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公开(公告)号：CN101490816B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200780025076.8
申请日：2007-07-02
Applicant: 学校法人立命馆 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: 等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
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公开(公告)号：CN101490816A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780025076.8
申请日：2007-07-02
Applicant: 学校法人立命馆 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: 等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
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公开(公告)号：CN101238376A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200680028847.4
申请日：2006-08-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01P21/00 , H01L21/027
CPC classification number: G01P15/123 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 提供一种以简易方式高精确度地检查具有微小可动部的微结构体的检查装置、检查方法以及检查程序。输入测试声波，解析对测试声波的输入进行了响应的传感器输出电压振幅的频率特性。根据预先设想的使用条件等算出设备所要求的最大频率以及最小频率，判定能否在该频带中检测出期望的特性。具体地说，在规定的频带中，根据响应特性是否超过作为阈值的最小特性水平来判定为是合格品还是不合格品。
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公开(公告)号：CN100335905C
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN02817352.X
申请日：2002-09-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01P15/18 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0181 , B81B2203/053 , B81B2203/058 , G01C19/5719 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 一种微结构，包括：质量块；在其中可动地容纳了质量块的基底构件。质量块包括暴露于基底构件之外的表面以及限动线，所述限动线布置在质量块的所述表面上方，以抑制质量块的过度运动。
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公开(公告)号：CN101133320A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680007010.1
申请日：2006-03-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: 本发明提供一种微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序。扬声器部(2)包括多个声源，从各个声源输出声波。通过从扬声器部(2)输出的为疏密波的声波的到达、即空气振动，使作为检测芯片(TP)的微小结构体的三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)而给出的输出电压来测量随着该动作而发生改变的电阻值的变化。控制部(20)根据测量出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。另外，对于多个声源的间隔，通过根据至三轴加速度传感器的可动部分的距离差和测试声波的波长将声源的间隔设定为规定值，可以按照被合成的声波的合成声场变为最大的方式向可动部分施加作为合成波的测试声波。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1842712A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN02817392.9
申请日：2002-09-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H04R29/004 , G01R27/26
Abstract: 一种电容检测电路(10)，其中，包括直流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位上的运算放大器(14)、阻抗变换器(16)、连接在直流电压发生器(11)与运算放大器(14)的同相输入端子之间的电阻(R1)(12)、连接在运算放大器(14)的反相输入端子与阻抗变换器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、以及连接在运算放大器(14)的输出端子与阻抗变换器(16)的输入端子之间的电容器(15)，其中，被测电容器(17)连接在阻抗变换器(16)的输入端子与给定电位之间。
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公开(公告)号：CN1746683A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510076693.3
申请日：2005-06-13
Applicant: 奥克泰克有限公司 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器(2)输出测试声波。随着从扬声器(2)输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片(TP)的微型结构体、即三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)施加的输出电压来测量随着该动作而变化的阻值变化。控制部(20)根据测出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。
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公开(公告)号：CN1866030B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200610093722.1
申请日：2006-03-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01P15/097 , G01P15/18 , G01P15/00
CPC classification number: B81C99/005
Abstract: 本发明提供了一种以简易方式高精度地检查具有微小可动部的微小结构体的探针卡及检查装置。探针卡(6)包含：扬声器(2)、固定探针(4)的电路基板(100)，在电路基板(100)上装载扬声器(2)。而且，在电路基板(100)中设置开口区域，在其上装载扬声器(2)，由此对微小结构体的可动部输出测试声波。然后，利用探针(4)根据测试声波来检测因可动部移动而改变的电气特性变化，以检查微小结构体的特性。
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公开(公告)号：CN100454028C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN02817392.9
申请日：2002-09-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H04R29/004 , G01R27/26
Abstract: 一种电容检测电路(10)，其中，包括直流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位上的运算放大器(14)、阻抗变换器(16)、连接在直流电压发生器(11)与运算放大器(14)的同相输入端子之间的电阻(R1)(12)、连接在运算放大器(14)的反相输入端子与阻抗变换器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、以及连接在运算放大器(14)的输出端子与阻抗变换器(16)的输入端子之间的电容器(15)，其中，被测电容器(17)连接在阻抗变换器(16)的输入端子与给定电位之间。
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公开(公告)号：CN1942769A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200580011928.9
申请日：2005-10-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R1/06727 , G01R1/07342
Abstract: 横梁部(3)通过支撑部(2)而单臂支撑在探针基板(1)上，在横梁部(3)与探针基板(1)之间具有规定的间隔。在横梁部(3)上设有向远离探针基板(1)的方向延伸的触头(4)。另外，在横梁部(3)上设有向探针基板(1)延伸的突起5。当向探针基板(1)施加负载时，突起(5)与探针基板(1)抵接，由此可以分散施加在横梁部(3)上的应力。
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