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公开(公告)号：CN104115051B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380008978.6
申请日：2013-03-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/082 , H01L31/04
CPC classification number: G02B26/122 , B23K26/0821 , B23K26/0846 , G02B26/126 , H01L31/04
Abstract: 光扫描装置（13）具备在使入射的激光绕投光中心（C）发生角位移的同时发射入射的激光的投光单元（30）、和具有将来自于投光单元（30）的激光进行反射而落射的抛物面（32a）的反射单元（32）。投光中心（C）配置在抛物面（32a）的焦点（F）上。投光单元（30）以激光的旋转角越远离作为在抛物面（32a）的顶点（V）上反射时的旋转角的基准角而激光的角速度越小的形式发射激光。激光加工装置（10）具备该光扫描装置（13），由反射单元（32）使激光落射至工件（90）上，从而在该工件（90）上形成加工线（93）。
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公开(公告)号：CN103648934B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180072306.2
申请日：2011-08-12
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B65G49/06 , B65G15/58 , H01L21/677
CPC classification number: B65G15/58 , B65G49/064 , B65G49/065 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , H01L21/67092 , H01L21/67706
Abstract: 本发明提供专用面积小且板材不容易破损的板材的搬运装置。根据本发明的板材的搬运装置（100）具备具有搬运部（20）和加压部（40）的送出装置（10）。搬运部（20）具有与纵向配置的板材（101）的一侧的表面（103）接触并向搬运方向送出板材（101）的带（21）。加压部（40）形成为对纵向配置的板材（101）的另一侧的表面（102）施加通过流体（104）产生的垂直方向的压力，从而能够对板材（101）朝着带（21）加压的结构。而且，形成为能够通过搬运部（20）的带（21）和加压部（40）的流体（104）夹持并保持纵向配置的板材（101）的同时进行搬运的结构。
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公开(公告)号：CN103906692A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280053236.0
申请日：2012-11-12
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B65G49/06 , B65G47/52 , B65G51/03 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/064 , B65G49/065 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , H01L21/67706 , H01L21/67736
Abstract: 根据本发明的板材的搬运系统（100）形成为如下结构：在板材（101）从第一送出装置（10）传递至第二送出装置（11）之前，第一送出装置（10）在保持由搬运部（20）和加压部（40）的流体（104）夹持板材（101）的同时进行搬运，并且避免使第二送出装置（11）的搬运部（20）与板材（101）接触；在板材（101）从第一送出装置（10）传递至第二送出装置（11）之后，第二送出装置（11）在保持由搬运部（20）和加压部（40）的流体（104）夹持板材（101）的同时进行搬运，并且避免使第一送出装置（10）的搬运部（20）与板材（101）接触。
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公开(公告)号：CN104080571B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380008161.9
申请日：2013-03-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B23K26/359 , B23K26/073 , B23K26/08 , B23K26/40 , H01L31/0463 , B23K26/364
CPC classification number: B23K26/0892 , B23K26/073 , B23K26/083 , B23K26/0838 , B23K26/0869 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2103/172 , B23K2103/56 , H01L31/0463 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 具备：具有在通过恒速输送装置（3）以规定速度向一方向输送工件（5）的同时使一根激光束（70）向与工件（5）的输送方向交叉的方向从照射开始侧（S）向照射结束侧（E）对工件（5）的薄膜层（6）扫描的光束头（22、23）的光束头单元（20）；向光束头（22、23）照射激光束（70）的激光振荡器（21）；和相对地控制由光束头（22、23）照射的激光束（70）的扫描速度和工件（5）的输送速度而控制以规定速度输送的工件上形成的加工线（11）的控制装置（60）；控制装置（60）形成为切换加工加工线（11）的光束头（22、23）而交替地加工加工线（11）的结构。借助于此，在以规定速度输送工件的同时在该工件的薄膜层上高效率地形成加工线。
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公开(公告)号：CN103946968B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280057588.3
申请日：2012-11-19
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G43/08 , B65G49/06
CPC classification number: B65G47/24 , B23K26/364 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , H01L21/67706 , H01L21/68
Abstract: 具备：保持搬运工件（5）的侧部的保持装置（3）；沿着轨道（6）向工件输送方向（X）搬运保持装置（3）的行驶装置（2）；和在行驶装置（2）的工件输送方向前部及后部支持保持装置（3）的支持机构（31、32）；支持机构（31、32）具有偏心轴（38），偏心轴（38）在前部或后部中的一个相对于设置在行驶装置（2）上的驱动轴的轴线（O1、O2）以规定的偏心量（e）向工件输送方向（X）偏心的位置上，且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向（X）交叉的方向偏心的位置上具备与保持装置（3）接合的轴线（O3）；通过使偏心轴（38）的轴线（O3）以驱动轴（36、37）的轴线（O1、O2）为中心转动以此使保持装置（3）和行驶装置（2）的位置相对移动而修正搬运工件（5）的偏转，从而在搬运的同时修正在搬运工件的搬运中产生的偏转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103109364B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201180045668.2
