公开(公告)号：CN108367269A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680073124.X

申请日：2016-11-04

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： L·H·杜波依斯 ,  J·D·卡拉瑟斯 ,  M·A·彼特鲁斯卡 ,  E·A·斯特姆 ,  S·M·威尔逊 ,  S·M·卢尔寇特 ,  B·C·亨德里克斯 ,  J·D·斯威尼 ,  M·J·沃德珍斯奇 ,  O·比尔 ,  唐瀛 ,  J·R·德斯普雷斯 ,  M·T·马洛 ,  C·斯坎内尔 ,  D·埃尔策 ,  K·默西

IPC: B01J20/20 ,  B01J20/16 ,  B01J20/22 ,  F17C1/00 ,  B01J20/10

CPC classification number: B01J20/20 ,  B01J20/103 ,  B01J20/16 ,  B01J20/226 ,  F17C1/00

Abstract: 本发明描述不同类型及形式的吸附剂，如有用地用于气体供应包装中，所述气体供应包装包含盛放此吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述气体供应包装排放所述吸附气体的气体施配组合件。同样描述对应气体供应包装，及处理所述吸附剂，及制造所述气体供应包装的各种方法。

公开(公告)号：CN114245930A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202080057911.1

申请日：2020-06-17

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： 唐瀛 ,  S·N·叶达弗 ,  J·R·德斯普雷斯 ,  J·R·斯威尼 ,  O·比尔

IPC: H01J37/317

Abstract: 本发明描述一种用于离子植入的系统及方法，其包含：气体或包含至少一种可离子化气体的气体混合物，其用来产生离子物种；及电弧室，其包含两种或更多种不同电弧室材料。使用所述系统，在具有衬垫组合的所述电弧室中产生离子物种，且一或多个所要离子物种显示所述经产生的离子物种当中的更高束电流，这通过使用所述不同材料来促进。继而可实现将所述所要离子物种改进地植入到衬底中。此外，所述系统可在系统操作期间最小化金属沉积物的形成，由此延长源寿命且促成改进的系统性能。

公开(公告)号：CN113586937A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110485000.5

申请日：2021-04-30

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： E·E·琼斯 ,  S·A·乌茨 ,  J·R·德斯普雷斯

IPC: F17C1/00 ,  F17C13/00 ,  F17C13/04 ,  F17C13/02

Abstract: 可使用经选择以具有约为从包含调节器组合件的流体存储及输送容器分配的选定流体的分子量的分子量的测试流体来测试调节器组合件。所述测试流体可为单种气体或混合物。所述测试流体可具有在从所述流体存储及输送容器分配的所述选定流体的所述分子量的80％到110％之间的分子量。当依此方式测试的调节器组合件在所述测试气体流启动时展示少于两个尖峰时，其可通过评估。可将这些调节器组合件安装到流体存储及输送容器中，尤其用于加压流体的存储及输送。

公开(公告)号：CN114245930B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202080057911.1

申请日：2020-06-17

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： 唐瀛 ,  S·N·叶达弗 ,  J·R·德斯普雷斯 ,  J·R·斯威尼 ,  O·比尔

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/16 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明描述一种用于离子植入的系统及方法，其包含：气体或包含至少一种可离子化气体的气体混合物，其用来产生离子物种；及电弧室，其包含两种或更多种不同电弧室材料。使用所述系统，在具有衬垫组合的所述电弧室中产生离子物种，且一或多个所要离子物种显示所述经产生的离子物种当中的更高束电流，这通过使用所述不同材料来促进。继而可实现将所述所要离子物种改进地植入到衬底中。此外，所述系统可在系统操作期间最小化金属沉积物的形成，由此延长源寿命且促成改进的系统性能。

公开(公告)号：CN117957048A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202280062161.6

申请日：2022-09-15

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： E·A·斯特姆 ,  J·R·德斯普雷斯

IPC: B01D53/22 ,  F17C11/00

Abstract: 描述了处理含有至少两种气体的气体混合物的方法、系统及设备，其通过使所述气体混合物与薄膜接触来实现，所述薄膜允许所述气体中的一种优先流动通过薄膜，以从所述混合物中分离出一种组成气体。

