公开(公告)号：CN107301966B

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201710547472.2

申请日：2017-07-06

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 褚金奎 ,  康维东 ,  曾祥伟 ,  张然 ,  关乐 ,  郑永广 ,  刘泽

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明公开了一种硅片掰片辅助装置，包括：带有夹持机构的操作台、带有刻划钢尺、沿所述操作台长度方向移动的压紧机构以及位置可调的压力隔断组件；工作过程中，使用所述的夹持机构夹持待处理的硅片，控制所述的压紧机构移动至硅片上方；压紧机构下端的刻划钢尺压紧硅片，沿钢尺进行硅片的刻划动作；刻划后，钢尺置于所述压力隔断组件上方，对齐刻划痕和压力隔断组件，使用外力，沿所述刻划痕掰断硅片。

公开(公告)号：CN105547236A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201510897180.2

申请日：2015-12-08

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 褚金奎 ,  刘泽 ,  张然 ,  王志文 ,  关乐 ,  李彬

IPC: G01C1/00

CPC classification number: G01C1/00

Abstract: 本发明公开了一种仿生方向分析器，包括方向信息获取器件、数据处理模块；所述方向信息获取器件用于探测天空光的偏振特性、将光信号转换为电信号；所述数据处理模块接收方向信息获取器件传送的电信号对该电信号进行计算处理获取方向信息。本发明的仿生方向分析器中每个纳米光栅与其下方对应的感光像素阵列构成了偏振敏感单元，实现入射天空光的偏振态探测以及光电转换。本发明利用天空可见光的偏振态在大气中相对稳定的分布模式，经过方向信息获取器件及数据处理模块，推导解算出方向信息。

公开(公告)号：CN109814334A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201910241581.0

申请日：2019-03-28

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 褚金奎 ,  樊元义 ,  张然 ,  刘泽 ,  黄达

IPC: G03F7/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种单层及多层金属纳米结构的制备方法，步骤如下：采用热纳米压印工艺获取柔性模板，得到与原始母模板互补的纳米结构；采用薄膜沉积工艺，在上述柔性模板纳米结构凸起和凹槽部分分别形成金属薄膜；采用滴胶旋涂工艺，在目标基底旋涂紫外固化纳米压印光刻胶；采用紫外固化纳米压印工艺，利用紫外固化键合力，将柔性模板结构区域凸起部分的表层金属转印到涂有光刻胶介质层的目标基底。利用该方法，在目标基底上重复上述涂胶、转印工艺，得到多层金属纳米结构。

公开(公告)号：CN104503012A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410802449.X

申请日：2014-12-18

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张然 ,  褚金奎 ,  刘泽 ,  王志文 ,  王倩怡

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/00

CPC classification number: G02B5/1857 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明涉及一种单层纳米金属光栅的制备方法，属于纳米制造技术领域，所述制备方法包括如下步骤：①先将基底涂上压印胶，再将具有纳米光栅图形的压印模板压入压印胶，得到一维纳米光栅结构的压印胶层，最后将压印残胶层去除；②在基底上有纳米光栅图形的一面沉积金属层，在压印胶层的上面形成上层金属纳米光栅层，在基底的上面形成下层金属纳米光栅层；③将压印胶层去除，得到单层纳米金属光栅，本发明有益效果为工艺步骤简单，操作容易，成本低，制作周期短及适合批量生产。

公开(公告)号：CN107301966A

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201710547472.2

申请日：2017-07-06

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 褚金奎 ,  康维东 ,  曾祥伟 ,  张然 ,  关乐 ,  郑永广 ,  刘泽

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明公开了一种硅片掰片辅助装置，包括：带有夹持机构的操作台、带有刻划钢尺、沿所述操作台长度方向移动的压紧机构以及位置可调的压力隔断组件；工作过程中，使用所述的夹持机构夹持待处理的硅片，控制所述的压紧机构移动至硅片上方；压紧机构下端的刻划钢尺压紧硅片，沿钢尺进行硅片的刻划动作；刻划后，钢尺置于所述压力隔断组件上方，对齐刻划痕和压力隔断组件，使用外力，沿所述刻划痕掰断硅片。

公开(公告)号：CN105547236B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201510897180.2

申请日：2015-12-08

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 褚金奎 ,  刘泽 ,  张然 ,  王志文 ,  关乐 ,  李彬

IPC: G01C1/00

Abstract: 本发明公开了一种仿生方向分析器，包括方向信息获取器件、数据处理模块；所述方向信息获取器件用于探测天空光的偏振特性、将光信号转换为电信号；所述数据处理模块接收方向信息获取器件传送的电信号对该电信号进行计算处理获取方向信息。本发明的仿生方向分析器中每个纳米光栅与其下方对应的感光像素阵列构成了偏振敏感单元，实现入射天空光的偏振态探测以及光电转换。本发明利用天空可见光的偏振态在大气中相对稳定的分布模式，经过方向信息获取器件及数据处理模块，推导解算出方向信息。