公开(公告)号：CN100335905C

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN02817352.X

申请日：2002-09-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 桥本浩幸 ,  大麻隆彦 ,  池内直树 ,  原田宗生

IPC: G01P15/12 ,  G01P15/00 ,  G01P15/08 ,  G01C19/56 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: G01P15/18 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/058 ,  G01C19/5719 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0842

Abstract: 一种微结构，包括：质量块；在其中可动地容纳了质量块的基底构件。质量块包括暴露于基底构件之外的表面以及限动线，所述限动线布置在质量块的所述表面上方，以抑制质量块的过度运动。