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公开(公告)号:CN113747999B
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202080030751.1
申请日:2020-06-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持并搬运基板的机器人的动作进行控制,其特征在于,机器人具备:具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于机器人臂的前端并用于保持基板的末端执行器,并且该机器人与用于载置基板的载置位置邻接地配置,末端执行器的位置及姿势由N个(N为自然数)变量的值规定,对用于通过末端执行器保持已载置于载置位置的基板的末端执行器的保持位置及保持姿势进行规定的N个变量中的至少1个变量的值、和对使保持位置及保持姿势的末端执行器从载置位置退却后的末端执行器的后退位置及后退姿势进行规定的N个变量中的对应的变量的值独立。
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公开(公告)号:CN112005360A
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN201980028773.1
申请日:2019-07-05
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 一种基板搬送机器人,具备:具备第一手部的机器人主体,所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部和将载置于第一基板载置部的基板保持及解放的第一基板保持机构;以及机器人控制器。
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公开(公告)号:CN119451790A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202380050100.2
申请日:2023-04-17
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor: 丹治彦 , 住友雅彦 , 菅原润一 , 下村信恭 , 阿维什·阿肖克·巴尔瓦尼
Abstract: 该机器人系统(100)具备:机器人(1),该机器人(1)包含马达(11);第1存储部(12a),该第1存储部(12a)以与马达对应的方式设置,存储马达的识别信息;第2存储部(13a),该第2存储部(13a)相对于第1存储部单独设置,存储马达的识别信息;和控制部(2),该控制部(2)通过对存储于第1存储部的马达的识别信息、与存储于第2存储部的马达的识别信息进行核对,来检测安装于机器人的马达是否是预先被赋予有识别信息的马达。
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公开(公告)号:CN113853280B
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202080030816.2
申请日:2020-07-09
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制,其特征在于,在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时,成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态,在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时,成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态,通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作,从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换,在第1动作的中途,不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断,且不使末端执行器停止。
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公开(公告)号:CN113853280A
公开(公告)日:2021-12-28
申请号:CN202080030816.2
申请日:2020-07-09
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制,其特征在于,在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时,成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态,在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时,成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态,通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作,从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换,在第1动作的中途,不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断,且不使末端执行器停止。
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公开(公告)号:CN113747999A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202080030751.1
申请日:2020-06-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置,用于对保持并搬运基板的机器人的动作进行控制,其特征在于,机器人具备:具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于机器人臂的前端并用于保持基板的末端执行器,并且该机器人与用于载置基板的载置位置邻接地配置,末端执行器的位置及姿势由N个(N为自然数)变量的值规定,对用于通过末端执行器保持已载置于载置位置的基板的末端执行器的保持位置及保持姿势进行规定的N个变量中的至少1个变量的值、和对使保持位置及保持姿势的末端执行器从载置位置退却后的末端执行器的后退位置及后退姿势进行规定的N个变量中的对应的变量的值独立。
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公开(公告)号:CN107251211B
公开(公告)日:2020-10-23
申请号:CN201580075959.4
申请日:2015-02-13
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/16 , B25J13/08
Abstract: 该衬底搬送机械手(1)具备:机械臂(4),具备具有保持衬底(S)的衬底保持机构的末端执行器(7);臂驱动机构(9、10、11),用来驱动机械臂(4);升降驱动机构(8),用来升降驱动末端执行器(7);机械手控制机构(12),控制臂驱动机构(9、10、11)、升降驱动机构(8)及衬底保持机构;及衬底检测机构(20),检测衬底(S)的上下方向的位置,且具有与末端执行器(7)的升降动作连动地进行升降的衬底检测传感器(20)。可精度良好地检测搬送对象的衬底的上下方向的位置,并基于其检测结果而控制机械手动作。
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公开(公告)号:CN107251211A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201580075959.4
申请日:2015-02-13
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/16 , B25J13/08
Abstract: 该衬底搬送机械手(1)具备:机械臂(4),具备具有保持衬底(S)的衬底保持机构的末端执行器(7);臂驱动机构(9、10、11),用来驱动机械臂(4);升降驱动机构(8),用来升降驱动末端执行器(7);机械手控制机构(12),控制臂驱动机构(9、10、11)、升降驱动机构(8)及衬底保持机构;及衬底检测机构(20),检测衬底(S)的上下方向的位置,且具有与末端执行器(7)的升降动作连动地进行升降的衬底检测传感器(20)。可精度良好地检测搬送对象的衬底的上下方向的位置,并基于其检测结果而控制机械手动作。
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