-
公开(公告)号：CN119053000A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411332595.0
申请日：2024-09-24
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于等离子产成设备技术领域，公开了一种远程等离子体源腔体结构，在环形腔体的出气口处设置具有孔道和第一螺旋叶片的螺旋分离器以及副驱动线圈，利用副驱动线圈产生的磁场约束等离子体的运动范围，使等离子体从孔道穿过，输出气流中的污染颗粒物不受该磁场影响从而在螺旋流动过程中与第一螺旋叶片和出气口内壁摩擦降速并最终被吸附，有效减少从出气口输出的等离子体中包含的污染颗粒物的含量。
-
-
公开(公告)号：CN118502500A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410952936.8
申请日：2024-07-16
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种压力自适应控制方法、装置及相关设备，涉及真空压力控制领域，其中压力自适应控制方法包括：检测腔体内的实际压力，并根据预设压力与实际压力之差计算压力偏差；根据上一时刻的控制信号、神经元比例系数以及当前时刻各个节点输出及对应的当前时刻的权值系数计算生成当前时刻的控制信号；根据当前时刻的控制信号调节电机以调节连接腔体的管道上的蝶阀的开度，从而调节腔体压力。本申请的压力自适应控制方法能解决PID控制算法在应用于高非线性和高时变性的真空蝶阀腔体压力控制系统时，难以达到理想的控制效果的问题，从而能达到迅速且准确地将腔体压力调节至预设压力的效果。
-
公开(公告)号：CN117904584A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410112954.5
申请日：2024-01-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请提供了一种脉冲激光沉积设备及其使用方法，涉及薄膜制备技术领域。通过在放置台和沉积台之间设置加热线圈，靶材的溅射物会向上飞出穿过加热线圈，溅射物中的大颗粒会受到重力作用向下跌落，还有部分杂质跟随溅射物继续向上，在穿过加热线圈时，这些杂质会被加热线圈进行加热离化形成等离子体，达到过滤杂质的作用以及避免了等离子体的浪费，同时提高了总的等离子体密度，从而提高薄膜的沉积效果，最后，待沉积工件表面的沉积物几乎为等离子体，减少了杂质污染的可能性；另外，由于杂质在加热线圈中被加热离化形成等离子体，这部分等离子体到待沉积工件的表面距离比较短，能够增加待沉积工件表面的等离子体密度，从而有利于提高沉积效率。
-
公开(公告)号：CN117148709B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311441738.7
申请日：2023-11-01
Applicant: 季华实验室
IPC: G05B11/42
Abstract: 本申请涉及真空蝶阀技术领域，具体提供了一种真空蝶阀控制方法、系统、电子设备及存储介质，该方法包括以下步骤：获取腔室内的实际气压信息，腔室与真空蝶阀连接；基于预先建立的曲线算法模型根据实际气压信息获取对应的实际阀门位置信息，并基于曲线算法模型根据预设的目标气压信息获取对应的目标阀门位置信息；基于PID控制根据实际阀门位置信息和目标阀门位置信息对真空蝶阀的阀门位置进行调整，以使实际阀门位置信息与目标阀门位置信息相同；该方法能够根据腔室内的气压自适应调节真空蝶阀的阀门位置，从而有效地提高真空蝶阀的调节效率和调节精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115124004B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202210893433.9
申请日：2022-07-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超净高纯硫酸连续生产装置，包括依次连接的固体料投放装置、搅拌罐、结晶釜、阴离子交换柱、阳离子交换柱、过滤器、浓缩器、固体料转移装置、真空干燥器、加热分解器、降膜分离器、除雾器、高纯硫酸吸收塔、超滤装置、真空洁净包装系；通过采用上述生产设备，可以以工业级硫酸氢钠为原料，制备出符合SEMI‑C8或SEMI‑C12标准的硫酸，并且产量高，产品质量稳定，以此来克服发烟硫酸和液体三氧化硫原料在使用时存在安全隐患、不环保、进料数量不能精确控制等问题。
-
公开(公告)号：CN111940756B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202010753405.8
申请日：2020-07-30
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开基于水相合成的合金半导体复合纳米材料制备方法及合金半导体复合纳米材料，所述制备方法包括纳米金种制备、纳米合金制备及复合纳米材料制备。本发明所提供的方法通过结合种子生长法和化学置换法，可制备得到两种或多种光电应用性质理想且粒径、厚度可控的复合纳米材料，所制备材料与其他单组分或其他方式合成的复合材料相比，局域表面等离子体耦合更理想，光热转换效率更高。
-
公开(公告)号：CN115124004A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210893433.9
申请日：2022-07-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超净高纯硫酸连续生产装置及生产方法，其中，所述生产装置包括依次连接的固体料投放装置、搅拌罐、结晶釜、阴离子交换柱、阳离子交换柱、过滤器、浓缩器、固体料转移装置、真空干燥器、加热分解器、降膜分离器、除雾器、高纯硫酸吸收塔、超滤装置、真空洁净包装系；通过采用上述生产设备，可以以工业级硫酸氢钠为原料，制备出符合SEMI‑C8或SEMI‑C12标准的硫酸，并且产量高，产品质量稳定，以此来克服发烟硫酸和液体三氧化硫原料在使用时存在安全隐患、不环保、进料数量不能精确控制等问题。
-
公开(公告)号：CN114130045A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111526817.9
申请日：2021-12-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用，其中的蒸发浓缩装置包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件；所述外壳体的内腔为一级真空腔体，所述内壳体的内腔为二级真空腔体，所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接；所述内壳体设置在所述一级真空腔体中，所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件，所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部，所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上；所述二级真空腔体中设有用于固定装有样品的烧杯的固定架。本发明实现对超净高纯电子化学品的蒸发浓缩，且快速高效，维护成本低。
-
公开(公告)号：CN111940252A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010751469.4
申请日：2020-07-30
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于真空环境下回收粉末装置，包括可通过气体但粉末不能通过的粉末收集罐，所述粉末收集罐的气体入口与真空腔体连通，粉末收集罐的气体出口与抽真空装置连通：抽真空装置启动，使真空腔体内形成真空环境，对真空腔体内的芯片进行粉末喷涂，真空腔体内多余的粉末由于压力差被吸入到粉末收集罐内实现收集；本基于真空环境下回收粉末装置的结构简易，能在保持真空环境的同时对粉末尤其是荧光粉等纳米级粉末实现过滤回收；粉末收集罐内设置硫化过滤板，可以实现对纳米级粉末的有效过滤回收；本回收粉末装置无需其他外力，只需要真空泵抽真空时形成的压力差就可以把粉末带到粉末收集罐内，提高工作效率，节省能源。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
38
records
(took 0.048 seconds)