申请日：2011-03-24
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06
CPC classification number: B24B9/102 , B24B9/107 , B24B41/005 , B24B41/06 , B65G15/00 , B65G49/065 , B65G2249/045 , H01L21/67706
Abstract: 提供板状玻璃的搬运装置（10），其具备运送机构（40），运送机构（40）具有：支持板状玻璃（1）的图案面的反面并向搬运方向运送该板状玻璃（1）的传送带部（11）；和配置在与该传送带部（11）相对的位置上，使规定的水压作用于所述板状玻璃（1）的图案面（2）的图案面支持水引导器（30）；该运送机构（40）形成为利用所述图案面支持水引导器（30）的水压将板状玻璃（1）按压在传送带部（11）上，从而以与该板状玻璃（1）的图案面（2）非接触的状态在与所述传送带部（11）之间夹持该板状玻璃（1）的结构；能够不损伤板状玻璃（1）的图案面而稳定地进行运送。
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公开(公告)号：CN104115051A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201380008978.6
申请日：2013-03-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/082 , H01L31/04
CPC classification number: G02B26/122 , B23K26/0821 , B23K26/0846 , G02B26/126 , H01L31/04
Abstract: 光扫描装置（13）具备在使入射的激光绕投光中心（C）发生角位移的同时发射入射的激光的投光单元（30）、和具有将来自于投光单元（30）的激光进行反射而落射的抛物面（32a）的反射单元（32）。投光中心（C）配置在抛物面（32a）的焦点（F）上。投光单元（30）以激光的旋转角越远离作为在抛物面（32a）的顶点（V）上反射时的旋转角的基准角而激光的角速度越小的形式发射激光。激光加工装置（10）具备该光扫描装置（13），由反射单元（32）使激光落射至工件（90）上，从而在该工件（90）上形成加工线（93）。
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公开(公告)号：CN104080571A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380008161.9
申请日：2013-03-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
CPC classification number: B23K26/0892 , B23K26/073 , B23K26/083 , B23K26/0838 , B23K26/0869 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2103/172 , B23K2103/56 , H01L31/0463 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 具备：具有在通过恒速输送装置（3）以规定速度向一方向输送工件（5）的同时使一根激光束（70）向与工件（5）的输送方向交叉的方向从照射开始侧（S）向照射结束侧（E）对工件（5）的薄膜层（6）扫描的光束头（22、23）的光束头单元（20）；向光束头（22、23）照射激光束（70）的激光振荡器（21）；和相对地控制由光束头（22、23）照射的激光束（70）的扫描速度和工件（5）的输送速度而控制以规定速度输送的工件上形成的加工线（11）的控制装置（60）；控制装置（60）形成为切换加工加工线（11）的光束头（22、23）而交替地加工加工线（11）的结构。借助于此，在以规定速度输送工件的同时在该工件的薄膜层上高效率地形成加工线。
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公开(公告)号：CN103906692B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201280053236.0
申请日：2012-11-12
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B65G49/06 , B65G47/52 , B65G51/03 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/064 , B65G49/065 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , H01L21/67706 , H01L21/67736
Abstract: 根据本发明的板材的搬运系统（100）形成为如下结构：在板材（101）从第一送出装置（10）传递至第二送出装置（11）之前，第一送出装置（10）在保持由搬运部（20）和加压部（40）的流体（104）夹持板材（101）的同时进行搬运，并且避免使第二送出装置（11）的搬运部（20）与板材（101）接触；在板材（101）从第一送出装置（10）传递至第二送出装置（11）之后，第二送出装置（11）在保持由搬运部（20）和加压部（40）的流体（104）夹持板材（101）的同时进行搬运，并且避免使第一送出装置（10）的搬运部（20）与板材（101）接触。
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公开(公告)号：CN103384580B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201280011088.6
申请日：2012-03-08
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12
CPC classification number: B23K26/043 , B23K26/0821 , B23K26/083 , B23K26/57 , G02B26/10 , G02B26/12 , G02B26/125 , G02B2207/117 , H01L31/0463 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的光扫描装置（32）具备：使光以匀速发生角位移的同时进行发射的投光单元（65）；和用于反射从投光单元（65）发射的光，并且引导至规定的扫描线（52）上的任意的被照射点上的光反射单元（66）。光反射单元（66）具有多个反射部（71、72），并且将从投光单元（56）发射的光两次以上反射后引导至任意的被照射点上。各反射部（71、72）由多个反射面（77、78）构成。从投光单元（65）至被照射点的光路长度在扫描线（52）上的所有被照射点上大致一定，且从投光单元（65）发射的光在扫描线（52）上的扫描速度大致一定。
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