(公告)号：CN209210918U
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201821707269.3
申请日：2018-10-22
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448
Abstract: 本实用新型是针对一种蒸汽递送容器组合件。本实用新型是针对一种具有汽化器容器主体与定位在其中的至少一个支撑托盘之间的改善的热转移的汽化器或安瓿组合件。具体地说，提供了安置于容器主体与支撑托盘之间的热转移增强部件。在热转移增强部件或组合件的一个实例中，包含有完全或部分地围绕所述支撑托盘的导热网或衬里，所述导热网或衬里在所述支撑托盘与所述容器主体的内径或壁之间是楔形的。在相关实施例中，热转移增强部件包含可扩张支撑托盘侧壁以增加所述支撑托盘与所述容器主体内壁之间的物理接触。
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公开(公告)号：CN220317946U
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202222661932.3
申请日：2022-10-10
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 一种用于在原子层沉积(ALD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺或这两者中使用的固体前体材料的递送系统的安瓿的托盘。所述托盘经配置为当被压缩时能够具有减少的轮廓大小以增强所述托盘可插入到所述安瓿中的简易性，且所述托盘经配置以扩展大小以与所述安瓿的内壁表面形成改进的接触，以提供从所述内壁到所述托盘且最终到安置于所述托盘上的所述固体前体材料的改进的热传递。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN213140580U
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202020666237.4
申请日：2020-04-27
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本实用新型涉及一种汽化容器。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器，其包括所述托盘中的一或多个。
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