公开(公告)号：CN113586937B

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202110485000.5

申请日：2021-04-30

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： E·E·琼斯 ,  S·A·乌茨 ,  J·R·德斯普雷斯

IPC: F17C1/00 ,  F17C13/00 ,  F17C13/04 ,  F17C13/02

Abstract: 可使用经选择以具有约为从包含调节器组合件的流体存储及输送容器分配的选定流体的分子量的分子量的测试流体来测试调节器组合件。所述测试流体可为单种气体或混合物。所述测试流体可具有在从所述流体存储及输送容器分配的所述选定流体的所述分子量的80％到110％之间的分子量。当依此方式测试的调节器组合件在所述测试气体流启动时展示少于两个尖峰时，其可通过评估。可将这些调节器组合件安装到流体存储及输送容器中，尤其用于加压流体的存储及输送。

公开(公告)号：CN108367269B

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201680073124.X

申请日：2016-11-04

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： L·H·杜波依斯 ,  J·D·卡拉瑟斯 ,  M·A·彼特鲁斯卡 ,  E·A·斯特姆 ,  S·M·威尔逊 ,  S·M·卢尔寇特 ,  B·C·亨德里克斯 ,  J·D·斯威尼 ,  M·J·沃德珍斯奇 ,  O·比尔 ,  唐瀛 ,  J·R·德斯普雷斯 ,  M·T·马洛 ,  C·斯坎内尔 ,  D·埃尔策 ,  K·默西

IPC: B01J20/20 ,  B01J20/16 ,  B01J20/22 ,  F17C1/00 ,  B01J20/10

Abstract: 本发明描述不同类型及形式的吸附剂，如有用地用于气体供应包装中，所述气体供应包装包含盛放此吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述气体供应包装排放所述吸附气体的气体施配组合件。同样描述对应气体供应包装，及处理所述吸附剂，及制造所述气体供应包装的各种方法。

公开(公告)号：CN118265869A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202280072198.7

申请日：2022-09-26

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： O·比尔 ,  J·R·德斯普雷斯 ,  E·A·斯特姆

IPC: F17C11/00 ,  B01J20/20 ,  B01J20/28

Abstract: 描述了储存和分配系统及相关方法，其用于储存和选择性地分配来自储存容器的高纯度试剂气体，其中所述试剂气体与热解碳吸附粒子保持吸附关系。

公开(公告)号：CN116391090A

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202180072113.0

申请日：2021-10-20

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： J·R·德斯普雷斯 ,  J·斯威尼 ,  E·A·斯特姆

IPC: F17C11/00

Abstract: 描述储存和分配系统和相关方法，其用于储存和从容器选择性分配试剂气体锗烷，在所述容器中所述试剂气体保持与储存容器的内部的固体吸附介质呈吸附关系，且其中所述方法和分配系统提供所述试剂气体从所述储存容器的分配，其中在所分配试剂气体中含有含量减少的大气杂质。

公开(公告)号：CN115046126A

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202210224403.9

申请日：2022-03-09

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： E·E·琼斯 ,  J·R·德斯普雷斯 ,  S·A·乌茨

IPC: F17C1/00 ,  F17C13/00 ,  F17C13/04

Abstract: 一种气体储存和分配容器包含储存器皿、第一气体压力调节器和第二气体压力调节器。所述储存器皿配置成容纳加压气体。所述气体储存和分配容器具有用于排放所述加压气体的排放流动路径。所述第一气体压力调节器设置在所述储存器皿内，并且所述第二气体压力调节器在所述储存器皿外部。所述排放流动路径延伸穿过所述第一气体压力调节器和所述第二气体压力调节器。一种从气体储存和分配容器排放气体的方法包含第一气体压力调节器将所述加压气体的压力降低至第一压力并且第二气体压力调节器将所述加压气体的所述压力降低至第二压力。