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公开(公告)号：CN119592921A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411779046.8
申请日：2024-12-05
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种氧化锆陶瓷表面沉积金刚石薄膜的方法及其产品和应用，属于表面处理技术领域，方法包括：(1)对氧化锆陶瓷基底进行预处理；(2)在步骤(1)处理后的氧化锆陶瓷基底上通过磁控溅射沉积过渡层，过渡层为硅薄膜、钛薄膜或铬薄膜；(3)通过热丝化学气相沉积对过渡层表面进行碳化热处理；(4)将步骤(3)处理后的氧化锆陶瓷基底置于纳米金刚石的乙醇悬浊液中超声震荡植晶，取出干燥后利用热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜。本发明方法简单高效、可控性好、重复率高，能够实现金刚石薄膜与氧化锆陶瓷间的牢固连接，克服膜基匹配问题，改善氧化锆陶瓷基底的抗磨耐蚀性能。
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公开(公告)号：CN116536646B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202310448121.1
申请日：2023-04-24
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 中钨合金科技(莆田)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种钢铁表面耐磨绝缘复合涂层及其制备方法，涉及金属材料表面处理技术领域，该耐磨绝缘复合涂层包括石墨烯‑纳米TiN内层和纳米Al2O3外层，石墨烯‑纳米TiN内层的厚度为0.01‑1000μm，纳米Al2O3外层的厚度为0.01‑10000μm，其中，石墨烯‑纳米TiN内层由石墨烯和粒径为50‑300nm的TiN晶粒组成，石墨烯的含量为0.01‑1wt％，纳米Al2O3外层由粒径为250‑550nm的Al2O3晶粒组成，该耐磨绝缘复合涂层采用两步化学气相沉积法制备得到，与钢铁基体之间呈现强冶金结合，涂层致密均匀、结构可控，可以显著提升钢铁材料的耐磨性能及绝缘性能，延长其使用寿命并拓展其应用领域。
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公开(公告)号：CN118653210A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410936819.2
申请日：2024-07-12
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开了一种金刚石吸波材料及其制备方法，该金刚石吸波材料的制备方法，包括将单晶硅片作为基底，对基底表面进行超声清洗、种晶处理；使用MPCVD设备，将CH4和H2作为气体源，将混合气体作为氮源，在基底表面生长金刚石；其中，CH4、H2的流量比例为1:100–5:100；混合气、H2的流量比例为1:100–4:100；混合气体为N2和H2，其中N2在混合气体中的体积含量为0.1‑5％；刻蚀掉基底得到金刚石吸波材料。利用该方法绿色环保的制备金刚石吸波材料，制得的金刚石吸波材料具有较好的吸波导热性能。
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公开(公告)号：CN118480863A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410722474.0
申请日：2024-06-05
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开了一种三明治结构的光学级金刚石单晶及其制备方法，采用超薄CVD金刚石籽晶，进行马赛克拼接，再通过双表面MPCVD法外延生长单晶金刚石来覆盖籽晶间的表面缝隙，最终得到“外延层‑籽晶群‑外延层”的大尺寸三明治结构的CVD金刚石单晶。本发明采用超薄的籽晶层，在高质量外延层的覆盖下，其籽晶界面拼接处的外延层缝隙较小，通过双表面沉积足够厚的外延层，基于“双面加固”的方式，使得制备得到的金刚石单晶具有较高的结构强度、较高的光学透过率以及较高的热导率，实现了高性能金刚石单晶的制备。本发明制备方法简单、高效，为单晶金刚石的大尺寸、低成本化制备，提供了新的思路。
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公开(公告)号：CN116705888A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310625019.4
申请日：2023-05-30
