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公开(公告)号：CN113727818B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202080030804.X
申请日：2020-07-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人手，用于保持基板，其特征在于，具备：基体；托板，规定有用于保持所述基板的保持位置，其基部安装于所述基体；以及差动螺纹，其中心轴与存在于所述保持位置的所述基板的主表面正交，用于将所述托板的基部安装于所述基体，所述差动螺纹具有：第一螺纹部，其螺距是第一螺距；第二螺纹部，其螺距是与所述第一螺距不同的第二螺距；以及介入部件，同轴状地具有与所述第一螺纹部螺合的第三螺纹部及与所述第二螺纹部螺合的第四螺纹部，所述第一螺纹部设置于所述基体，且所述第二螺纹部设置于所述托板的基部。
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公开(公告)号：CN116367972A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180054607.6
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J13/00
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。
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公开(公告)号：CN114423575A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080065203.2
申请日：2020-09-14
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 本发明的倾斜调整装置以及机器人的特征在于，具备至少三个球面滑动轴承，它们分别设置于第一部件与第二部件之间，从高度方向观察时配置于相互不同的部位，至少三个球面滑动轴承分别具有内圈以及外圈，内圈以及外圈中的任一方安装于第一部件，内圈以及外圈中的任意另一方安装于第二部件，在至少三个球面滑动轴承中的至少两个，分别在内圈和外圈中的任一方与第一部件之间、以及在内圈和外圈中的任意另一方与第二部件之间中的至少任一者，夹设有高度位置调整机构。
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公开(公告)号：CN113966549A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202080043603.3
申请日：2020-07-09
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/677
Abstract: 本发明具备：多个托板；多个基座部，供多个托板固定；引导机构，在基座部并列设置的方向上引导基座部的移动；以及连杆机构，根据与多个基座部连结的连杆部件的角度变化而平行地变更基座部的间隔，在多个基座部与连杆部件的连结部分，具备针对基座部个别地微调其并列设置方向位置的间隔微调机构。由此，提供一种能够对搬运晶片等的多个托板的间隔进行微调的托板间隔调整装置。
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公开(公告)号：CN116325107A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202080103709.8
申请日：2020-11-02
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 该基板保持机械手(1)具备：框架(10)；多个叶片(20)，它们分别支承基板(W)；以及安装部件(30)，其用于支承多个叶片，并且将多个叶片安装于框架。多个叶片以在与叶片的主面(20a)垂直的方向上排列的方式配置，能够在将位于与叶片的主面垂直的方向上的端部的、即端部的叶片安装于安装部件的状态下，从安装部件取下中间的叶片。
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公开(公告)号：CN116097416A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202080103708.3
申请日：2020-11-02
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 清水一平
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种基板保持机械手和基板搬运机器人，该基板保持机械手(1)具备传感器支承部件(50)，该传感器支承部件(50)支承多个基板探测传感器(40)，并且包括一并进行多个基板探测传感器(40)相对于多个叶片(20)的定位的定位部(51)。
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公开(公告)号：CN116547112A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180054611.2
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J9/06
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述控制部对所述臂部、所述手部以及所述手姿势调整部的动作进行控制。所述控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。
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公开(公告)号：CN116349001A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202180054635.8
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括手部、臂部、基板检测部以及基板姿势检查部。所述手部保持且运送所述基板。所述臂部连接在所述手部，使所述手部移动。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板姿势检查部根据没有由所述手部所保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度，来检查所述基板的姿势。
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公开(公告)号：CN116114053A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202080103693.0
申请日：2020-11-02
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 清水一平
IPC: H01L21/677
Abstract: 该基板保持机械手(1)具备：叶片(31)，其包括支承基板(W)的支承部(311、312)；可动按压单元(32、33)，其包括用于按压基板的能够进退移动的按压部件(32a、33a)；以及倾斜调整机构(34、35、36、37)，其能够调整按压部件的倾斜。
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