公开(公告)号：CN108883961A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780020727.8

申请日：2017-04-06

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 大串修己 ,  薮内忠兴 ,  贝田孝介 ,  田中秀幸

IPC: C03B29/08 ,  B23K26/354

CPC classification number: C03B29/08 ,  B23K26/354

Abstract: 加热装置(90)，一边使被倒角的玻璃基板(1)相对移动一边进行局部加热。该加热装置(90)，具备主加热部(10)及周边加热部(20)。主加热部(10)，将玻璃基板(1)加热至玻璃的软化点近旁的温度。周边加热部(20)，将玻璃基板(1)加热至玻璃的应变点以下的温度。主加热部(10)，被配置在实施倒角的位置的近旁。周边加热部(20)，配置在与玻璃基板(1)的相对移动方向垂直的方向上，且比主加热部(10)远离对玻璃基板(1)实施上述热加工的位置的一侧，邻接于主加热部(10)。

公开(公告)号：CN104115051B

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201380008978.6

申请日：2013-03-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 中泽睦裕 ,  高原一典 ,  大串修己

IPC: G02B26/12 ,  B23K26/082 ,  H01L31/04

CPC classification number: G02B26/122 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/0846 ,  G02B26/126 ,  H01L31/04

Abstract: 光扫描装置（13）具备在使入射的激光绕投光中心（C）发生角位移的同时发射入射的激光的投光单元（30）、和具有将来自于投光单元（30）的激光进行反射而落射的抛物面（32a）的反射单元（32）。投光中心（C）配置在抛物面（32a）的焦点（F）上。投光单元（30）以激光的旋转角越远离作为在抛物面（32a）的顶点（V）上反射时的旋转角的基准角而激光的角速度越小的形式发射激光。激光加工装置（10）具备该光扫描装置（13），由反射单元（32）使激光落射至工件（90）上，从而在该工件（90）上形成加工线（93）。

公开(公告)号：CN113678048A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202080026955.8

申请日：2020-02-06

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 中泽睦裕 ,  大串修己

IPC: G02B26/12 ,  B23K26/082

Abstract: 多面镜以旋转轴为中心进行旋转。在多面镜的多个边中的2个以上的边上分别配置有第一反射面以及第二反射面。所述第一反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。所述第二反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。入射到该多面镜的光通过所述第一反射面反射，然后由所述第二反射面反射。在多个所述边之间，第一反射面的相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的方向、以及沿旋转轴的方向的所述第一反射面与所述第二反射面之间的距离中至少有一个不同。

公开(公告)号：CN103384580B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201280011088.6

申请日：2012-03-08

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 久下守正 ,  田中秀幸 ,  中泽睦裕 ,  高原一典 ,  大串修己

IPC: G02B26/12

CPC classification number: B23K26/043 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/083 ,  B23K26/57 ,  G02B26/10 ,  G02B26/12 ,  G02B26/125 ,  G02B2207/117 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明的光扫描装置（32）具备：使光以匀速发生角位移的同时进行发射的投光单元（65）；和用于反射从投光单元（65）发射的光，并且引导至规定的扫描线（52）上的任意的被照射点上的光反射单元（66）。光反射单元（66）具有多个反射部（71、72），并且将从投光单元（56）发射的光两次以上反射后引导至任意的被照射点上。各反射部（71、72）由多个反射面（77、78）构成。从投光单元（65）至被照射点的光路长度在扫描线（52）上的所有被照射点上大致一定，且从投光单元（65）发射的光在扫描线（52）上的扫描速度大致一定。

公开(公告)号：CN103946968A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201280057588.3

申请日：2012-11-19

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 久下守正 ,  田中秀幸 ,  大串修己 ,  东健太郎 ,  中泽睦裕 ,  高原一典

IPC: H01L21/677 ,  B65G43/08 ,  B65G49/06

CPC classification number: B65G47/24 ,  B23K26/364 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/68

Abstract: 具备：保持搬运工件（5）的侧部的保持装置（3）；沿着轨道（6）向工件输送方向（X）搬运保持装置（3）的行驶装置（2）；和在行驶装置（2）的工件输送方向前部及后部支持保持装置（3）的支持机构（31、32）；支持机构（31、32）具有偏心轴（38），偏心轴（38）在前部或后部中的一个相对于设置在行驶装置（2）上的驱动轴的轴线（O1、O2）以规定的偏心量（e）向工件输送方向（X）偏心的位置上，且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向（X）交叉的方向偏心的位置上具备与保持装置（3）接合的轴线（O3）；通过使偏心轴（38）的轴线（O3）以驱动轴（36、37）的轴线（O1、O2）为中心转动以此使保持装置（3）和行驶装置（2）的位置相对移动而修正搬运工件（5）的偏转，从而在搬运的同时修正在搬运工件的搬运中产生的偏转。

