一种中红外双层纳米金属光栅及其制备方法

    公开(公告)号:CN107290813A

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201710550964.7

    申请日:2017-07-07

    CPC classification number: G02B5/1847 G02B5/1857 G03F7/0002

    Abstract: 本发明公开了一种中红外双层纳米金属光栅的制备方法及利用该方法制备获得的中红外双层纳米金属光栅。包括如下步骤:制作压印模板,采用热压印工艺复制软模板,将镍硬模板上纳米线栅结构转移复制到软模板上,得到与原镍硬模板结构互补的纳米线栅结构;提供一作为光栅基底的透红外材料;采用滴胶旋涂方式在基底表面旋涂光栅压印胶介质层;转移纳米图案,采用紫外曝光纳米压印工艺,将前述软模板压印到压印胶介质层,使纳米线栅结构转移到光栅压印胶介质层上;利用垂直热蒸镀工艺在上述光栅压印胶介质层纳米线栅结构凸起和凹槽部位沉积金属,完成中红外双层纳米金属光栅的制备。

    一种单层及多层金属纳米结构的制备方法

    公开(公告)号:CN109814334A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201910241581.0

    申请日:2019-03-28

    Abstract: 本发明公开了一种单层及多层金属纳米结构的制备方法,步骤如下:采用热纳米压印工艺获取柔性模板,得到与原始母模板互补的纳米结构;采用薄膜沉积工艺,在上述柔性模板纳米结构凸起和凹槽部分分别形成金属薄膜;采用滴胶旋涂工艺,在目标基底旋涂紫外固化纳米压印光刻胶;采用紫外固化纳米压印工艺,利用紫外固化键合力,将柔性模板结构区域凸起部分的表层金属转印到涂有光刻胶介质层的目标基底。利用该方法,在目标基底上重复上述涂胶、转印工艺,得到多层金属纳米结构。

    一种新型传感器的机械结构及该传感器

    公开(公告)号:CN107607905A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710803302.6

    申请日:2017-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种新型传感器的机械结构及该传感器,可用于飞行器的姿态控制,广义上也可属于一种太阳传感器。具体地,是一种新型的成像式偏振光导航传感器,该传感器由滤光片、圆锥镜和CMOS传感器组成。其中的圆锥镜材料折射率及圆锥面与底面之间的夹角经过严格的结构设计和计算得到;并采用分辨率较高的CMOS传感器接收透过圆锥镜的偏振光。本发明结构简单、实时性好、测量精度高,在偏振光方位角测量和偏振光导航方面有很好的应用前景。

    一种多层透明黑磷片堆叠的集成阵列式偏振成像探测器以及相应的偏振信息计算方法

    公开(公告)号:CN112082652B

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN202010963096.7

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明公开了一种多层透明黑磷片堆叠的集成阵列式偏振成像探测器以及相应的偏振信息计算方法。偏振成像探测器由多个探测器单元排列而成,每个探测器单元由三层功能层和基底支撑层构成,功能层结构以透明黑磷片作为光敏层和导电沟道层,辅以电极和保护绝缘介质,并加以外围电路。以功能层为结构单元,沿光路方向堆叠多层可实现实时高分辨率的偏振探测。当偏振光照射器件时,由于黑磷片本身的特性,只对沿黑磷片的AC方向(Armchair)的偏振光吸收最大,其他方向会存在透射,所以多个角度的黑磷片的堆叠结构,可以在同一位置实时测量得到多个方向的光强信息。在黑磷片内载流子在外加电势驱动下单向运动,产生响应信号并实现偏振光光强的探测,并通过特定的算法求解出目标光束信息。该探测器解决了现有偏振探测空间不一致的问题,具有高度集成化、无分辨率损失、实时性好等特点,适用于偏振探测成像、导航等领域。

    一种多层透明黑磷片堆叠的集成阵列式偏振成像探测器以及相应的偏振信息计算方法

    公开(公告)号:CN112082652A

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN202010963096.7

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明公开了一种多层透明黑磷片堆叠的集成阵列式偏振成像探测器以及相应的偏振信息计算方法。偏振成像探测器由多个探测器单元排列而成,每个探测器单元由三层功能层和基底支撑层构成,功能层结构以透明黑磷片作为光敏层和导电沟道层,辅以电极和保护绝缘介质,并加以外围电路。以功能层为结构单元,沿光路方向堆叠多层可实现实时高分辨率的偏振探测。当偏振光照射器件时,由于黑磷片本身的特性,只对沿黑磷片的AC方向(Armchair)的偏振光吸收最大,其他方向会存在透射,所以多个角度的黑磷片的堆叠结构,可以在同一位置实时测量得到多个方向的光强信息。在黑磷片内载流子在外加电势驱动下单向运动,产生响应信号并实现偏振光光强的探测,并通过特定的算法求解出目标光束信息。该探测器解决了现有偏振探测空间不一致的问题,具有高度集成化、无分辨率损失、实时性好等特点,适用于偏振探测成像、导航等领域。