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H01L31/09 , H01L31/032 , H01L31/18 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种具有宽频响应的光电探测器的制备方法，包括获得金刚石衬底；在氧气氛围下，气体压力为0.01–80mTorr，温度范围为500–900℃，通过脉冲激光沉积工艺在金刚石衬底上沉积Sn掺杂氧化镓薄膜得到光电探测器，Sn掺杂氧化镓中的Sn的摩尔分数为0.01‑10％；利用光刻、显影工艺在金刚石/氧化镓表面形成欧姆接触图案，沉积欧姆接触金属，剥离光刻胶后退火得到欧姆接触金属电极。该制备方法能够将氧化镓高质量的沉积在金刚石表面，形成氧化镓/金刚石异质结，从而实现获得宽频响应的光电探测器。本发明还公开了一种具有宽频响应的光电探测器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116555762A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310476439.0
申请日：2023-04-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开一种金刚石系红外复合窗口材料，包括铝氧化物基底、过渡层和金刚石层，所述过渡层包括AlN层、Si3N4层和SiC层；其中，在铝氧化物基底表面沉积AlN层，在所述AlN层表面沉积Si3N4层，在Si3N4层表面沉积SiC层，在SiC层表面沉积金刚石层。该金刚石系红外复合窗口材料在中波红外波段(3‑5μm)具有较高的透过率，热导率和界面结合率。本发明还公开了该金刚石系红外复合窗口材料的制备方法。
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公开(公告)号：CN116732485A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310625148.3
申请日：2023-05-30
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种高载流子迁移率氢终端金刚石的制备方法，包括：去除金刚石衬底表面杂质，然后超声清洗金刚石衬底表面；在得到的金刚石衬底表面上进行氢等离子刻蚀得到表面为氢终端的金刚石；以六方氮化硼为靶材，在金刚石的氢终端表面进行磁控溅射沉积得到表面含有氮化硼的高载流子迁移率氢终端金刚石。该制备方法简单、高效。本发明还公开了该高载流子迁移率氢终端金刚石的制备方法制备得到的高载流子迁移率氢终端金刚石，该沉积有氮化硼的氢终端金刚石具有较高的载流子迁移率和载流子迁移稳定性。
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公开(公告)号：CN116536646A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310448121.1
申请日：2023-04-24
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 中钨合金科技(莆田)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种钢铁表面耐磨绝缘复合涂层及其制备方法，涉及金属材料表面处理技术领域，该耐磨绝缘复合涂层包括石墨烯‑纳米TiN内层和纳米Al2O3外层，石墨烯‑纳米TiN内层的厚度为0.01‑1000μm，纳米Al2O3外层的厚度为0.01‑10000μm，其中，石墨烯‑纳米TiN内层由石墨烯和粒径为50‑300nm的TiN晶粒组成，石墨烯的含量为0.01‑1wt％，纳米Al2O3外层由粒径为250‑550nm的Al2O3晶粒组成，该耐磨绝缘复合涂层采用两步化学气相沉积法制备得到，与钢铁基体之间呈现强冶金结合，涂层致密均匀、结构可控，可以显著提升钢铁材料的耐磨性能及绝缘性能，延长其使用寿命并拓展其应用领域。
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公开(公告)号：CN110318036A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201810265794.2
申请日：2018-03-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: C23C16/32
Abstract: 本发明涉及一种碳化钛耐磨陶瓷涂层及其制备方法和应用。具体地，本发明提供一种碳化钛耐磨陶瓷涂层，所述涂层含有微孪晶与层错的复合结构。本发明所述涂层的复合结构可以有效改善碳化钛涂层的韧性并降低涂层内应力，且化学气相沉积法制备的碳化钛耐磨陶瓷涂层可有效提高膜基结合力，增强涂层晶化程度。
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公开(公告)号：CN104707995B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201310676339.9
申请日：2013-12-11
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波晶钻工业科技有限公司
Abstract: 本发明涉及金刚石复合体及其制备方法。具体地，本发明提供了一种金刚石复合体以及制备方法，所述复合体包括金刚石颗粒以及结合于金刚石颗粒表面的复合纳米涂层；所述复合纳米涂层包括涂层(a)：碳化硼纳米涂层；和涂层(b)：硼纳米涂层、氮化硼纳米涂层或其组合；其中，所述涂层(a)结合于金刚石颗粒表面；所述涂层(b)结合于所述涂层(a)表面。该复合体材料具有优异的性能，广泛的应用。
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