公开(公告)号：CN118653210A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202410936819.2

申请日：2024-07-12

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 ,  宁波杭州湾新材料研究院

Inventor： 王跃忠 ,  刘陈成 ,  朱彤 ,  李莎莎 ,  杨国永 ,  杨科 ,  褚伍波 ,  江南

IPC: C30B29/06 ,  C30B29/04 ,  C30B25/00

Abstract: 本发明公开了一种金刚石吸波材料及其制备方法，该金刚石吸波材料的制备方法，包括将单晶硅片作为基底，对基底表面进行超声清洗、种晶处理；使用MPCVD设备，将CH4和H2作为气体源，将混合气体作为氮源，在基底表面生长金刚石；其中，CH4、H2的流量比例为1:100–5:100；混合气、H2的流量比例为1:100–4:100；混合气体为N2和H2，其中N2在混合气体中的体积含量为0.1‑5％；刻蚀掉基底得到金刚石吸波材料。利用该方法绿色环保的制备金刚石吸波材料，制得的金刚石吸波材料具有较好的吸波导热性能。

公开(公告)号：CN118480863A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410722474.0

申请日：2024-06-05

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 ,  宁波杭州湾新材料研究院

Inventor： 王跃忠 ,  朱彤 ,  刘陈成 ,  杨科 ,  杨国永 ,  江南

IPC: C30B29/04 ,  C30B25/02

Abstract: 本发明公开了一种三明治结构的光学级金刚石单晶及其制备方法，采用超薄CVD金刚石籽晶，进行马赛克拼接，再通过双表面MPCVD法外延生长单晶金刚石来覆盖籽晶间的表面缝隙，最终得到“外延层‑籽晶群‑外延层”的大尺寸三明治结构的CVD金刚石单晶。本发明采用超薄的籽晶层，在高质量外延层的覆盖下，其籽晶界面拼接处的外延层缝隙较小，通过双表面沉积足够厚的外延层，基于“双面加固”的方式，使得制备得到的金刚石单晶具有较高的结构强度、较高的光学透过率以及较高的热导率，实现了高性能金刚石单晶的制备。本发明制备方法简单、高效，为单晶金刚石的大尺寸、低成本化制备，提供了新的思路。