    一种适用于可见光波段的单层透射式圆偏振器

    公开(公告)号:CN114609717B

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202210279712.6

    申请日:2022-03-21

    Abstract: 本发明提供了一种适用于可见光波段的单层透射式圆偏振器,其结构包括透光基底和覆于透光基底上的薄膜,薄膜上刻蚀着具有手性的周期性结构阵列。该圆偏振器对左旋圆偏振光和右旋圆偏振光有着良好的甄别能力,实现了对圆偏振光的控制与检测。本发明的圆偏振器在500‑600nm波段内,平均圆二色性大于0.2。在532nm处圆二色性最高可达0.28,圆消光比达到1000左右。本发明凭借其紧凑新颖的结构、超薄的厚度、高效简单的工艺以及良好的性能,在生物医学诊断、分子检测、化学分析以及微纳偏振成像等领域具有良好的发展前景,尤其是与线性偏振器集成实现实时全斯托克斯偏振检测。

    一种适用于可见光波段的单层透射式圆偏振器

    公开(公告)号:CN114609717A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202210279712.6

    申请日:2022-03-21

    Abstract: 本发明提供了一种适用于可见光波段的单层透射式圆偏振器,其结构包括透光基底和覆于透光基底上的薄膜,薄膜上刻蚀着具有手性的周期性结构阵列。该圆偏振器对左旋圆偏振光和右旋圆偏振光有着良好的甄别能力,实现了对圆偏振光的控制与检测。本发明的圆偏振器在500‑600nm波段内,平均圆二色性大于0.2。在532nm处圆二色性最高可达0.28,圆消光比达到1000左右。本发明凭借其紧凑新颖的结构、超薄的厚度、高效简单的工艺以及良好的性能,在生物医学诊断、分子检测、化学分析以及微纳偏振成像等领域具有良好的发展前景,尤其是与线性偏振器集成实现实时全斯托克斯偏振检测。

    一种偏振光导航传感器及天空偏振光导航方法

    公开(公告)号:CN109059898B

    公开(公告)日:2020-05-22

    申请号:CN201810790212.2

    申请日:2018-07-18

    Abstract: 一种偏振光导航传感器及应用所述导航传感器进行天空偏振光导航的方法。所述偏振光导航传感器包括:镜头、滤光片、偏振转换器、偏振片和图像传感器;经过镜头成像、滤光片滤光后的入射线偏振光通过偏振转换器转换为矢量光束,然后经过偏振片检偏后在图像传感器的感光平面上呈现光强分布。本偏振光导航传感器充分利用天空偏振光分布特点和偏振转换器将偏振光束转换为矢量光束的特点,对天空一次成像,根据光强分布计算传感器体轴与太阳子午线之间的夹角,克服当前成像式偏振光导航传感器结构复杂、实时性差、测角精度不理想等问题,具有结构简单,鲁棒性好,测角精度高等特点。

    一种传感器的机械结构及该传感器

    公开(公告)号:CN107607905B

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201710803302.6

    申请日:2017-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种新型传感器的机械结构及该传感器,可用于飞行器的姿态控制,广义上也可属于一种太阳传感器。具体地,是一种新型的成像式偏振光导航传感器,该传感器由滤光片、圆锥镜和CMOS传感器组成。其中的圆锥镜材料折射率及圆锥面与底面之间的夹角经过严格的结构设计和计算得到;并采用分辨率较高的CMOS传感器接收透过圆锥镜的偏振光。本发明结构简单、实时性好、测量精度高,在偏振光方位角测量和偏振光导航方面有很好的应用前景。

    一种偏振光导航传感器及天空偏振光导航方法

    公开(公告)号:CN109059898A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201810790212.2

    申请日:2018-07-18

    Abstract: 一种偏振光导航传感器及应用所述导航传感器进行天空偏振光导航的方法。所述偏振光导航传感器包括:镜头、滤光片、偏振转换器、偏振片和图像传感器;经过镜头成像、滤光片滤光后的入射线偏振光通过偏振转换器转换为矢量光束,然后经过偏振片检偏后在图像传感器的感光平面上呈现光强分布。本偏振光导航传感器充分利用天空偏振光分布特点和偏振转换器将偏振光束转换为矢量光束的特点,对天空一次成像,根据光强分布计算传感器体轴与太阳子午线之间的夹角,克服当前成像式偏振光导航传感器结构复杂、实时性差、测角精度不理想等问题,具有结构简单,鲁棒性好,测角精度高等特点。

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