公开(公告)号：CN103384580A

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN201280011088.6

申请日：2012-03-08

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 久下守正 ,  田中秀幸 ,  中泽睦裕 ,  高原一典 ,  大串修己

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/00 ,  B23K26/04 ,  G02B26/10 ,  G02B26/12 ,  H01L31/04

CPC classification number: B23K26/043 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/083 ,  B23K26/57 ,  G02B26/10 ,  G02B26/12 ,  G02B26/125 ,  G02B2207/117 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明的光扫描装置（32）具备：使光以匀速发生角位移的同时进行发射的投光单元（65）；和用于反射从投光单元（65）发射的光，并且引导至规定的扫描线（52）上的任意的被照射点上的光反射单元（66）。光反射单元（66）具有多个反射部（71、72），并且将从投光单元（56）发射的光两次以上反射后引导至任意的被照射点上。各反射部（71、72）由多个反射面（77、78）构成。从投光单元（65）至被照射点的光路长度在扫描线（52）上的所有被照射点上大致一定，且从投光单元（65）发射的光在扫描线（52）上的扫描速度大致一定。

公开(公告)号：CN113678048B

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202080026955.8

申请日：2020-02-06

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 中泽睦裕 ,  大串修己

IPC: G02B26/12 ,  B23K26/082

Abstract: 多面镜以旋转轴为中心进行旋转。在多面镜的多个边中的2个以上的边上分别配置有第一反射面以及第二反射面。所述第一反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。所述第二反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。入射到该多面镜的光通过所述第一反射面反射，然后由所述第二反射面反射。在多个所述边之间，第一反射面的相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的方向、以及沿旋转轴的方向的所述第一反射面与所述第二反射面之间的距离中至少有一个不同。

公开(公告)号：CN112352187B

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN201980042831.6

申请日：2019-06-19

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 中泽睦裕 ,  大串修己

IPC: G02B26/12 ,  B23K26/046 ,  B23K26/082

Abstract: 导光装置包含第一导光部、多面镜、第二导光部及调整部。第一导光部反射并导引从激光产生器照射的激光。多面镜一面使通过第一导光部导引的激光旋转，一面由该反射部(33)进行反射。第二导光部反射由多面镜的反射部(33)反射的激光，且按照每个该反射部(33)导引光以使激光分别照射在工件上。并且，导光装置的特征在于：通过调整部调整入射于多面镜的光的光轴的旋转轴方向上的位置，使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化，进而一面使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化一面照射光。

公开(公告)号：CN112352187A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201980042831.6

申请日：2019-06-19

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 中泽睦裕 ,  大串修己

IPC: G02B26/12 ,  B23K26/046 ,  B23K26/082

Abstract: 导光装置包含第一导光部、多面镜、第二导光部及调整部。第一导光部反射并导引从激光产生器照射的激光。多面镜一面使通过第一导光部导引的激光旋转，一面由该反射部(33)进行反射。第二导光部反射由多面镜的反射部(33)反射的激光，且按照每个该反射部(33)导引光以使激光分别照射在工件上。并且，导光装置的特征在于：通过调整部调整入射于多面镜的光的光轴的旋转轴方向上的位置，使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化，进而一面使照射在被照射物上的光的线宽方向的位置变化一面照射光。

公开(公告)号：CN109073171A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780023549.4

申请日：2017-04-19

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 久下守正 ,  切通隆则 ,  大串修己 ,  田中秀幸

IPC: F21S2/00 ,  F21Y103/00 ,  F21Y115/10 ,  F21Y115/20

Abstract: 在导光板(30)上形成有入射面(31)及出射面(32)。入射面(31)是供自光源(20)照射的光入射的端面。出射面(32)是供自入射面(31)入射的光出射的面且是与厚度方向垂直的面。在以平行于导光板(30)的厚度方向及光源(20)与导光板(30)的排列方向的双方的面切割的截面上，入射面(31)的至少一部分成为朝光源(20)侧隆起的曲线。