公开(公告)号：CN116555762A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310476439.0

申请日：2023-04-28

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 ,  宁波杭州湾新材料研究院

Inventor： 王跃忠 ,  杨国健 ,  李莎莎 ,  杨科 ,  江南

IPC: C23C28/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  C23C16/511 ,  C23C16/32 ,  C23C16/27 ,  C23C16/34

Abstract: 本发明公开一种金刚石系红外复合窗口材料，包括铝氧化物基底、过渡层和金刚石层，所述过渡层包括AlN层、Si3N4层和SiC层；其中，在铝氧化物基底表面沉积AlN层，在所述AlN层表面沉积Si3N4层，在Si3N4层表面沉积SiC层，在SiC层表面沉积金刚石层。该金刚石系红外复合窗口材料在中波红外波段(3‑5μm)具有较高的透过率，热导率和界面结合率。本发明还公开了该金刚石系红外复合窗口材料的制备方法。

公开(公告)号：CN118653210A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202410936819.2

申请日：2024-07-12

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 ,  宁波杭州湾新材料研究院

Inventor： 王跃忠 ,  刘陈成 ,  朱彤 ,  李莎莎 ,  杨国永 ,  杨科 ,  褚伍波 ,  江南

IPC: C30B29/06 ,  C30B29/04 ,  C30B25/00

Abstract: 本发明公开了一种金刚石吸波材料及其制备方法，该金刚石吸波材料的制备方法，包括将单晶硅片作为基底，对基底表面进行超声清洗、种晶处理；使用MPCVD设备，将CH4和H2作为气体源，将混合气体作为氮源，在基底表面生长金刚石；其中，CH4、H2的流量比例为1:100–5:100；混合气、H2的流量比例为1:100–4:100；混合气体为N2和H2，其中N2在混合气体中的体积含量为0.1‑5％；刻蚀掉基底得到金刚石吸波材料。利用该方法绿色环保的制备金刚石吸波材料，制得的金刚石吸波材料具有较好的吸波导热性能。

公开(公告)号：CN116926499A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310857406.0

申请日：2023-07-13

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 ,  宁波杭州湾新材料研究院

Inventor： 王跃忠 ,  朱彤 ,  李莎莎 ,  杨国永 ,  江南

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/511 ,  C23C16/02 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明公开了一种硅金刚石红外复合窗口材料，包括光学硅和沉积在光学硅表面的金刚石薄膜，所述金刚石薄膜的厚度为80–120μm。该硅金刚石红外复合窗口材料具有加高的透过率和表面结合能力。本发明还提供了该硅金刚石红外复合窗口材料的制备方法，包括采用金刚石微粉悬浊液在光学硅上预处理5–10min，使得光学硅表面产生划痕；通过MPCVD(微波等离子化学气相沉积)方法，以CH4/H2混合气体为反应气体，在温度为在800–950℃下，在步骤(1)得到的光学硅表面持续生长50–80h得到金刚石层，研磨抛光金刚石层得到硅金刚石红外复合窗口材料。