公开(公告)号：CN116648334A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202180085683.3

申请日：2021-11-18

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 今西泰希 ,  北野真也

IPC: B25J13/08

Abstract: 本发明提供一种控制装置。该控制装置对关节的轴朝向上下方向的基板搬送机器人进行控制。驱动所述关节的关节马达能够切换旋转方向。控制装置根据位置偏离信息来修正取出所述基板时以及放置所述基板时中的至少之一的手的位置。控制装置进行控制，以在所述手到达作为修正后的所述手的位置的修正位置之前，所述手经由中继位置。控制装置进行控制，以通过所述关节马达向一个方向驱动所述关节，来使所述手到达所述中继位置，通过所述关节马达仅向相同的一个方向驱动所述关节，来使所述手从所述中继位置到达所述修正位置。

公开(公告)号：CN119096344A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380034957.5

申请日：2023-04-13

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 今西泰希 ,  北野真也 ,  中矢敦史

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/10

Abstract: 控制装置用于控制具有手部、关节和关节电机的基板运送机器人。所述手部能够保持基板。所述关节的轴朝向上下方向。所述关节电机用于驱动所述关节。所述控制装置以利用所述手部运送所述基板的同时使所述基板通过第一传感器以及第二传感器的方式控制所述关节电机。并且，以所述基板通过2个传感器时所述手部在俯视下的方向从与连结所述2个传感器的直线垂直的方向倾斜的方式进行控制。所述控制装置根据包括所述2个传感器的多个传感器中的任一个传感器检测所述基板的外边缘的至少三次的所述手部的位置，生成显示所述基板相对于所述手部的位置偏移的位置偏移信息。

公开(公告)号：CN120019485A

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202380072107.4

申请日：2023-10-12

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 今西泰希 ,  北野真也 ,  中矢敦史

IPC: H01L21/677 ,  B25J13/08

Abstract: 该基板搬运机器人系统(100)具备保持多个基板的每一个的基板保持机械手(23)、机器人臂(21)、以及控制部(30)。控制部(30)基于检测部(60)的检测结果，取得多个基板的各自的相对于规定的基准位置的配置的偏移量，并且基于各自的所取得的偏移量，控制搬运多个基板的机器人臂(21)的搬运动作，以便进行将多个基板分别独立地搬入到载置部、与从载置部独立地搬出中的至少一个。

公开(公告)号：CN118338993A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202280079561.8

申请日：2022-12-02

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 今西泰希 ,  北野真也

IPC: B25J9/10 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种基板运送机器人的控制装置。所述控制装置对包括手、关节和关节马达的基板运送机器人进行控制。控制装置根据表示保持在手的基板的位置偏差的位置偏差信息，来修正将所述基板放置在运送目的地时的所述手的目标位置。为了将所述手放置所述基板的位置改变为修正后的目标位置，控制装置进行第一速度控制和第二速度控制。在所述第一速度控制中，通过补正使一边减速一边接近于修正前的目标位置的所述手的速度为恒定速度。在所述第二速度控制中，以与所述第一速度控制即将开始前的所述手的速度的倾斜度相等的倾斜度使所述手的速度减速，在修正后的所述目标位置使所述手停止。随着因修正引起的所述目标位置的变化量增加，进行所述第一速度控制的时间增加。