机器人控制装置、以及具备它的机器人及机器人系统

    公开(公告)号:CN113747999B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202080030751.1

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持并搬运基板的机器人的动作进行控制,其特征在于,机器人具备:具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于机器人臂的前端并用于保持基板的末端执行器,并且该机器人与用于载置基板的载置位置邻接地配置,末端执行器的位置及姿势由N个(N为自然数)变量的值规定,对用于通过末端执行器保持已载置于载置位置的基板的末端执行器的保持位置及保持姿势进行规定的N个变量中的至少1个变量的值、和对使保持位置及保持姿势的末端执行器从载置位置退却后的末端执行器的后退位置及后退姿势进行规定的N个变量中的对应的变量的值独立。

    机器人控制装置、机器人以及机器人控制方法

    公开(公告)号:CN113853280B

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202080030816.2

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制,其特征在于,在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时,成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态,在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时,成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态,通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作,从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换,在第1动作的中途,不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断,且不使末端执行器停止。

    机器人控制装置、机器人以及机器人控制方法

    公开(公告)号:CN113853280A

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202080030816.2

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制,其特征在于,在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时,成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态,在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时,成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态,通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作,从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换,在第1动作的中途,不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断,且不使末端执行器停止。

    机器人控制装置、以及具备它的机器人及机器人系统

    公开(公告)号:CN113747999A

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN202080030751.1

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持并搬运基板的机器人的动作进行控制,其特征在于,机器人具备:具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于机器人臂的前端并用于保持基板的末端执行器,并且该机器人与用于载置基板的载置位置邻接地配置,末端执行器的位置及姿势由N个(N为自然数)变量的值规定,对用于通过末端执行器保持已载置于载置位置的基板的末端执行器的保持位置及保持姿势进行规定的N个变量中的至少1个变量的值、和对使保持位置及保持姿势的末端执行器从载置位置退却后的末端执行器的后退位置及后退姿势进行规定的N个变量中的对应的变量的值独立。

    衬底搬送机械手及其运转方法

    公开(公告)号:CN107251211B

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201580075959.4

    申请日:2015-02-13

    Abstract: 该衬底搬送机械手(1)具备:机械臂(4),具备具有保持衬底(S)的衬底保持机构的末端执行器(7);臂驱动机构(9、10、11),用来驱动机械臂(4);升降驱动机构(8),用来升降驱动末端执行器(7);机械手控制机构(12),控制臂驱动机构(9、10、11)、升降驱动机构(8)及衬底保持机构;及衬底检测机构(20),检测衬底(S)的上下方向的位置,且具有与末端执行器(7)的升降动作连动地进行升降的衬底检测传感器(20)。可精度良好地检测搬送对象的衬底的上下方向的位置,并基于其检测结果而控制机械手动作。

    衬底搬送机械手及其运转方法

    公开(公告)号:CN107251211A

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201580075959.4

    申请日:2015-02-13

    Abstract: 该衬底搬送机械手(1)具备:机械臂(4),具备具有保持衬底(S)的衬底保持机构的末端执行器(7);臂驱动机构(9、10、11),用来驱动机械臂(4);升降驱动机构(8),用来升降驱动末端执行器(7);机械手控制机构(12),控制臂驱动机构(9、10、11)、升降驱动机构(8)及衬底保持机构;及衬底检测机构(20),检测衬底(S)的上下方向的位置,且具有与末端执行器(7)的升降动作连动地进行升降的衬底检测传感器(20)。可精度良好地检测搬送对象的衬底的上下方向的位置,并基于其检测结果而控制机械手动作。

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