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公开(公告)号:CN114485981B
公开(公告)日:2025-01-17
申请号:CN202210101474.X
申请日:2022-01-27
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波新材料测试评价中心有限公司
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于金刚石一阶拉曼光谱的测温方法,包括:步骤1采集金刚石在不同温度下的一阶拉曼光谱数据,并记录对应的温度值,作为数据集;步骤2基于步骤1获得的数据集,通过Voigt拟合函数进行拟合,获得对应拉曼峰的半高宽值、中心位置与峰强度;步骤3通过非线性拟合,构建关于温度变化的单调函数曲线组;步骤4将金刚石放入待测温度场内,基于步骤2的拟合函数获得对应拉曼峰的半高宽值、中心位置与峰强度;步骤5将步骤4中测得数据,输入单调函数曲线组中,通过分析判断输出最终温度值。本发明还提供了一种基于上述方法的测温装置。通过本发明提供的方法在完成温度检测的基础上,同时保证了最终测温结果的准确性。
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公开(公告)号:CN116926499A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202310857406.0
申请日:2023-07-13
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
IPC: C23C16/27 , C23C16/511 , C23C16/02 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种硅金刚石红外复合窗口材料,包括光学硅和沉积在光学硅表面的金刚石薄膜,所述金刚石薄膜的厚度为80–120μm。该硅金刚石红外复合窗口材料具有加高的透过率和表面结合能力。本发明还提供了该硅金刚石红外复合窗口材料的制备方法,包括采用金刚石微粉悬浊液在光学硅上预处理5–10min,使得光学硅表面产生划痕;通过MPCVD(微波等离子化学气相沉积)方法,以CH4/H2混合气体为反应气体,在温度为在800–950℃下,在步骤(1)得到的光学硅表面持续生长50–80h得到金刚石层,研磨抛光金刚石层得到硅金刚石红外复合窗口材料。
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公开(公告)号:CN114485981A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202210101474.X
申请日:2022-01-27
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波新材料测试评价中心有限公司
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于金刚石一阶拉曼光谱的测温方法,包括:步骤1采集金刚石在不同温度下的一阶拉曼光谱数据,并记录对应的温度值,作为数据集;步骤2基于步骤1获得的数据集,通过Voigt拟合函数进行拟合,获得对应拉曼峰的半高宽值、中心位置与峰强度;步骤3通过非线性拟合,构建关于温度变化的单调函数曲线组;步骤4将金刚石放入待测温度场内,基于步骤2的拟合函数获得对应拉曼峰的半高宽值、中心位置与峰强度;步骤5将步骤4中测得数据,输入单调函数曲线组中,通过分析判断输出最终温度值。本发明还提供了一种基于上述方法的测温装置。通过本发明提供的方法在完成温度检测的基础上,同时保证了最终测温结果的准确性。
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公开(公告)号:CN118480863A
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN202410722474.0
申请日:2024-06-05
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开了一种三明治结构的光学级金刚石单晶及其制备方法,采用超薄CVD金刚石籽晶,进行马赛克拼接,再通过双表面MPCVD法外延生长单晶金刚石来覆盖籽晶间的表面缝隙,最终得到“外延层‑籽晶群‑外延层”的大尺寸三明治结构的CVD金刚石单晶。本发明采用超薄的籽晶层,在高质量外延层的覆盖下,其籽晶界面拼接处的外延层缝隙较小,通过双表面沉积足够厚的外延层,基于“双面加固”的方式,使得制备得到的金刚石单晶具有较高的结构强度、较高的光学透过率以及较高的热导率,实现了高性能金刚石单晶的制备。本发明制备方法简单、高效,为单晶金刚石的大尺寸、低成本化制备,提供了新的思路。
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公开(公告)号:CN116555762A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202310476439.0
申请日:2023-04-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开一种金刚石系红外复合窗口材料,包括铝氧化物基底、过渡层和金刚石层,所述过渡层包括AlN层、Si3N4层和SiC层;其中,在铝氧化物基底表面沉积AlN层,在所述AlN层表面沉积Si3N4层,在Si3N4层表面沉积SiC层,在SiC层表面沉积金刚石层。该金刚石系红外复合窗口材料在中波红外波段(3‑5μm)具有较高的透过率,热导率和界面结合率。本发明还公开了该金刚石系红外复合窗口材料的制备方法。
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公开(公告)号:CN118653210A
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202410936819.2
申请日:2024-07-12
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开了一种金刚石吸波材料及其制备方法,该金刚石吸波材料的制备方法,包括将单晶硅片作为基底,对基底表面进行超声清洗、种晶处理;使用MPCVD设备,将CH4和H2作为气体源,将混合气体作为氮源,在基底表面生长金刚石;其中,CH4、H2的流量比例为1:100–5:100;混合气、H2的流量比例为1:100–4:100;混合气体为N2和H2,其中N2在混合气体中的体积含量为0.1‑5%;刻蚀掉基底得到金刚石吸波材料。利用该方法绿色环保的制备金刚石吸波材料,制得的金刚石吸波材料具有较好的吸波导热性能。
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公开(公告)号:CN116555906A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202310476508.8
申请日:2023-04-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开了一种多晶金刚石红外光学材料的制备方法,包括对单晶硅进行超声清洗、打磨;采用MPCVD设备,将CH4和H2作为气体源,将混合气体作为氮源,通过释稀实现低浓度的氮掺杂,在打磨后的单晶硅表面生长金刚石;采用腐蚀液刻蚀单晶硅得到金刚石样品,对金刚石样品洗净、烘干、激光切边,以及对金刚石样本的生长面进行抛光得到 晶面织构化的多晶金刚石红外光学材料。该制备方法能够实现金刚石的快速生长,且获得的金刚石具有较高的光学品质及热导率。本发明还提供了多晶金刚石红外光学材料。
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