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公开(公告)号:CN111846965A
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN202010345286.2
申请日:2020-04-27
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本申请涉及一种汽化容器和方法。一种用于所述汽化容器的托盘,其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法,其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器,其包括所述托盘中的一或多个。
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公开(公告)号:CN213140580U
公开(公告)日:2021-05-07
申请号:CN202020666237.4
申请日:2020-04-27
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本实用新型涉及一种汽化容器。一种用于所述汽化容器的托盘,其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法,其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器,其包括所述托盘中的一或多个。
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