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公开(公告)号：CN113711102A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202080026865.9
申请日：2020-03-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 中泽睦裕
IPC: G02B26/10 , B23K26/064
Abstract: 本发明的光反射装置(20)具备反射部件(42)，该反射部件具有平面状的反射面。反射面用以反射入射光。反射部件(42)同时进行公转和自转。反射部件的公转方向与自转方向相同。反射部件(42)的公转角速度等于自转角速度的2倍。
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公开(公告)号：CN104115051B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380008978.6
申请日：2013-03-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/082 , H01L31/04
CPC classification number: G02B26/122 , B23K26/0821 , B23K26/0846 , G02B26/126 , H01L31/04
Abstract: 光扫描装置（13）具备在使入射的激光绕投光中心（C）发生角位移的同时发射入射的激光的投光单元（30）、和具有将来自于投光单元（30）的激光进行反射而落射的抛物面（32a）的反射单元（32）。投光中心（C）配置在抛物面（32a）的焦点（F）上。投光单元（30）以激光的旋转角越远离作为在抛物面（32a）的顶点（V）上反射时的旋转角的基准角而激光的角速度越小的形式发射激光。激光加工装置（10）具备该光扫描装置（13），由反射单元（32）使激光落射至工件（90）上，从而在该工件（90）上形成加工线（93）。
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公开(公告)号：CN103108841A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201180045826.4
申请日：2011-10-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
CPC classification number: B28D1/226 , B65G49/065 , C03B33/027 , C03B33/03
Abstract: 根据本发明的切入分割装置（100）形成为通过切入移动架（21）从切入平台（40）的下游侧向上游方向移动，纵切刀（22）纵切切入平台（40）上的板状玻璃（90）从而在该板状玻璃（90）上形成在纵方向上延伸的切入线（91、92），其后，切入移动架（21）朝着下游方向返回时，通过切入保持部（24）保持板状玻璃（90）从而能够将板状玻璃（90）从切入平台（40）搬运至分割台（70）的结构。
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公开(公告)号：CN113711102B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202080026865.9
申请日：2020-03-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 中泽睦裕
IPC: G02B26/10 , B23K26/064
Abstract: 本发明的光反射装置(20)具备反射部件(42)，该反射部件具有平面状的反射面。反射面用以反射入射光。反射部件(42)同时进行公转和自转。反射部件的公转方向与自转方向相同。反射部件(42)的公转角速度等于自转角速度的2倍。
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公开(公告)号：CN113678048B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202080026955.8
申请日：2020-02-06
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/082
Abstract: 多面镜以旋转轴为中心进行旋转。在多面镜的多个边中的2个以上的边上分别配置有第一反射面以及第二反射面。所述第一反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。所述第二反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。入射到该多面镜的光通过所述第一反射面反射，然后由所述第二反射面反射。在多个所述边之间，第一反射面的相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的方向、以及沿旋转轴的方向的所述第一反射面与所述第二反射面之间的距离中至少有一个不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112352187B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN201980042831.6
申请日：2019-06-19
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/046 , B23K26/082
Abstract: 导光装置包含第一导光部、多面镜、第二导光部及调整部。第一导光部反射并导引从激光产生器照射的激光。多面镜一面使通过第一导光部导引的激光旋转，一面由该反射部(33)进行反射。第二导光部反射由多面镜的反射部(33)反射的激光，且按照每个该反射部(33)导引光以使激光分别照射在工件上。并且，导光装置的特征在于：通过调整部调整入射于多面镜的光的光轴的旋转轴方向上的位置，使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化，进而一面使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化一面照射光。
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公开(公告)号：CN113574440A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080019168.0
申请日：2020-03-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 中泽睦裕
IPC: G02B26/10 , B23K26/082 , G02B26/08
Abstract: 本发明的导光装置包括(13)多个反射单元(20)，这些反射单元(20)反射入射光且以照射在被照射物上的方式导引。所述多个反射单元(20)沿所述入射光的行进方向排列。所述多个反射单元(20)分别包括反射所述入射光的第一导光部件(51)。所述多个反射单元(20)，分别通过所述第一导光部件(51)旋转而在反射状态与通过状态之间进行切换，其中，该反射状态是使所述入射光反射的状态，该通过状态是使所述入射光通过的状态。在所述多个反射单元(20)之间，形成所述反射状态的时刻不同。在所述反射状态下，伴随所述第一导光部件(51)的旋转，所述入射光反射后的反射光产生偏转。所述反射光向被包括在扫描区域内的被照射点导引，该扫描区域供该反射单元(20)扫描所述被照射物。所述多个反射单元(20)的所述扫描区域与所述入射光的行进方向平行地排列配置。
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公开(公告)号：CN112352187A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201980042831.6
申请日：2019-06-19
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/046 , B23K26/082
Abstract: 导光装置包含第一导光部、多面镜、第二导光部及调整部。第一导光部反射并导引从激光产生器照射的激光。多面镜一面使通过第一导光部导引的激光旋转，一面由该反射部(33)进行反射。第二导光部反射由多面镜的反射部(33)反射的激光，且按照每个该反射部(33)导引光以使激光分别照射在工件上。并且，导光装置的特征在于：通过调整部调整入射于多面镜的光的光轴的旋转轴方向上的位置，使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化，进而一面使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化一面照射光。
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公开(公告)号：CN104115051A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201380008978.6
申请日：2013-03-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/082 , H01L31/04
CPC classification number: G02B26/122 , B23K26/0821 , B23K26/0846 , G02B26/126 , H01L31/04
Abstract: 光扫描装置（13）具备在使入射的激光绕投光中心（C）发生角位移的同时发射入射的激光的投光单元（30）、和具有将来自于投光单元（30）的激光进行反射而落射的抛物面（32a）的反射单元（32）。投光中心（C）配置在抛物面（32a）的焦点（F）上。投光单元（30）以激光的旋转角越远离作为在抛物面（32a）的顶点（V）上反射时的旋转角的基准角而激光的角速度越小的形式发射激光。激光加工装置（10）具备该光扫描装置（13），由反射单元（32）使激光落射至工件（90）上，从而在该工件（90）上形成加工线（93）。
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公开(公告)号：CN104080571A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380008161.9
申请日：2013-03-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
CPC classification number: B23K26/0892 , B23K26/073 , B23K26/083 , B23K26/0838 , B23K26/0869 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2103/172 , B23K2103/56 , H01L31/0463 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 具备：具有在通过恒速输送装置（3）以规定速度向一方向输送工件（5）的同时使一根激光束（70）向与工件（5）的输送方向交叉的方向从照射开始侧（S）向照射结束侧（E）对工件（5）的薄膜层（6）扫描的光束头（22、23）的光束头单元（20）；向光束头（22、23）照射激光束（70）的激光振荡器（21）；和相对地控制由光束头（22、23）照射的激光束（70）的扫描速度和工件（5）的输送速度而控制以规定速度输送的工件上形成的加工线（11）的控制装置（60）；控制装置（60）形成为切换加工加工线（11）的光束头（22、23）而交替地加工加工线（11）的结构。借助于此，在以规定速度输送工件的同时在该工件的薄膜层上高效率地形成加工线。
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