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公开(公告)号：CN108367269A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680073124.X
申请日：2016-11-04
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： L·H·杜波依斯 , J·D·卡拉瑟斯 , M·A·彼特鲁斯卡 , E·A·斯特姆 , S·M·威尔逊 , S·M·卢尔寇特 , B·C·亨德里克斯 , J·D·斯威尼 , M·J·沃德珍斯奇 , O·比尔 , 唐瀛 , J·R·德斯普雷斯 , M·T·马洛 , C·斯坎内尔 , D·埃尔策 , K·默西
CPC classification number: B01J20/20 , B01J20/103 , B01J20/16 , B01J20/226 , F17C1/00
Abstract: 本发明描述不同类型及形式的吸附剂，如有用地用于气体供应包装中，所述气体供应包装包含盛放此吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述气体供应包装排放所述吸附气体的气体施配组合件。同样描述对应气体供应包装，及处理所述吸附剂，及制造所述气体供应包装的各种方法。
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公开(公告)号：CN107771262A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201680036108.3
申请日：2016-05-11
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： D·埃尔策 , 唐瀛 , B·L·钱伯斯 , J·D·斯威尼 , S·M·威尔逊 , S·乌兰伊齐 , S·E·毕夏普 , J·V·麦克马纳斯 , W·K·奥兰德 , E·E·琼斯 , O·比尔 , J·R·德普雷斯 , C·斯坎内尔
IPC: F17C13/04
CPC classification number: F17C13/04 , F17C2205/0308 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391
Abstract: 本发明揭示用于流体供应封装中的流体施配组合件，其中这些流体施配组合件耦合到流体供应器皿以用于施配例如半导体制造流体等流体。在具体实施方案中，所述流体施配组合件经配置以防止将过多力施加到所述流体施配组合件中的阀元件，及/或避免可能导致有毒气体或者在其他方面危险的气体或珍贵气体泄漏的器皿意外或偶然打开状态。本发明还描述用于辅助将例如上述类型的流体供应封装的耦合元件等耦合元件耦合的对准装置，使得因不对准而对这些耦合件的损坏得以避免。
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公开(公告)号：CN108367269B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201680073124.X
申请日：2016-11-04
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： L·H·杜波依斯 , J·D·卡拉瑟斯 , M·A·彼特鲁斯卡 , E·A·斯特姆 , S·M·威尔逊 , S·M·卢尔寇特 , B·C·亨德里克斯 , J·D·斯威尼 , M·J·沃德珍斯奇 , O·比尔 , 唐瀛 , J·R·德斯普雷斯 , M·T·马洛 , C·斯坎内尔 , D·埃尔策 , K·默西
Abstract: 本发明描述不同类型及形式的吸附剂，如有用地用于气体供应包装中，所述气体供应包装包含盛放此吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述气体供应包装排放所述吸附气体的气体施配组合件。同样描述对应气体供应包装，及处理所述吸附剂，及制造所述气体供应包装的各种方法。
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公开(公告)号：CN108027106A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680050905.7
申请日：2016-07-08
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： G·M·汤姆 , W·K·奥兰德 , J·A·迪茨 , M·J·沃德金斯楷 , E·A·斯特姆 , S·K·迪马西奥 , 王录平 , J·V·麦克马纳斯 , S·M·露尔寇特 , J·I·阿尔诺 , P·J·马甘斯基 , J·D·斯威尼 , S·M·威尔逊 , S·E·毕夏普 , G·尼尔森 , J·D·卡拉瑟斯 , S·N·叶德弗 , 唐瀛 , J·德普雷斯 , B·钱伯斯 , R·雷 , D·埃尔策
CPC classification number: F16K17/003 , F16K17/04 , F16K31/002 , F16K31/0675 , F16K37/0025 , F17C13/04 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , F17C2270/0518 , H02K49/106
Abstract: 本发明描述了不同类型的流体供应组件，所述流体供应组件用于输送流体到流体利用设施，例如半导体制造设施、太阳能电池板制造设施及平板显示器制造设施。所述流体供应组件包含流体供应容器及多种配置的阀头，可用于构成特性为压力调节式及/或吸附剂式的流体供应组件。
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