一种三明治结构的光学级金刚石单晶及其制备方法

    公开(公告)号:CN118480863A

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202410722474.0

    申请日:2024-06-05

    Abstract: 本发明公开了一种三明治结构的光学级金刚石单晶及其制备方法,采用超薄CVD金刚石籽晶,进行马赛克拼接,再通过双表面MPCVD法外延生长单晶金刚石来覆盖籽晶间的表面缝隙,最终得到“外延层‑籽晶群‑外延层”的大尺寸三明治结构的CVD金刚石单晶。本发明采用超薄的籽晶层,在高质量外延层的覆盖下,其籽晶界面拼接处的外延层缝隙较小,通过双表面沉积足够厚的外延层,基于“双面加固”的方式,使得制备得到的金刚石单晶具有较高的结构强度、较高的光学透过率以及较高的热导率,实现了高性能金刚石单晶的制备。本发明制备方法简单、高效,为单晶金刚石的大尺寸、低成本化制备,提供了新的思路。

    一种多晶金刚石红外光学材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN116555906A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310476508.8

    申请日:2023-04-28

    Abstract: 本发明公开了一种多晶金刚石红外光学材料的制备方法,包括对单晶硅进行超声清洗、打磨;采用MPCVD设备,将CH4和H2作为气体源,将混合气体作为氮源,通过释稀实现低浓度的氮掺杂,在打磨后的单晶硅表面生长金刚石;采用腐蚀液刻蚀单晶硅得到金刚石样品,对金刚石样品洗净、烘干、激光切边,以及对金刚石样本的生长面进行抛光得到 晶面织构化的多晶金刚石红外光学材料。该制备方法能够实现金刚石的快速生长,且获得的金刚石具有较高的光学品质及热导率。本发明还提供了多晶金刚石红外光学材料。

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