公开(公告)号：CN108027106A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680050905.7

申请日：2016-07-08

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： G·M·汤姆 ,  W·K·奥兰德 ,  J·A·迪茨 ,  M·J·沃德金斯楷 ,  E·A·斯特姆 ,  S·K·迪马西奥 ,  王录平 ,  J·V·麦克马纳斯 ,  S·M·露尔寇特 ,  J·I·阿尔诺 ,  P·J·马甘斯基 ,  J·D·斯威尼 ,  S·M·威尔逊 ,  S·E·毕夏普 ,  G·尼尔森 ,  J·D·卡拉瑟斯 ,  S·N·叶德弗 ,  唐瀛 ,  J·德普雷斯 ,  B·钱伯斯 ,  R·雷 ,  D·埃尔策

IPC: F17C7/00 ,  F16K17/04 ,  F16K31/06 ,  F17C13/04

CPC classification number: F16K17/003 ,  F16K17/04 ,  F16K31/002 ,  F16K31/0675 ,  F16K37/0025 ,  F17C13/04 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2270/0518 ,  H02K49/106

Abstract: 本发明描述了不同类型的流体供应组件，所述流体供应组件用于输送流体到流体利用设施，例如半导体制造设施、太阳能电池板制造设施及平板显示器制造设施。所述流体供应组件包含流体供应容器及多种配置的阀头，可用于构成特性为压力调节式及/或吸附剂式的流体供应组件。

公开(公告)号：CN104989942B

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201510282437.3

申请日：2001-04-09

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： 王录平 ,  格伦·M·汤姆

IPC: F17C1/00 ,  F17C13/04 ,  F17C13/02 ,  F17C7/00

CPC classification number: F17C13/04 ,  F17C1/00 ,  F17C7/00 ,  F17C11/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/025 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0114 ,  F17C2201/032 ,  F17C2201/056 ,  F17C2201/058 ,  F17C2203/0617 ,  F17C2203/0643 ,  F17C2203/0648 ,  F17C2205/0305 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2205/035 ,  F17C2205/0382 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2209/221 ,  F17C2221/03 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/035 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/025 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321

Abstract: 本发明涉及一种流体存储和分配系统，包括：容器，所述容器限定用于容纳压缩气体的内部空间；阀头，所述阀头与所述容器密封地啮合，所述阀头包括能够打开或关闭的阀，以从所述容器分配气体，第一压力调节器和第二压力调节器，所述第一压力调节器和所述第二压力调节器在所述容器的所述内部空间中彼此串联连接，以使气体从所述容器流动到所述阀头以进行分配。